ឡចំហាយឧស្ម័នអសកម្មដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់គឺជាឧបករណ៍សំខាន់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មដែលការកែច្នៃសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្នុងបរិយាកាសអសកម្មត្រូវបានទាមទារ ដោយធានាបាននូវគុណភាព និងសុចរិតភាពនៃវត្ថុធាតុដើមដែលកំពុងដំណើរការ។ វា​អាច​អនុវត្ត​បាន​សម្រាប់​បរិយាកាស​នៅ​ក្នុង​ឧស្ម័ន​អសកម្ម​ដូចជា Argon, Carbon Dioxide, Helium និង Nitrogen។ ធាតុឧបករណ៍កម្តៅខ្សែ nichrome ដែលមានរង្វាស់ធ្ងន់បើកចំហរ ផ្តល់នូវប្រភពកំដៅដ៏រឹងមាំរហូតដល់ 600 ដឺក្រេ។ ការរចនាសែលពីរតែមួយគត់អនុញ្ញាតឱ្យចរាចរនៃ coolant និងខ្យល់ព័ទ្ធជុំវិញជុំវិញបន្ទប់ខាងក្នុងដែលពោរពេញទៅដោយឧស្ម័នអសកម្ម រក្សាសម្ពាធខាងក្នុង និងសីតុណ្ហភាពមានស្ថេរភាព។

ឡចំហាយឧស្ម័នអសកម្មគឺល្អសម្រាប់កម្មវិធីឡចំហាយឧស្សាហកម្មដែលពាក់ព័ន្ធនឹងសម្ភារៈកែច្នៃនៅក្នុងបរិយាកាសដែលបានគ្រប់គ្រង រួមទាំងការសម្ងួតសំណើម ការសម្ងួត wafer ការកែច្នៃជ័រសម្រាប់ការវេចខ្ចប់ semiconductor និងភាពចាស់នៃគ្រឿងបន្លាស់ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។

● 1 អង្គជំនុំជម្រះឬ 2 ប្រភេទអង្គជំនុំជម្រះ (ការគ្រប់គ្រងតែម្នាក់ឯងសម្រាប់អង្គជំនុំជម្រះនីមួយៗ)
● អតិបរមា។ 260 ℃
●កំហាប់ O2 ក្រោម 50ppm

ស័ក្តិសមសម្រាប់ការព្យាបាល wafers semiconductor (photoresist PI, PBO, BCB curing) ការដុតនំស្រទាប់ខាងក្រោមកញ្ចក់ និងការព្យាបាល annealing ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ល។

ឡ​ស្អាត​ត្រូវ​បាន​គេ​ប្រើ​យ៉ាង​ទូលំទូលាយ​ក្នុង​ការ​ព្យាបាល​កំដៅ​ឬ​ការ​សម្ងួត​នៃ wafers semiconductor គ្រីស្តាល់​រាវ ថាស និង​សមាសធាតុ និង​ឧបករណ៍​ផ្សេង​ទៀត​ដែល​ទាមទារ​លក្ខខណ្ឌ​ខ្យល់​ស្អាត។

• ● ថ្នាក់ 100
• ● ចំណុះធំ 350L
• ● អតិបរមា។ សីតុណ្ហភាព 260 ℃

• ● ការសម្ងួតដោយបូមធូលីដើម្បីយកសំណើម និងសារធាតុរំលាយនៅក្នុងវត្ថុធាតុអេឡិចត្រូត។
• ● អតិបរមា។ សីតុណ្ហភាព 300 ℃ / 400 ℃ គឺស្រេចចិត្ត
• ● ជួរបូមធូលីប្រតិបត្តិការ 101kPa -1Pa● មាន 3 ទំហំ សមត្ថភាពធំ

ឡសម្ងួតសុញ្ញកាសធំ រចនាឡើងសម្រាប់គោលបំណងសម្ងួតបូមធូលីគ្រប់ប្រភេទ។

• ● អតិបរមា។ សីតុណ្ហភាព 250 ℃
• ● ជួរបូមធូលីប្រតិបត្តិការ 101kPa -0.1kPa

ឡនេះគឺល្អសម្រាប់យកទឹកសំណល់ សារធាតុរំលាយ ឬសមាសធាតុងាយនឹងបង្កជាហេតុផ្សេងទៀតចេញពីផលិតផលដែលងាយនឹងសីតុណ្ហភាព។ ម៉ាស៊ីនបូមធូលីនឹងត្រូវបានដំឡើងនៅផ្នែកខាងក្រោមនៃឡ ដើម្បីសន្សំសំចៃកន្លែងដំឡើងជាមួយនឹងការតភ្ជាប់រហ័សនៃបំពង់ flange ។ ប្រភេទឡនេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ គ្រឿងអេឡិចត្រូនិក MEMS និងតំបន់អេឡិចត្រូនិក។

បន្ទប់ទាំង 9 ត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយឯករាជ្យ និងចែករំលែកប្រព័ន្ធបូមធូលីមួយឈុត។ វាស័ក្តិសមសម្រាប់គ្រប់ប្រភេទនៃសម្ភារៈលោហៈ, anaerobicanaerobic, វត្ថុធាតុដើមគីមី, លោហៈដ៏មានតម្លៃ, ម្សៅដែកនិងរឹងផ្សេងទៀត, ម្សៅ, បិទភ្ជាប់, រាវ, ផលិតផលអេឡិចត្រូនិក

• ● 9- ការគ្រប់គ្រងដោយឯកឯង
• ● រក្សាទុកផលិតផលជាបណ្តោះអាសន្នក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិច បន្ទះសៀគ្វី semiconductor និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីការពារការកត់សុី
• ● Min.50 ទៅ 5 * 10-5Pa បូមធូលី
• ● ម៉ាស៊ីនស្កេនបាកូដដើម្បីរក្សាទុកព័ត៌មានផលិតផល

ឡចំហាយឧស្សាហកម្មដែកអ៊ីណុក GMS ផ្ទុកនូវកម្មវិធីកែច្នៃកម្ដៅផ្សេងៗរហូតដល់ 200 ℃។ ឡចំហាយឧស្សាហកម្មគឺស័ក្តិសមតាមឧត្ដមគតិសម្រាប់កំដៅស្គរ ភាពចាស់ ការរឹងស្នូល ការសម្ងួត ការកំដៅមុន ការផ្សាំ និងការធ្វើតេស្តសមាសធាតុ។

• ● សម្ភារៈធ្វើពីដែកអ៊ីណុកដើម្បីបំពេញសិក្ខាសាលាស្អាត ឬបរិស្ថានដែលច្រេះ
• ● អតិបរមា។ សីតុណ្ហភាព 200°C
• ● ប្រភេទ convection បង្ខំ

• ● ស័ក្តិសមសម្រាប់ការព្យាបាលកំដៅនៃផលិតផល
• ● កំណត់នៅខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្ម ឡចំហាយទឹកបានបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មយ៉ាងខ្លាំង
• ● ការគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ
• ● ល្បឿនបញ្ជូនគឺអាចលៃតម្រូវបាន និងអាចដំណើរការការព្យាបាលបានច្រើន។
• ● បំពាក់ដោយឧបករណ៍បំប្លែងប្រេកង់ ភ្លើងស្តេក ស៊ីឡាំង។ល។
• ● ប្រព័ន្ធផ្ទុក និងផ្ទុកដោយស្វ័យប្រវត្តិ ដើម្បីភ្ជាប់ជាមួយឧបករណ៍ខាងលើ និងខាងក្រោម

បន្ទប់ទាំង 9 ត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយឯករាជ្យ និងចែករំលែកប្រព័ន្ធបូមធូលីមួយឈុត។ វាស័ក្តិសមសម្រាប់គ្រប់ប្រភេទនៃសម្ភារៈលោហៈ, anaerobicanaerobic, វត្ថុធាតុដើមគីមី, លោហៈដ៏មានតម្លៃ, ម្សៅដែកនិងរឹងផ្សេងទៀត, ម្សៅ, បិទភ្ជាប់, រាវ, ផលិតផលអេឡិចត្រូនិក

• ● 9- ការគ្រប់គ្រងដោយឯកឯង
• ● រក្សាទុកផលិតផលជាបណ្តោះអាសន្នក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិច បន្ទះសៀគ្វី semiconductor និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីការពារការកត់សុី
• ● Min.50 ទៅ 5 * 10-5Pa បូមធូលី
• ● ម៉ាស៊ីនស្កេនបាកូដដើម្បីរក្សាទុកព័ត៌មានផលិតផល

ស័ក្តិសមសម្រាប់ផ្នែកកម្មវិធីវេចខ្ចប់ semiconductor ឬការធ្វើតេស្តនៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ សម្រាប់ការព្យាបាលជ័រ។

ឡចំហាយពហុបន្ទប់ប្រើប្រាស់ប្រព័ន្ធលំហូរខ្យល់ផ្តេកដែលមានបរិមាណខ្ពស់ដែលជួយបង្កើនភាពស្មើគ្នានៃសីតុណ្ហភាព និងដំណើរការ។

• ● មានសម្រាប់ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃបន្ទប់ 2/3/4/6 (ការគ្រប់គ្រងតែម្នាក់ឯងសម្រាប់អង្គជំនុំជម្រះនីមួយៗ)
• ● ការសន្សំទំហំដំឡើង
• ● convection ផ្ដេក

GZ-RTP-SM-12 គឺជាប្រព័ន្ធដំណើរការកំដៅរហ័សបញ្ឈរពាក់កណ្តាលស្វ័យប្រវត្តិដែលត្រូវបានអនុវត្តសម្រាប់កំដៅ wafer 4-12 អ៊ីញតែមួយ
អតិបរមា។ សីតុណ្ហភាព 1250 ℃
អតិបរមា។ 4 ខ្សែឧស្ម័ន

• ● ស័ក្តិសមសម្រាប់ការព្យាបាលកំដៅនៃផលិតផល
• ● កំណត់នៅខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្ម ឡចំហាយទឹកបានបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មយ៉ាងខ្លាំង
• ● ការគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ
• ● ល្បឿនបញ្ជូនគឺអាចលៃតម្រូវបាន និងអាចដំណើរការការព្យាបាលបានច្រើន។
• ● បំពាក់ដោយឧបករណ៍បំប្លែងប្រេកង់ ភ្លើងស្តេក ស៊ីឡាំង។ល។
• ● ប្រព័ន្ធផ្ទុក និងផ្ទុកដោយស្វ័យប្រវត្តិ ដើម្បីភ្ជាប់ជាមួយឧបករណ៍ខាងលើ និងខាងក្រោម

ឧបករណ៍នេះត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងនៃបន្ទប់បូមធូលី និងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្លាស្មាប្រេកង់ខ្ពស់ ប្រព័ន្ធបូមធូលី ប្រព័ន្ធអតិផរណា ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងផ្នែកផ្សេងៗទៀត។ គោលការណ៍ជាមូលដ្ឋាននៃការងារគឺស្ថិតនៅក្នុងស្ថានភាពខ្វះចន្លោះ ការប្រើប្រាស់ម៉ាស៊ីនបូមធូលីដើម្បីបូមធូលីស្ទូឌីយោ ដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពទំនេរ 0.15-0.3 mbar ហើយបន្ទាប់មកនៅក្នុងតួនាទីរបស់ម៉ាស៊ីនភ្លើងប្រេកង់ខ្ពស់ ឧស្ម័ននឹងត្រូវបាន ionized ការបង្កើត ប្លាស្មា (ស្ថានភាពទីបួននៃរូបធាតុ) ហើយបន្ទាប់មកការប្រើប្រាស់ប្លាស្មាលើផ្ទៃនៃការព្យាបាលដុំ។

• ● ម៉ាស៊ីនប្រគល់ប្រព័ន្ធប្លាស្មា
• ● វាអាចត្រូវបានប្រើជាប់លាប់នៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្ម ដើម្បីសម្អាត និងធ្វើឱ្យផ្ទៃនៃផ្នែកដែលមានរាងចម្លែក
• ● បន្ទប់បូមធូលី

គណៈរដ្ឋមន្ត្រីការពារសំណើមសំណើមទាបរហ័ស GZ ទទួលយកម៉ូឌុលបន្សាបសំណើមថ្មីដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង។ វាអាចឈានដល់សំណើមក្រោម 5% RH ។ ផលិតផលមានភាពងាយស្រួលក្នុងដំណើរការ។ វាត្រូវបានណែនាំជាពិសេសសម្រាប់គ្រឿងបន្លាស់អេឡិចត្រូនិចគ្រប់ប្រភេទ កាមេរ៉ា កាមេរ៉ា ឧបករណ៍មន្ទីរពិសោធន៍ទូទៅ មីក្រូទស្សន៍ សម្ភារៈ និងសារធាតុគីមីជាដើម ដើម្បីទប់ស្កាត់ផ្សិត និងផ្សិត។

ទូស្ងួត ESD គឺជាឧបករណ៍សំខាន់មួយនៅក្នុងបរិយាកាសណាមួយដែលផ្នែកអេឡិចត្រូនិចដែលងាយនឹងគ្រប់គ្រងត្រូវបានគ្រប់គ្រង ធានានូវភាពជាប់បានយូរ និងដំណើរការរបស់វា ដោយការពារពួកគេពីផលប៉ះពាល់ដែលអាចបំផ្លាញនៃចរន្តអគ្គិសនីឋិតិវន្ត។ ផ្នែកខាងក្នុងនៃគណៈរដ្ឋមន្ត្រី ជារឿយៗត្រូវបានតម្រង់ជួរជាមួយនឹងសម្ភារៈសុវត្ថិភាព ESD ដូចជា Foam ប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត ឬធុងប្លាស្ទិកដែលអាចដំណើរការបាន ដើម្បីផ្តល់ការការពារបន្ថែមសម្រាប់វត្ថុដែលបានរក្សាទុក។

ទូអាសូតអាចជួយគ្រប់គ្រងការចម្លងរោគពីធូលីដី ភាគល្អិត និងវត្ថុមិនបរិសុទ្ធផ្សេងទៀតដែលអាចប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការ និងភាពជឿជាក់នៃផលិតកម្ម semicon និងអេឡិចត្រូនិច។ បរិស្ថានអាសូតស្អាតរក្សាភាពបរិសុទ្ធនៃសមាសធាតុ និងផ្ទៃកំឡុងពេលដំណើរការផលិត។ សម្រាប់ឱកាសនៅក្នុងថ្នាក់ 100 (ISO 5) បរិស្ថានស្អាត ទូស្ងួតដែកអ៊ីណុកកញ្ចក់ពេញលេញត្រូវបានប្រើដើម្បីរក្សាទុកសមាសធាតុ និងឧបករណ៍ច្បាស់លាស់។

គណៈរដ្ឋមន្ត្រីអាសូតដែកអ៊ីណុកគឺជាដំណោះស្រាយស្តុកទុកឯកទេសដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីការពារសមាសធាតុ និងសម្ភារៈដែលងាយរងគ្រោះពីការកត់សុី និងការខូចខាតសំណើមដោយរក្សាបរិយាកាសអាសូតអសកម្ម។ ទូដែកអ៊ីណុកត្រូវបានផលិតពីដែកអ៊ីណុក 304 ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ដែលផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការច្រេះបានយ៉ាងល្អ និងងាយស្រួលក្នុងការសម្អាត។ ការបញ្ចប់ដោយកញ្ចក់មិនត្រឹមតែផ្តល់នូវរូបរាងទំនើបប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងជួយសម្រួលដល់ការសម្អាត និងថែទាំផងដែរ។ ការបញ្ចប់ផ្ទៃខ្ពស់ និងលក្ខណៈងាយស្រួលក្នុងការសម្អាតនៃទូទាំងនេះ ធ្វើឱ្យពួកវាស័ក្តិសមសម្រាប់បរិស្ថានបន្ទប់ស្អាត ជាមួយនឹងម៉ូដែលមួយចំនួនថែមទាំងបំពេញតាមស្តង់ដារអនាម័យនៃថ្នាក់ 100 ទៀតផង។

ទូអាសូតដែកអ៊ីណុកត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor, photonics និង FPD, កន្លែងផ្ទុកសម្ភារៈពិសេស និងផ្នែកអេឡិចត្រូនិចដើម្បីការពារការកត់សុី ការវាយប្រហារនៃសាកសពបរទេស និងការត្រួតពិនិត្យសំណើមនៅក្នុងបរិស្ថានស្អាត។

គណៈរដ្ឋមន្ត្រីត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ការផ្ទុកអតិបរមា និងប្រើប្រាស់បានយូរ គណៈរដ្ឋមន្ត្រីដែកអ៊ីណុកដែកអ៊ីណុកត្រូវបានដំឡើងជាមួយនឹងច្រកចូលអាសូតដើម្បីសម្អាតកន្លែងធ្វើការ ដូច្នេះដើម្បីការពារវត្ថុផ្ទុកពីការកត់សុី ទូស្ងួត N2 ទាំងមូលត្រូវបានផលិតដោយ SUS#304 ។

ដោយរក្សាកម្រិតសំណើមទាប ទូអាសូតជួយកាត់បន្ថយការប៉ះពាល់នឹងសំណើមក្នុងអំឡុងពេលផ្ទុក និងដំណើរការសមាសធាតុ IC ។ វាអាចធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនៃសន្លាក់ solder ដោយកាត់បន្ថយអុកស៊ីតកម្ម និងធានានូវការតភ្ជាប់ស្អាត និងអាចទុកចិត្តបាន។ នេះមានសារៈសំខាន់ណាស់សម្រាប់ការពារការច្រេះ ការ delamination ឬពិការភាពដែលទាក់ទងនឹងសំណើមដែលអាចប៉ះពាល់ដល់ភាពជឿជាក់នៃកញ្ចប់ IC ។

• ● ជួរសំណើម៖ 1-60%RH
• ● ចំណុះ៖ 500/1020/1250/1510L
• ● ESD សុវត្ថិភាព