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超高温不活性(嫌気性)ガスオーブン

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超高温不活性(嫌気性)ガスオーブン

半導体ウエハーの硬化(フォトレジストPI、PBO、BCB硬化)、ガラス基板のベーキング、高精度アニール処理などに適しています。

  • 最高動作温度: 360℃、600℃。
  • 酸素濃度が以下より低い: 20ppm

特徴製品

超高温嫌気炉は独自のチャンバー構造と密閉技術を採用しており、温度均一性に優れ、より高い安定性と再現性を確保しています。同時に、冷却水で循環する外部冷却機構により、炉内の雰囲気に影響を与えずに急速に冷却できるため、処理時間が短縮されます。

● アルゴン、二酸化炭素、ヘリウム、窒素の不活性ガスに対応しています。

● 独自の内部/外部シェルチャンバーにより、冷却剤の周囲空気が不活性ガスの内部チャンバーの周囲を循環します。

● シリコンシーリング付き水冷ドア。

● 温度は急速に上昇または下降することができ、上昇または下降速度は調整可能です。

● すべて溶接され密閉された構造により、継続的に低い空気損失を保証します。

● 内部は耐腐食性に優れたステンレス(304タイプ)を使用。

● 流量計と供給接続を含む調整可能な不活性ガスパージシステム。

● キャビネット表面の安全な温度を確保するためのグラスファイバー断熱材。

● 独立した過熱保護。

●漏電保護用ブレーカーを標準装備。

● 大容量の水平空気再循環システムと電気加熱システムにより、最大限の温度均一性を実現します。

● 優れた信頼性とパフォーマンス評価。

パラメータ製品

モデル

GZ-OXY-500C-A

GZ-OXY-500C-B

温度範囲

室温 +100~600°C

制御精度

+/- 1.0°C

温度分布精度

±1.5%°C(空荷時)

温度上昇時間

約60分(室温→550℃)。空のチャンバー

冷却速度

約60分(550℃→80℃)。空のチャンバー

操作機能

固定温度またはプログラム操作のオプション

内寸高さx幅x奥行き

500x500x500(mm)

600x600x600(ミリ)

外寸高さx幅x奥行き

1840x1200x1000 (mm)

1850x1300x1100(mm)

ワークスペース容量

125L

216L

冷却システム

水冷システム

オプション製品

温度記録計(紙またはペーパーレス)6gj

HEPAフィルター
温度記録計(紙またはペーパーレス)
真空ポンプ7w6
プログラマブルコントローラ、イーサネット、USB通信
棚737
出荷および設置のためのクリーンルーム梱包
イーサネット通信g7f
データロギングとトレンド

アプリケーション製品

産業製品

■ 航空宇宙
■ 自動車
■ 防衛
■ エレクトロニクス
■ 研究開発
■ ゴム・プラスチック
■ 半導体
■ 通信
■ 光通信

カスタマイズ製品

GMS は、さまざまなレベルの均一性、サイズ、温度範囲を提供できます。特定の許容範囲または仕様を満たす必要がある場合は、要件を当社にご連絡ください。当社は、それらの要件を満たすように機器を設計、テスト、調整します。

カスタマイズgah

サービス製品

GMS Industrial には、市場、販売、技術サービス、ネットワーク チームがあり、顧客とディーラーに包括的な販売前、販売中、販売後のサービスを提供しています。ご質問やご要望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
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