초고온 불활성 가스 오븐은 불활성 분위기에서 고온 처리가 필요한 산업에서 중요한 장비로, 처리되는 재료의 품질과 무결성을 보장합니다. 아르곤, 이산화탄소, 헬륨, 질소와 같은 불활성 가스 분위기에 적용 가능합니다. 개방형 헤비 게이지 니크롬 와이어 히터 요소는 최대 600도까지 견고한 열원을 제공합니다. 고유한 듀얼 쉘 설계로 불활성 가스로 채워진 내부 챔버 주변에서 냉각수와 주변 공기를 순환시켜 안정적인 내부 압력과 온도를 유지합니다.

불활성 가스 오븐은 수분 건조, 웨이퍼 건조, 반도체 패키징을 위한 수지 경화, 전자 부품 및 장치의 노화를 포함하여 통제된 대기 환경에서 재료를 처리하는 산업용 오븐 응용 분야에 이상적입니다.

● 1 챔버 또는 2 챔버 유형(각 챔버에 대한 독립형 제어)
● 최대 260℃
●O2 농도 50ppm 이하

반도체 웨이퍼 경화(포토레지스트 PI, PBO, BCB 경화), 유리 기판 베이킹, 고정밀 어닐링 처리 등에 적합합니다.

청정 오븐은 반도체 웨이퍼, 액정, 디스크 및 기타 청정 공기 조건이 필요한 구성 요소와 장치의 열처리 또는 건조에 광범위하게 사용됩니다.

• ● 100급
• ● 350L 대용량
• ● 최대온도 260℃

• ● 진공건조를 통해 전극소재의 수분 및 용매를 제거합니다.
• ● 최대온도 300℃/400℃ 선택 가능
• ● 작동 진공 범위 101kPa -1Pa● 3가지 사이즈 제공, 대용량

모든 종류의 진공 건조 목적에 맞게 설계된 대형 진공 건조 오븐입니다.

• ● 최대온도 250℃
• ● 작동진공범위 101kPa -0.1kPa

이 오븐은 온도에 민감한 제품에서 잔류 물, 용매 또는 기타 휘발성 화합물을 제거하는 데 이상적입니다. 진공 펌프는 오븐의 아래쪽에 설치되어 빠른 연결 플랜지 파이핑으로 설치 공간을 절약합니다. 이 유형의 오븐은 실험실, 반도체, MEMS 및 전자 분야에서 널리 사용됩니다.

9개의 챔버는 독립적으로 제어되며 한 세트의 진공 시스템을 공유합니다. 모든 종류의 금속 재료, 혐기성 혐기성, 화학 원료, 귀금속, 금속 분말 및 기타 고체, 분말, 페이스트, 액체, 전자 제품에 적합합니다.

• ● 9-Chambers 독립형 제어
• ● 전자소자, 광전자소자, 반도체 칩 등의 생산과정에서 산화방지를 위해 일시적으로 제품을 보관합니다.
• ● 최소 50~5*10-5Pa 진공
• ● 제품 정보를 저장하기 위한 바코드 스캐너

GMS 스테인리스 스틸 산업용 오븐은 최대 200℃까지 다양한 열 처리 응용 분야에 적합합니다. 산업용 오븐은 드럼 가열, 노화, 코어 경화, 건조, 예열, 경화 및 구성 요소 테스트에 이상적입니다.

• ● 깨끗한 작업장이나 부식성 환경에 적합한 스테인리스 스틸 소재
• ● 최대온도 200°C
• ● 강제대류형

• ● 제품의 열처리에 적합
• ● 생산라인에 컨베이어 오븐을 설치하여 생산효율을 대폭 향상시켰습니다.
• ● 전자동 제어
• ● 컨베이어 속도는 조절 가능하며 다양한 처리 공정을 설정할 수 있습니다.
• ● 주파수 변환기, 스테이크 라이트, 실린더 등이 장착되어 있습니다.
• ● 상류 및 하류 장비와 연결하기 위한 자동 적재 및 하역 시스템

9개의 챔버는 독립적으로 제어되며 한 세트의 진공 시스템을 공유합니다. 모든 종류의 금속 재료, 혐기성 혐기성, 화학 원료, 귀금속, 금속 분말 및 기타 고체, 분말, 페이스트, 액체, 전자 제품에 적합합니다.

• ● 9-Chambers 독립형 제어
• ● 전자소자, 광전자소자, 반도체 칩 등의 생산과정에서 산화방지를 위해 일시적으로 제품을 보관합니다.
• ● 최소 50~5*10-5Pa 진공
• ● 제품 정보를 저장하기 위한 바코드 스캐너

반도체 패키징 프로그램 부문이나 실험실에서의 테스트, 수지 경화에 적합합니다.

다중 챔버 오븐은 온도 균일성과 성능을 극대화하는 대용량 수평 공기 재순환 시스템을 활용합니다.

• ● 2/3/4/6 챔버 조합 가능 (각 챔버에 대한 독립 제어)
• ● 설치공간 절약
• ● 수평대류

GZ-RTP-SM-12는 단일 4-12인치 웨이퍼 가열에 적용되는 반자동 수직 급속 열처리 시스템입니다.
최대 온도 1250℃
최대 4개의 가스 라인

• ● 제품의 열처리에 적합
• ● 생산라인에 컨베이어 오븐을 설치하여 생산효율을 대폭 향상시켰습니다.
• ● 전자동 제어
• ● 컨베이어 속도는 조절 가능하며 다양한 처리 공정을 설정할 수 있습니다.
• ● 주파수 변환기, 스테이크 라이트, 실린더 등이 장착되어 있습니다.
• ● 상류 및 하류 장비와 연결하기 위한 자동 적재 및 하역 시스템

장비는 주로 진공 챔버와 고주파 플라즈마 전원 공급 장치, 진공 시스템, 팽창 시스템, 자동 제어 시스템 및 기타 부품으로 구성됩니다. 작업의 기본 원리는 진공 상태에서 진공 펌프를 사용하여 스튜디오를 진공하여 0.15-0.3mbar의 진공을 달성한 다음 고주파 발생기의 역할에서 가스가 이온화되고 플라즈마(물질의 네 번째 상태)가 형성되고 작업물 표면에 플라즈마를 사용하여 처리합니다.

• ● 플라즈마 시스템 핸들링 머신
• ● 제조 환경에서 일관되게 사용하여 모양이 이상한 부품의 표면을 세척하고 활성화할 수 있습니다.
• ● 진공챔버

GZ 고속 저습 방습 캐비닛은 새로운 업그레이드된 제습 모듈을 채택했습니다. 습도를 5%RH 이하로 낮출 수 있습니다. 제품은 작동하기 쉽습니다. 특히 모든 종류의 전자 부품, 카메라, 카메라, 일반 실험실 기기, 현미경, 재료 및 화학 물질 등에 권장되어 곰팡이와 곰팡이를 방지합니다.

ESD 건조 캐비닛은 민감한 전자 부품을 취급하는 모든 환경에서 필수적인 도구로, 정전기의 잠재적인 손상 효과로부터 보호하여 수명과 성능을 보장합니다. 캐비닛 내부는 종종 정전기 방지 폼이나 전도성 플라스틱 통과 같은 ESD 안전 소재로 안감 처리되어 보관된 품목에 대한 추가 보호를 제공합니다.

질소 캐비닛은 반도체 및 전자 제품 생산의 성능과 신뢰성에 영향을 미칠 수 있는 먼지, 입자 및 기타 불순물로 인한 오염을 제어하는 ​​데 도움이 될 수 있습니다. 깨끗한 질소 환경은 제조 공정 중에 구성 요소와 표면의 순도를 유지합니다. 클래스 100(ISO 5) 청결 환경에서는 전체 거울 스테인리스 스틸 건조 캐비닛을 사용하여 정밀한 구성 요소와 계측기를 보관합니다.

스테인리스 스틸 질소 캐비닛은 불활성 질소 분위기를 유지하여 민감한 구성 요소와 재료를 산화 및 습기 손상으로부터 보호하도록 설계된 특수 보관 솔루션입니다. 스테인리스 스틸 캐비닛은 우수한 내식성을 제공하고 세척하기 쉬운 고품질 304 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다. 거울 마감은 현대적인 외관을 제공할 뿐만 아니라 세척 및 유지 관리를 용이하게 합니다. 이러한 캐비닛의 높은 표면 마감과 세척하기 쉬운 특성으로 인해 클린룸 환경에 적합하며 일부 모델은 Class 100의 청결 표준을 충족하기도 합니다.

스테인리스 스틸 질소 캐비닛은 반도체, 광자공학 및 FPD 산업, 특수 소재 보관 및 전자 분야에서 산화 방지, 이물질 침입 방지 및 깨끗한 환경에서의 습도 조절을 위해 일반적으로 사용됩니다.

캐비닛은 최대 하중과 내구성을 고려하여 설계되었습니다. 스테인리스 스틸 질소 캐비닛에는 작업 영역을 퍼지하기 위한 질소 주입구가 설치되어 있어 보관 품목이 산화되지 않도록 보호합니다. 전체 N2 건조 캐비닛은 SUS#304로 제작되었습니다.

질소 캐비닛은 낮은 습도 수준을 유지함으로써 IC 구성 요소의 보관 및 처리 중에 습기 노출을 최소화하는 데 도움이 됩니다. 산화를 줄이고 깨끗하고 안정적인 연결을 보장하여 솔더 조인트 품질을 개선할 수 있습니다. 이는 IC 패키지의 신뢰성에 영향을 줄 수 있는 부식, 박리 또는 기타 습기 관련 결함을 방지하는 데 중요합니다.

• ● 습도 범위 : 1-60%RH
• ● 용량 : 500/1020/1250/1510리터
• ● ESD 안전