Is trealamh ríthábhachtach iad oighinn gháis támha teocht ultra-ard i dtionscail ina bhfuil gá le próiseáil ardteochta in atmaisféar támh, ag cinntiú cáilíocht agus sláine na n-ábhar atá á bpróiseáil. Tá sé infheidhme maidir le hatmaisféar i ngás támha mar Argón, Dé-ocsaíd Charbóin, Héiliam, agus Nítrigine. Soláthraíonn na heilimintí téitheoir sreinge niocróim trom-tomhais aer oscailte foinse teasa láidir suas le 600 céim. Ceadaíonn dearadh dé-bhlaosc uathúil do chuisnithe agus aer comhthimpeallach a chur i gcúrsaíocht timpeall seomra laistigh atá líonta le gás támh, ag cothabháil brú inmheánach agus teocht cobhsaí.

Tá oighinn gháis támha oiriúnach le haghaidh feidhmeanna oigheann tionsclaíocha a bhfuil baint acu le hábhair a phróiseáil i dtimpeallacht atmaisféar rialaithe, lena n-áirítear triomú taise, triomú wafer, leigheas roisín do phacáistiú leathsheoltóra, agus dul in aois comhpháirteanna agus feistí leictreonacha.

● 1 seomra nó 2 chineál seomra (rialú neamhspleách do gach seomra)
● Uas. 260 ℃
● Tiúchan O2 faoi bhun 50ppm

Oiriúnach do leigheas sliseog leathsheoltóra (photoresist PI, PBO, leigheas BCB), bácáil substráit gloine, agus cóireáil ard-cruinneas annealing, etc.

Úsáidtear oighinn ghlan go forleathan i gcóireáil teasa nó i dtriomú sliseog leathsheoltóra, criostail leachtacha, dioscaí agus comhpháirteanna agus feistí eile a dteastaíonn coinníollacha aer glan orthu.

• ● Aicme 100
• ● Cumas mór 350L
• ● Uas. teocht 260 ℃

• ● Triomú folúis chun an taise agus an tuaslagóir sna hábhair leictreoid a bhaint.
• ● Uas. tá teocht 300 ℃ / 400 ℃ roghnach
• ● Raon bhfolús oibriúcháin 101kPa -1Pa● Ar fáil i 3 mhéid, cumas mór

Oigheann thriomú bhfolús mór atá deartha le haghaidh gach cineál críche triomú bhfolús.

• ● Uas. teocht 250 ℃
• ● Raon bhfolús oibriúcháin 101kPa -0.1kPa

Tá an oigheann seo iontach chun uisce iarmharach, tuaslagóirí nó comhdhúile so-ghalaithe eile a bhaint as táirgí atá íogair ó thaobh teochta. Déanfar caidéal folúis a shuiteáil ar an taobh thíos den oigheann chun spás suiteála a shábháil le píopaí flange nasc tapa. Úsáidtear an cineál oigheann seo go forleathan i saotharlanna, leathsheoltóir, MEMS, agus limistéar leictreonach.

Déantar na 9 ndlísheomra a rialú go neamhspleách agus roinntear sraith amháin de chóras folúis. Tá sé oiriúnach do gach cineál ábhar miotail, anaeróbach anaeróbach, amhábhair cheimiceacha, miotail lómhara, púdar miotail agus táirgí soladacha eile, púdar, greamaigh, leachtacha, leictreonacha

• ● 9-Seomra rialú standalone
• ● Táirgí a stóráil go sealadach le linn phróiseas táirgthe feistí leictreonacha, feistí optoelectronic, sliseanna leathsheoltóra agus feistí eile chun ocsaídiú a chosc
• ● Folús Min.50 go 5*10-5Pa
• ● Scanóir barcode chun faisnéis táirge a stóráil

Freastalaíonn oighinn thionsclaíocha cruach dhosmálta GMS ar éagsúlacht na n-iarratas próiseála teirmeach suas go dtí 200 ℃. Tá oighinn thionsclaíocha an-oiriúnach do théamh druma, do dhul in aois, do chroíchruachan, do thriomú, do réamhthéamh, do leigheas agus do thástáil comhpháirteanna.

• ● Ábhar cruach dhosmálta chun ceardlann glan nó timpeallacht chreimneach a fheistiú
• ● Uas. Teocht. 200°C
• ● Cineál comhiompair éigean

• ● Oiriúnach do chóireáil theirmeach táirgí
• ● Socraigh ag líne táirgeachta, d'fheabhsaigh an oigheann iompair an éifeachtacht táirgthe go mór
• ● Rialú go hiomlán uathoibríoch
• ● Is é an luas iompair inchoigeartaithe agus a bheith in ann se próiseas cóireála il
• ● Feistithe le tiontaire minicíochta, solas gceist, sorcóir, etc.
• ● Córas ualach agus díluchtaithe uathoibríoch chun nascadh le trealamh in aghaidh an tsrutha agus le sruth

Déantar na 9 ndlísheomra a rialú go neamhspleách agus roinntear sraith amháin de chóras folúis. Tá sé oiriúnach do gach cineál ábhar miotail, anaeróbach anaeróbach, amhábhair cheimiceacha, miotail lómhara, púdar miotail agus táirgí soladacha eile, púdar, greamaigh, leachtacha, leictreonacha

• ● 9-Seomra rialú standalone
• ● Táirgí a stóráil go sealadach le linn phróiseas táirgthe feistí leictreonacha, feistí optoelectronic, sliseanna leathsheoltóra agus feistí eile chun ocsaídiú a chosc
• ● Folús Min.50 go 5*10-5Pa
• ● Scanóir barcode chun faisnéis táirge a stóráil

Oiriúnach do dheighleog clár pacáistithe leathsheoltóra nó do thástáil sa saotharlann, do leigheas roisín.

Úsáideann oigheann ilseomra córas athfhillteach aeir ard-toirte a uasmhéadaíonn aonfhoirmeacht agus feidhmíocht teochta.

• ● Ar fáil do chomhcheangal seomra 2/3/4/6 (rialú neamhspleách do gach seomra)
• ● An spás suiteála a shábháil
• ● Comhiompar cothrománach

Is córas próiseála teirmeach tapa ingearach leath-uathoibríoch é GZ-RTP-SM-12 a chuirtear i bhfeidhm chun wafer aonair 4-12 orlach a théamh
uas. Teocht. 1250 ℃
uas. 4 líne gáis

• ● Oiriúnach do chóireáil theirmeach táirgí
• ● Socraigh ag líne táirgeachta, d'fheabhsaigh an oigheann iompair an éifeachtacht táirgthe go mór
• ● Rialú go hiomlán uathoibríoch
• ● Is é an luas iompair inchoigeartaithe agus a bheith in ann se próiseas cóireála il
• ● Feistithe le tiontaire minicíochta, solas gceist, sorcóir, etc.
• ● Córas ualach agus díluchtaithe uathoibríoch chun nascadh le trealamh in aghaidh an tsrutha agus le sruth

Tá an trealamh comhdhéanta go príomha de seomra bhfolús agus soláthar cumhachta plasma ardmhinicíochta, córas bhfolús, córas boilscithe, córas rialaithe uathoibríoch agus páirteanna eile. Tá bunphrionsabal na hoibre i stát bhfolús, úsáid caidéil folúis chun an stiúideo a fholúsú chun folús 0.15-0.3 mbar a bhaint amach, agus ansin i ról gineadóir ard-minicíochta, beidh an gás ianaithe, foirmiú plasma (an ceathrú staid ábhar), agus ansin úsáid plasma ar dhromchla an chóireáil workpiece.

• ● Meaisín láimhseála córais plasma
• ● Is féidir é a úsáid go comhsheasmhach i dtimpeallacht déantúsaíochta chun dromchla páirteanna oddly múnlaithe a ghlanadh agus a ghníomhachtú
• ● Seomra folúis

Glacann comh-aireachta cruthúnas taise tapa taise íseal GZ an modúl dehumidification uasghrádaithe nua. Is féidir leis an taise a bhaint amach faoi bhun 5% RH. Tá an táirge éasca le feidhmiú. Moltar go háirithe do gach cineál páirteanna leictreonacha, ceamaraí, ceamaraí, ionstraimí saotharlainne ginearálta, micreascóip, ábhair agus ceimiceáin, etc. chun múnla agus mildew a chosc.

Is uirlis riachtanach iad caibinéid tirim ESD in aon timpeallacht ina láimhseáiltear comhpháirteanna leictreonacha íogaire, ag cinntiú a gcuid fad saoil agus feidhmíochta trína gcosaint ó éifeachtaí díobhálacha a d'fhéadfadh a bheith ag leictreachas statach. Is minic a bhíonn taobh istigh na comh-aireachta línéadaigh le hábhair atá sábháilte do ESD, mar shampla cúr frithstatach nó boscaí seoltaí plaisteacha, chun cosaint bhreise a sholáthar d'earraí stóráilte.

Is féidir le caibinéid nítrigine cabhrú le rialú a dhéanamh ar éilliú deannaigh, cáithníní agus neamhíonachtaí eile a d'fhéadfadh tionchar a bheith acu ar fheidhmíocht agus ar iontaofacht táirgeadh leathchóin agus leictreonaic. Coinníonn an timpeallacht glan nítrigine íonacht na gcomhpháirteanna agus na dromchlaí le linn próisis déantúsaíochta. I gcás ócáidí i dtimpeallacht glaineachta rang 100 (ISO 5), úsáidtear comh-aireachta tirim cruach dhosmálta go hiomlán scátháin chun comhpháirteanna agus ionstraimí beachta a stóráil.

Is réiteach stórála speisialaithe é comh-aireachta nítrigine cruach dhosmálta atá deartha chun comhpháirteanna agus ábhair íogair a chosaint ó ocsaídiú agus damáiste taise trí atmaisféar támh nítrigine a chothabháil. Tá caibinéid cruach dhosmálta déanta as cruach dhosmálta 304 ar ardchaighdeán, a thairgeann friotaíocht creimeadh den scoth agus atá éasca le glanadh. Ní hamháin go soláthraíonn an bailchríoch scáthánaithe cuma nua-aimseartha ach éascaíonn sé glanadh agus cothabháil freisin. Déanann críochnú dromchla ard agus nádúr éasca le glanadh na gcaibinéid seo iad a bheith oiriúnach do thimpeallachtaí seomra glan, agus tá roinnt samhlacha ag freastal ar chaighdeán glaineachta Aicme 100 fiú.

Úsáidtear comh-aireachta nítrigine cruach dhosmálta go coitianta sna tionscail leathsheoltóra, fótóinic agus FPD, stóráil ábhar speisialta agus earnálacha leictreonacha chun ocsaídiú, ionsaí comhlachtaí eachtracha agus rialú taise a chosc i dtimpeallacht ghlan.

Tá an comh-aireachta deartha le haghaidh ualach uasta agus marthanacht, tá comh-aireachta nítrigine cruach dhosmálta suiteáilte le inlet nítrigine chun limistéar oibre a ghlanadh, ionas go gcosnófar míreanna stórála ó ocsaídiú, déantar an comh-aireachta tirim N2 iomlán ag SUS # 304.

Trí leibhéil íseal taise a chothabháil, cabhraíonn caibinéid nítrigine le nochtadh taise a íoslaghdú le linn comhpháirteanna IC a stóráil agus a phróiseáil. Féadann sé cáilíocht comhpháirteach solder a fheabhsú trí ocsaídiú a laghdú agus naisc ghlan, iontaofa a chinntiú. Tá sé seo ríthábhachtach chun creimeadh, delamination, nó lochtanna eile a bhaineann le taise a d'fhéadfadh tionchar a imirt ar iontaofacht na bpacáistí IC a chosc.

• ● Raon Taise: 1-60% RH
• ● Cumas: 500/1020/1250/1510Liter
• ● ESD Sábháilte