Ультра жогорку температурадагы инерттүү газ мештери иштетилип жаткан материалдардын сапатын жана бүтүндүгүн камсыз кылуучу, инерттүү атмосферада жогорку температурада иштетүү талап кылынган тармактарда маанилүү жабдуулар болуп саналат. Бул аргон, көмүр кычкыл газы, гелий жана азот сыяктуу инерттүү газдардагы атмосферага тиешелүү. Ачык асман алдындагы нихромдук зым жылыткычтын элементтери 600 градуска чейин бекем жылуулук булагын камсыз кылат. Уникалдуу кош кабык конструкциясы туруктуу ички басымды жана температураны кармап туруу менен инерттүү газ менен толтурулган ички камеранын айланасында муздатуучу жана чөйрө абасынын айлануусуна мүмкүндүк берет.

Инерттүү газ мештери нымдуулук менен кургатуу, вафли кургатуу, жарым өткөргүч таңгактоо үчүн чайыр менен айыктыруу жана электрондук тетиктердин жана түзүлүштөрдүн эскирүүсүн камтыган башкарылуучу атмосфера чөйрөсүндө материалдарды иштетүүнү камтыган өнөр жай мештери үчүн идеалдуу.

● 1 камера же 2 камера түрлөрү (ар бир камера үчүн өз алдынча башкаруу)
● Макс. 260℃
●50ppm төмөн O2 концентрациясы

Жарым өткөргүч пластиналарды айыктыруу үчүн ылайыктуу (фоторезист PI, PBO, BCB айыктыруу), айнек субстрат бышыруу жана жогорку тактыктагы күйдүрүү дарылоо ж.б.

Таза мештер жарым өткөргүч пластинкаларды, суюк кристаллдарды, дисктерди жана башка компоненттерди жана таза аба шарттарын талап кылган түзүлүштөрдү жылуулук менен иштетүүдө же кургатууда кеңири колдонулат.

• ● 100-класс
• ● 350L чоң кубаттуулугу
• ● Макс. температурасы 260 ℃

• ● электрод материалдарындагы ным жана эриткичти жок кылуу үчүн вакуумда кургатуу.
• ● Макс. температура 300 ℃ / 400 ℃ милдеттүү эмес
• ● Иштөө вакуум диапазону 101kPa -1Pa● 3 өлчөмдө бар, чоң сыйымдуулук

Чоң вакуумдук кургатуу меши бардык вакуумдук кургатуу максатында иштелип чыккан.

• ● Макс. температура 250 ℃
• ● Иштөө вакуум диапазону 101kPa -0,1kPa

Бул меш температурага сезгич өнүмдөрдүн калдыктарын, эриткичтерди же башка учуучу кошулмаларды тазалоо үчүн идеалдуу. Вакуумдук насос тез туташтырылган фланец түтүктөрү менен орнотуу мейкиндигин үнөмдөө үчүн мештин төмөн жагына орнотулат. Мештин бул түрү лабораторияларда, жарым өткөргүч, MEMS жана электрондук чөйрөдө кеңири колдонулат.

9 камера өз алдынча башкарылат жана вакуум системасынын бир топтомун бөлүшөт. Бул металл материалдардын бардык түрлөрүнө, анаэробиканэробдук, химиялык чийки заттарга, баалуу металлдарга, металл порошокторуна жана башка катуу, порошок, паста, суюк, электрондук буюмдарга ылайыктуу

• ● 9-Камералык өз алдынча башкаруу
• ● Кычкылданууну болтурбоо үчүн электрондук приборлорду, оптоэлектрондук түзүлүштөрдү, жарым өткөргүч микросхемаларды жана башка түзүлүштөрдү өндүрүү процессинде продукцияны убактылуу сактоо
• ● Мин.50 – 5*10-5Па вакуум
• ● Продукт маалыматын сактоо үчүн штрих-код сканери

GMS дат баспас болоттон жасалган өнөр жай мештери 200 ℃ чейин ар кандай термикалык иштетүү колдонмолоруна ылайыкташкан. Өнөр жай мештери барабанды жылытуу, картаюу, өзөктүн катууланышы, кургатуу, алдын ала ысытуу, айыктыруу жана компоненттерди сыноо үчүн эң ылайыктуу.

• ● Дат баспас болоттон жасалган материал люкс үчүн таза устакана же коррозиялык чөйрө
• ● Макс. Темп. 200°C
• ● Мажбурланган конвекция түрү

• ● буюмдарды термикалык иштетүү үчүн ылайыктуу
• ● Өндүрүш линиясында орнотулган конвейер меш өндүрүштүн натыйжалуулугун бир топ жакшыртты
• ● Толук автоматтык башкаруу
• ● Конвейердин ылдамдыгы жөнгө салынуучу жана бир нече дарылоо процессин көрө алат
• ● жыштык конвертер менен жабдылган, устун жарык, цилиндр, ж.б.
• ● Автоматтык жүктөө жана түшүрүү системасы жогорку жана ылдый агымдагы жабдуулар менен туташуу үчүн

9 камера өз алдынча башкарылат жана вакуум системасынын бир топтомун бөлүшөт. Бул металл материалдардын бардык түрлөрүнө, анаэробиканэробдук, химиялык чийки заттарга, баалуу металлдарга, металл порошокторуна жана башка катуу, порошок, паста, суюк, электрондук буюмдарга ылайыктуу

• ● 9-Камералык өз алдынча башкаруу
• ● Кычкылданууну болтурбоо үчүн электрондук приборлорду, оптоэлектрондук түзүлүштөрдү, жарым өткөргүч микросхемаларды жана башка түзүлүштөрдү өндүрүү процессинде продукцияны убактылуу сактоо
• ● Мин.50 – 5*10-5Па вакуум
• ● Продукт маалыматын сактоо үчүн штрих-код сканери

Жарым өткөргүчтөрдү таңгактоо программасынын сегментине же лабораторияда сыноого, чайыр менен айыктыруу үчүн ылайыктуу.

Көп камералуу меш температуранын бирдейлигин жана өндүрүмдүүлүгүн максималдуу арттырган жогорку көлөмдүү горизонталдуу абаны кайра циркуляциялоо системасын колдонот.

• ● 2/3/4/6 камера айкалышы үчүн жеткиликтүү (ар бир камера үчүн өз алдынча башкаруу)
• ● Орнотуу мейкиндигин үнөмдөө
• ● Горизонталдык конвекция

GZ-RTP-SM-12 бир 4-12 дюймдук пластинаны жылытуу үчүн колдонулган жарым автоматтык вертикалдуу тез термикалык иштетүү системасы
Макс. Темп. 1250℃
Макс. 4 газ линиясы

• ● буюмдарды термикалык иштетүү үчүн ылайыктуу
• ● Өндүрүш линиясында орнотулган конвейер меш өндүрүштүн натыйжалуулугун бир топ жакшыртты
• ● Толук автоматтык башкаруу
• ● Конвейердин ылдамдыгы жөнгө салынуучу жана бир нече дарылоо процессин көрө алат
• ● жыштык конвертер менен жабдылган, устун жарык, цилиндр, ж.б.
• ● Автоматтык жүктөө жана түшүрүү системасы жогорку жана ылдый агымдагы жабдуулар менен туташуу үчүн

Жабдуулар негизинен вакуумдук камерадан жана жогорку жыштыктагы плазма менен жабдуудан, вакуумдук системадан, инфляция тутумунан, автоматтык башкаруу тутумунан жана башка бөлүктөрдөн турат. Иштин негизги принциби вакуумдук абалда, вакуумдук насосторду колдонуу студияны вакуумга жетүү үчүн 0,15-0,3 мбар, андан кийин жогорку жыштыктагы генератордун ролунда газ иондоштурулуп, пайда болот. плазманын (заттын төртүнчү абалы), андан кийин плазманын бетинде плазманы колдонуу менен даярдалган бөлүкчөлөрдү тазалоо.

• ● Плазмалык системаны башкаруучу машина
• ● Бул кызыктай формадагы тетиктердин бетин тазалоо жана иштетүү үчүн өндүрүш чөйрөсүндө ырааттуу колдонулушу мүмкүн
• ● Вакуумдук камера

GZ тез нымдуулугу төмөн нымдуулукка чыдамдуу шкаф жаңы өркүндөтүлгөн нымсыздандыруу модулун кабыл алат. Бул 5% RH төмөн нымдуулукка жетиши мүмкүн. Продукцияны иштетүү оңой. Өзгөчө көктүн жана көктүн алдын алуу үчүн электрондук тетиктердин, камералардын, камералардын, жалпы лабораториялык аспаптардын, микроскоптордун, материалдардын жана химиялык заттардын, ж.б.

ESD кургак шкафтары сезимтал электрондук компоненттер иштетилген ар кандай чөйрөдө маанилүү инструмент болуп саналат, статикалык электрдин потенциалдуу зыяндуу таасиринен коргоп, алардын узак иштөөсүн жана иштешин камсыз кылат. Шкафтын ичи көп учурда сакталган буюмдарды кошумча коргоо үчүн антистатикалык көбүк же электр өткөргүч пластик урналар сыяктуу ESD коопсуз материалдар менен капталган.

Азот шкафтары чаңдан, бөлүкчөлөрдөн жана башка аралашмалардан булганууну көзөмөлдөөгө жардам берет, бул жарым жана электроника өндүрүшүнүн иштешине жана ишенимдүүлүгүнө таасирин тийгизет. Таза азот чөйрөсү өндүрүш процессинде компоненттердин жана беттердин тазалыгын сактайт. 100 классындагы (ISO 5) тазалык чөйрөсүндөгү учурларда, так компоненттерди жана аспаптарды сактоо үчүн толугу менен күзгү дат баспас болоттон жасалган кургак шкаф колдонулат.

Дат баспас болоттон жасалган азот шкафы инерттүү азот атмосферасын сактоо менен сезимтал компоненттерди жана материалдарды кычкылдануудан жана нымдуулуктан коргоо үчүн арналган атайын сактоочу чечим болуп саналат. Дат баспас болоттон жасалган шкафтар жогорку сапаттагы 304 дат баспас болоттон жасалган, ал коррозияга мыкты туруштук берет жана тазалоо оңой. Күзгүдөн жасалган жабуу заманбап көрүнүштү гана камсыз кылбастан, тазалоону жана тейлөөнү да жеңилдетет. Бул шкафтардын үстүнкү үстүнкү бети жана тазалоо оңой мүнөзү аларды таза бөлмө чөйрөсүнө ылайыктуу кылат, кээ бир моделдер атүгүл 100-класстын тазалык стандартына жооп берет.

Дат баспас болоттон жасалган азот шкафы көбүнчө жарым өткөргүч, фотоника жана FPD тармактарында, атайын материалдарды сактоо жана электрондук секторлордо кычкылданууну, бөтөн денелердин чабуулун жана таза чөйрөдө нымдуулукту көзөмөлдөө үчүн колдонулат.

Шкаф максималдуу жүктөө жана туруктуулук үчүн иштелип чыккан, Дат баспас болоттон жасалган азот шкафы жумушчу аймакты тазалоо үчүн азот кириши менен орнотулган, андыктан сактоочу заттарды кычкылдануудан коргоо үчүн, N2 кургак шкафы SUS # 304 тарабынан жасалган.

Төмөн нымдуулукту сактоо менен, азот шкафтары IC компоненттерин сактоо жана иштетүү учурунда нымдуулуктун таасирин азайтууга жардам берет. Бул кычкылданууну азайтуу жана таза, ишенимдүү байланыштарды камсыз кылуу аркылуу ширетүүчү муундун сапатын жакшыртат. Бул IC пакеттеринин ишенимдүүлүгүнө таасир эте турган коррозияны, катмарланууну же нымдуулукка байланыштуу башка кемчиликтерди алдын алуу үчүн өтө маанилүү.

• ● Нымдуулук диапазону: 1-60% RH
• ● Сыйымдуулугу: 500/1020/1250/1510Liter
• ● ESD Safe