Tha àmhainnean gas inert le teòthachd fìor àrd nan uidheamachd riatanach ann an gnìomhachasan far a bheil feum air giollachd àrd-teòthachd ann an àile fhàsach, a’ dèanamh cinnteach à càileachd agus ionracas nan stuthan a thathar a’ giullachd. Tha e iomchaidh airson àile ann an gasaichean inert leithid Argon, Carbon dà-ogsaid, Helium, agus Nitrogen. Bidh na h-eileamaidean teasadair uèir nichrome trom-adhair fosgailte a’ toirt seachad stòr teas làidir suas ri 600 ceum. Tha dealbhadh dà-slige sònraichte a’ ceadachadh cuairteachadh èadhair fuarachaidh agus àrainneachd timcheall air seòmar a-staigh làn de ghas inert, a’ cumail cuideam seasmhach a-staigh agus teòthachd.

Tha àmhainnean gas inert air leth freagarrach airson tagraidhean àmhainn gnìomhachais a tha a’ toirt a-steach giollachd stuthan ann an àrainneachd àile fo smachd, a’ toirt a-steach tiormachadh taiseachd, tiormachadh wafer, leigheas roisinn airson pacadh leth-chonnsair, agus a bhith a’ fàs nas sine de cho-phàirtean agus innealan dealanach.

● 1 seòmar no 2 sheòrsa seòmar (smachd leis fhèin airson gach seòmar)
● Max. 260 ℃
● O2 dùmhlachd fo 50ppm

Freagarrach airson a bhith a’ leigheas wafers semiconductor (photoresist PI, PBO, leigheas BCB), bèicearachd substrate glainne, agus làimhseachadh annealing àrd-chruinneas, msaa.

Bithear a’ cleachdadh àmhainnean glan gu mòr ann an làimhseachadh teas no tiormachadh wafers semiconductor, criostalan liùlach, diosc agus co-phàirtean agus innealan eile a dh’ fheumas suidheachadh èadhair glan.

• ● Clas 100
• ● 350L comas mòr
• ● Max. teòthachd 260 ℃

• ● Vacuum a 'tiormachadh a thoirt air falbh an taiseachd agus solvent ann an electrode stuthan.
• ● Max. tha teòthachd 300 ℃ / 400 ℃ roghainneil
• ● Raon falamh obrachaidh 101kPa -1Pa● Ri fhaighinn ann an 3 meudan, comas mòr

Àmhainn tiormachaidh falamh mòr air a dhealbhadh airson a h-uile seòrsa adhbhar tiormachaidh falamh.

• ● Max. teòthachd 250 ℃
• ● Raon falamh obrachaidh 101kPa -0.1kPa

Tha an àmhainn seo air leth freagarrach airson a bhith a’ toirt air falbh uisge air fhàgail, solvents no todhar luaineach eile bho thoraidhean a tha mothachail air teòthachd. Thèid pumpa falamh a chuir a-steach aig taobh shìos an àmhainn gus àite stàlaidh a shàbhaladh le pìobaireachd flange ceangail luath. Tha an seòrsa àmhainn seo air a chleachdadh gu farsaing ann an deuchainn-lannan, semiconductor, MEMS, agus raon dealanach.

Tha smachd neo-eisimeileach air na 9 seòmraichean agus bidh iad a’ roinn aon sheata de shiostam falamh. Tha e freagarrach airson a h-uile seòrsa de stuthan meatailt, anaerobicanaerobic, stuthan amh ceimigeach, meatailtean luachmhor, pùdar meatailt agus eile cruaidh, pùdar, paste, lionntan, eileagtronaigeach bathar

• ● 9-Seòmraichean smachd standalone
• ● Stòradh bathar gu sealach rè pròiseas cinneasachaidh innealan dealanach, innealan optoelectronic, chips semiconductor agus innealan eile gus casg a chuir air oxidation
• ● Min.50 gu 5 * 10-5Pa falamh
• ● Sganadair còd-barra gus fiosrachadh toraidh a stòradh

Bidh àmhainnean gnìomhachais stàilinn GMS a’ gabhail ri grunn thagraidhean giollachd teirmeach suas gu 200 ℃. Tha àmhainnean gnìomhachais air leth freagarrach airson teasachadh druma, aosda, cruadhachadh cridhe, tiormachadh, preheating, leigheas, agus deuchainn phàirtean.

• ● Stuth stàilinn gun staoin gus bùth-obrach glan no àrainneachd chreimneach a shuidheachadh
• ● Max. Temp. 200°C
• ● Seòrsa convection èiginn

• ● Freagarrach airson làimhseachadh teirmeach air bathar
• ● Suidhichte aig loidhne toraidh, leasaich an àmhainn giùlain an èifeachdas toraidh gu mòr
• ● Smachd gu tur fèin-ghluasadach
• ● Tha astar a ’ghiùladair comasach atharrachadh agus a bhith comasach air pròiseas làimhseachaidh ioma-sheòrsach fhaicinn
• ● Uidheamachadh le tionndadh tricead, solas stake, siolandair, msaa.
• ● Siostam luchdaidh is dì-luchdachadh fèin-ghluasadach gus ceangal le uidheamachd suas an abhainn agus sìos an abhainn

Tha smachd neo-eisimeileach air na 9 seòmraichean agus bidh iad a’ roinn aon sheata de shiostam falamh. Tha e freagarrach airson a h-uile seòrsa de stuthan meatailt, anaerobicanaerobic, stuthan amh ceimigeach, meatailtean luachmhor, pùdar meatailt agus eile cruaidh, pùdar, paste, lionntan, eileagtronaigeach bathar

• ● 9-Seòmraichean smachd standalone
• ● Stòradh bathar gu sealach rè pròiseas cinneasachaidh innealan dealanach, innealan optoelectronic, chips semiconductor agus innealan eile gus casg a chuir air oxidation
• ● Min.50 gu 5 * 10-5Pa falamh
• ● Sganadair còd-barra gus fiosrachadh toraidh a stòradh

Freagarrach airson roinn prògram pacaidh semiconductor no deuchainn ann an obair-lann, airson leigheas roisinn.

Bidh àmhainn ioma-sheòmar a’ cleachdadh siostam ath-chuairteachaidh èadhair còmhnard àrd a tha a’ meudachadh èideadh teòthachd agus coileanadh.

• ● Ri fhaighinn airson measgachadh seòmar 2/3/4/6 (smachd leis fhèin airson gach seòmar)
• ● A 'sàbhaladh an àite stàlaidh
• ● Convection còmhnard

Tha GZ-RTP-SM-12 na shiostam giullachd teirmeach luath dìreach leth-fèin-ghluasadach air a chuir an sàs airson teasachadh wafer singilte 4-12 òirleach
Max. Temp. 1250 ℃
Max. 4 loidhnichean gas

• ● Freagarrach airson làimhseachadh teirmeach air bathar
• ● Suidhichte aig loidhne toraidh, leasaich an àmhainn giùlain an èifeachdas toraidh gu mòr
• ● Smachd gu tur fèin-ghluasadach
• ● Tha astar a ’ghiùladair comasach atharrachadh agus a bhith comasach air pròiseas làimhseachaidh ioma-sheòrsach fhaicinn
• ● Uidheamachadh le tionndadh tricead, solas stake, siolandair, msaa.
• ● Siostam luchdaidh is dì-luchdachadh fèin-ghluasadach gus ceangal le uidheamachd suas an abhainn agus sìos an abhainn

Tha an uidheamachd sa mhòr-chuid air a dhèanamh suas de rùm falamh agus solar cumhachd plasma tricead àrd, siostam falamh, siostam atmhorachd, siostam smachd fèin-ghluasadach agus pàirtean eile. Tha prionnsapal bunaiteach na h-obrach ann an staid falamh, cleachdadh pumpaichean falamh gus an stiùidio fhalamhachadh gus falamh de 0.15-0.3 mbar a choileanadh, agus an uairsin ann an dreuchd gineadair àrd-tricead, thèid an gas a ionachadh, an cruthachadh plasma (an ceathramh staid stuth), agus an uairsin cleachdadh plasma air uachdar làimhseachadh an workpiece.

• ● Inneal-làimhseachaidh siostam plasma
• ● Faodar a chleachdadh gu cunbhalach ann an àrainneachd saothrachaidh gus uachdar pàirtean cumadh neònach a ghlanadh agus a ghnìomhachadh
• ● Seòmar falamh

Bidh caibineat dearbhaidh taiseachd luath GZ GZ a ’gabhail ris a’ mhodal dehumidification ùrachadh ùr. Faodaidh e ruighinn taiseachd nas ìsle na 5% RH. Tha an toradh furasta obrachadh. Tha e air a mholadh gu sònraichte airson a h-uile seòrsa de phàirtean dealanach, camarathan, camarathan, ionnstramaidean obair-lann coitcheann, microsgopan, stuthan agus ceimigean, msaa gus casg a chuir air molltair agus bleoghan.

Tha caibineatan tioram ESD nan inneal riatanach ann an àrainneachd sam bith far a bheilear a’ làimhseachadh phàirtean dealanach mothachail, a’ dèanamh cinnteach gu bheil iad fad-beatha agus coileanadh le bhith gan dìon bho bhuaidhean millteach dealan statach. Bidh taobh a-staigh a’ chaibineit gu tric air a lìnigeadh le stuthan sàbhailte ESD, leithid foam anti-static no bionaichean plastaig giùlain, gus dìon a bharrachd a thoirt do stuthan a tha air an stòradh.

Faodaidh caibineatan nitrogen cuideachadh le smachd a chumail air truailleadh bho dhuslach, mìrean, agus neo-chunbhalachd eile a dh’ fhaodadh buaidh a thoirt air coileanadh agus earbsachd cinneasachadh semicon agus eileagtronaigeach. Bidh an àrainneachd glan nitrogen a’ cumail suas purrachd nan co-phàirtean agus uachdar rè pròiseasan saothrachaidh. Aig amannan ann an àrainneachd glainead clas 100 (ISO 5), thathas a’ cleachdadh caibineat tioram làn-sgàthan gus pàirtean agus ionnstramaidean mionaideach a stòradh.

Tha caibineat nitrigin stàilinn gun staoin na fhuasgladh stòraidh sònraichte a chaidh a dhealbhadh gus pàirtean agus stuthan mothachail a dhìon bho oxidation agus milleadh taiseachd le bhith a’ cumail suas àile inert nitrogen. Tha caibineatan stàilinn gun staoin air an dèanamh de stàilinn stainless 304 de chàileachd àrd, a tha a’ tabhann sàr-aghaidh creimeadh agus a tha furasta a ghlanadh. Tha an crìochnachadh le sgàthan chan ann a-mhàin a’ toirt sealladh ùr-nodha ach bidh e cuideachd a’ comasachadh glanadh agus cumail suas. Tha crìochnachadh uachdar àrd agus nàdar furasta a ghlanadh nan caibineatan sin gan dèanamh freagarrach airson àrainneachdan seòmar glan, le cuid de mhodalan eadhon a ’coinneachadh ri ìre glainead Clas 100

Bidh caibineat nitrigin stàilinn gun staoin air a chleachdadh gu cumanta anns na gnìomhachasan semiconductor, photonics agus FPD, stòradh stuthan sònraichte agus roinnean dealanach gus casg a chuir air oxidation, ionnsaigh air buidhnean cèin agus smachd taiseachd ann an àrainneachd ghlan.

Tha an caibineat air a dhealbhadh airson an luchd agus an seasmhachd as motha, tha caibineat nitrigin stàilinn air a chuir a-steach le sàthadh nitrigin gus an raon obrach a ghlanadh, gus stuthan stòraidh a dhìon bho bhith air an oxidachadh, tha an caibineat tioram N2 gu lèir air a dhèanamh le SUS # 304.

Le bhith a’ cumail suas ìrean taiseachd ìosal, bidh caibineatan nitrigin a’ cuideachadh le bhith a’ lughdachadh follaiseachd taiseachd aig àm stòradh agus giollachd phàirtean IC. Faodaidh e càileachd solder co-phàirteach a leasachadh le bhith a’ lughdachadh oxidation agus a’ dèanamh cinnteach à ceanglaichean glan, earbsach. Tha seo deatamach airson casg a chuir air creimeadh, delamination, no uireasbhaidhean eile co-cheangailte ri taiseachd a bheir buaidh air earbsachd pacaidean IC.

• ● Raon Taiseachd: 1-60% RH
• ● Comas: 500/1020/1250/1510Liter
• ● ESD Sàbhailte