Igwe ọkụ na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ bụ ngwá ọrụ dị oke mkpa na ụlọ ọrụ ebe a na-achọ nhazi okpomọkụ dị elu na ikuku ikuku, na-eme ka ịdị mma na iguzosi ike n'ezi ihe nke ihe ndị a na-edozi. Ọ na-adabara maka ikuku na ikuku inert dị ka Argon, Carbon Dioxide, Helium, na Nitrogen. Ihe ndị na-ekpo ọkụ ikuku nichrome waya dị arọ nke mepere emepe na-enye isi iyi ọkụ siri ike ruo ogo 600. Nhazi shell pụrụ iche na-enye ohere maka mgbasa nke coolant na ikuku gburugburu gburugburu ọnụ ụlọ nke jupụtara na gas inert, na-ejigide nrụgide dị n'ime na okpomọkụ.

Igwe ọkụ ọkụ inert dị mma maka ngwa oven nke ụlọ ọrụ na-agụnye ihe nhazi na gburugburu ikuku na-achịkwa, gụnyere ihicha mmiri, ihicha wafer, resin resin maka nkwakọ ngwaahịa semiconductor, na ịka nká nke ngwa eletrik na ngwaọrụ.

● Ụlọ 1 ma ọ bụ ụdị ụlọ abụọ (njikwa nke naanị maka ụlọ ọ bụla)
● Nke kachasị. 260 ℃
●O2 itinye uche n'okpuru 50ppm

Kwesịrị ekwesị maka ịgwọ semiconductor wafers (photoresist PI, PBO, BCB curing), iko mkpụrụ osisi, na ọgwụgwọ annealing dị elu, wdg.

A na-eji oven dị ọcha mee ihe na ọgwụgwọ okpomọkụ ma ọ bụ ihicha nke wafers semiconductor, kristal mmiri mmiri, diski na ihe ndị ọzọ na ngwaọrụ ndị chọrọ ọnọdụ ikuku dị ọcha.

• ● Klas 100
• ● 350L nnukwu ikike
• ● Nke kachasị. okpomọkụ 260 ℃

• ● Ikpochapụ ikuku iji wepụ mmiri na ihe mgbaze dị na ihe electrode.
• ● Nke kachasị. okpomọkụ 300 ℃ / 400 ℃ bụ nhọrọ
• ● Oke oghere na-arụ ọrụ 101kPa -1Pa● Dị na nha 3, nnukwu ikike

Nnukwu oven ihicha agụụ emebere maka ebumnuche ihicha agụụ ọ bụla.

• ● Nke kachasị. okpomọkụ 250 ℃
• ● Oke oghere na-arụ ọrụ 101kPa -0.1kPa

Igwe ọkụ a dị mma maka iwepụ mmiri fọdụrụnụ, ihe mgbaze ma ọ bụ ihe ndị ọzọ na-agbanwe agbanwe na ngwaahịa ndị nwere mmetụta okpomọkụ. A ga-etinye mgbapụta Vacuum n'akụkụ ala nke oven iji chekwaa oghere nrụnye na njikọ flange ngwa ngwa. A na-ejikarị ụdị oven a na ụlọ nyocha, semiconductor, MEMS, na mpaghara eletrọnịkị.

A na-achịkwa ụlọ 9 ndị ahụ n'onwe ha ma kesaa otu usoro nke agụụ. Ọ bụ adabara ụdị niile nke metal ihe, anaerobicanaerobic, chemical akụrụngwa, oké ọnụ ahịa ọla, metal ntụ ntụ na ndị ọzọ siri ike, ntụ ntụ, mado, mmiri mmiri, electronic ngwaahịa.

• ● 9-Chambers njikwa kwụ ọtọ
• ● Chekwaa ngwaahịa nwa oge n'oge mmepụta nke ngwaọrụ eletrọnịkị, ngwaọrụ optoelectronic, chips semiconductor na ngwaọrụ ndị ọzọ iji gbochie oxidation.
• ● Min.50 ruo 5 * 10-5Pa oghere
• ● Ihe nyocha koodu nzuzo iji chekwaa ozi ngwaahịa

Igwe anaghị agba nchara GMS na-anabata ngwa nhazi okpomọkụ dị iche iche ruo 200 ℃. Igwe ọkụ ụlọ ọrụ dabara nke ọma maka ikpo ọkụ drum, ịka nká, isi ike, ihicha, ikpo ọkụ, ịgwọ ọrịa, na nyocha akụrụngwa.

• ● Ihe igwe anaghị agba nchara ga-adaba n'ogbako dị ọcha ma ọ bụ gburugburu na-emebi emebi
• ● Nke kachasị. Okpomọkụ 200°C
• ● Ụdị convection amanye

• ● Kwesịrị ekwesị maka ọgwụgwọ okpomọkụ nke ngwaahịa
• ● Tọọ n'ahịrị mmepụta, oven nke na-ebufe ihe na-eme ka mmepụta ahụ dịkwuo mma
• ● Njikwa akpaka zuru oke
• ● A na-agbanwe ọsọ nke ebufe ma nwee ike ịhụ ọtụtụ usoro ọgwụgwọ
• ● Ejiri ihe ntụgharị ugboro ugboro, ọkụ osisi, cylinder, wdg.
• ● Ibu akpaaka na ibupu sistemu iji jikọọ na akụrụngwa elu na nke mgbada

A na-achịkwa ụlọ 9 ndị ahụ n'onwe ha ma kesaa otu usoro nke agụụ. Ọ bụ adabara ụdị niile nke metal ihe, anaerobicanaerobic, chemical akụrụngwa, oké ọnụ ahịa ọla, metal ntụ ntụ na ndị ọzọ siri ike, ntụ ntụ, mado, mmiri mmiri, electronic ngwaahịa.

• ● 9-Chambers njikwa kwụ ọtọ
• ● Chekwaa ngwaahịa nwa oge n'oge mmepụta nke ngwaọrụ eletrọnịkị, ngwaọrụ optoelectronic, ibe semiconductor na ngwaọrụ ndị ọzọ iji gbochie oxidation.
• ● Min.50 ruo 5 * 10-5Pa oghere
• ● Ihe nyocha koodu nzuzo iji chekwaa ozi ngwaahịa

Kwesịrị ekwesị maka akụkụ mmemme nkwakọ ngwaahịa semiconductor ma ọ bụ nnwale na ụlọ nyocha, maka ọgwụgwọ resin.

Igwe ọkụ nke ọtụtụ ọnụ ụlọ na-eji sistemụ recirculation ikuku dị elu nke na-eme ka ịdị n'otu na arụmọrụ dị elu.

• ● Dị maka nchikota ọnụ ụlọ 2/3/4/6 (njikwa kwụ ọtọ maka ụlọ ọ bụla)
• ● Ịchekwa oghere nwụnye
• ● Ọkpụkpụ kwụ ọtọ

GZ-RTP-SM-12 bụ ọkara akpaka kwụ ọtọ ngwa ngwa thermal nhazi usoro etinyere maka kpo oku otu 4-12 inch wafer.
Oke. Okpomọkụ 1250 ℃
Oke. 4 ahịrị gas

• ● Kwesịrị ekwesị maka ọgwụgwọ okpomọkụ nke ngwaahịa
• ● Tọọ n'ahịrị mmepụta, oven nke na-ebufe ihe na-eme ka mmepụta ahụ dịkwuo mma
• ● Njikwa akpaka zuru oke
• ● A na-agbanwe ọsọ nke ebufe ma nwee ike ịhụ ọtụtụ usoro ọgwụgwọ
• ● Ejiri ihe ntụgharị ugboro ugboro, ọkụ osisi, cylinder, wdg.
• ● Ibu akpaaka na ibupu sistemu iji jikọọ na akụrụngwa elu na nke mgbada

The akụrụngwa bụ tumadi esịnede oghere oghere na elu ugboro plasma ike ọkọnọ, agụụ usoro, onu oriri usoro, akpaka akara usoro na ndị ọzọ akụkụ. Ụkpụrụ bụ isi nke ọrụ ahụ bụ na ọnọdụ na-adịghị ahụkebe, iji mgbapụta na-ekpo ọkụ na-ekpochapụ ụlọ ọrụ ahụ iji nweta oghere nke 0.15-0.3 mbar, mgbe ahụ, n'ọrụ nke igwe na-emepụta ihe dị elu, gas ga-ionized, nhazi ahụ. nke plasma (ọnọdụ nke anọ), wee were plasma n'elu ọgwụgwọ workpiece.

• ● Igwe na-enye usoro Plasma
• ● Enwere ike iji ya mgbe niile n'ebe a na-emepụta ihe na-ehicha ma na-arụ ọrụ n'elu akụkụ ndị na-adịghị mma
• ● Ime ụlọ

GZ ngwa ngwa obere iru mmiri proof kabinet nakweere modul dehumidification ọhụrụ emelitere. Ọ nwere ike iru iru mmiri n'okpuru 5% RH. Ngwaahịa dị mfe iji rụọ ọrụ. A na-atụ aro ya maka ụdị akụkụ eletrọnịkị niile, igwefoto, igwefoto, ngwa ụlọ nyocha izugbe, microscopes, ihe na kemịkalụ, wdg iji gbochie ebu na ebu.

ESD akọrọ kabinet bụ ngwá ọrụ dị mkpa na gburugburu ebe ọ bụla a na-edozi ihe ndị na-ahụ maka eletrọnịkị nwere mmetụta, na-ahụ na ogologo ndụ ha na ịrụ ọrụ ha site na ichebe ha pụọ ​​na mmetụta ọkụ eletrik nwere ike imebi. A na-ejikarị ihe ESD na-edobe ime ụlọ kabinet, dị ka ụfụfụ mgbochi static ma ọ bụ ihe mgbochi plastik, iji nyekwuo nchebe maka ihe echekwara.

Igwe nchekwa nitrogen nwere ike inye aka chịkwaa mmetọ sitere na uzuzu, irighiri ihe na adịghị ọcha ndị ọzọ nwere ike imetụta arụmọrụ na ntụkwasị obi nke mmepụta semicon na elektrọnik. Ebe nitrogen dị ọcha na-edobe ịdị ọcha nke ihe ndị dị na ya n'oge mmepụta ihe. Maka oge dị na klaasị 100 (ISO 5) gburugburu ebe ịdị ọcha, a na-eji kabinet igwe anaghị agba nchara enyo enyo zuru oke iji chekwaa akụrụngwa na ngwa.

Igwe anaghị agba nchara nitrogen kabinet bụ ihe nchekwa nchekwa pụrụ iche emebere iji kpuchido ihe ndị nwere mmetụta na ihe sitere na oxidation na mmebi mmiri site na idowe ikuku nitrogen inert. A na-eme kabinet nke igwe anaghị agba nchara site na igwe anaghị agba nchara 304 dị elu, nke na-enye ezigbo nguzogide corrosion ma dị mfe ihicha. Ngwunye a na-enyo enyo ọ bụghị nanị na-enye ọdịdị nke oge a kamakwa ọ na-eme ka nhicha na mmezi. Ngwunye elu dị elu na ọdịdị dị mfe dị ọcha nke ụlọ ndị a na-eme ka ha dị mma maka ebe obibi dị ọcha, na ụfọdụ ụdị ọbụna na-ezute ụkpụrụ ịdị ọcha nke klas 100.

A na-ejikarị kabinet nitrogen igwe anaghị agba nchara na semiconductor, photonics na FPD ụlọ ọrụ, ihe nchekwa ihe pụrụ iche na mpaghara eletrọnịkị iji gbochie oxidation, ọgụ nke ndị mba ọzọ na njikwa iru mmiri na gburugburu ebe dị ọcha.

Emebere kabinet maka oke ibu na ịdịte aka, a na-etinye kabinet nitrogen igwe anaghị agba nchara na ntinye nitrogen iji kpochapụ ebe a na-arụ ọrụ, iji chebe ihe nchekwa ka ọ ghara ịdị oxidized, SUS # 304 na-eme kabinet akọrọ N2 dum.

Site n'ịkwado ọkwa iru mmiri dị ala, kabinet nitrogen na-enyere aka belata ikpughe mmiri n'oge nchekwa na nhazi nke ihe IC. Ọ nwere ike melite ogo nkwonkwo solder site na ibelata oxidation na hụ na njikọ dị ọcha, nke a pụrụ ịdabere na ya. Nke a dị oke mkpa maka igbochi corrosion, delamination, ma ọ bụ ntụpọ mmiri ndị ọzọ nwere ike imetụta ntụkwasị obi nke ngwugwu IC.

• ● Oke iru mmiri: 1-60% RH
• ● Ike: 500/1020/1250/1510Liter
• ● Nchekwa ESD