Ko nga oumu hau inert tino teitei he taputapu tino nui i roto i nga ahumahi e hiahiatia ana te tukatuka i te wera-nui i roto i te haurangi kore, me te whakarite i te kounga me te pono o nga rauemi e tukatukahia ana. E tika ana mo te hau i roto i nga hau koretake penei i te Argon, Carbon Dioxide, Helium, me te Nitrogen. Ko nga huānga whakamahana waea nichrome-nui-a-tuwhera e whakarato ana i te puna wera kaha ki te 600 nga nekehanga. He hoahoa anga-rua ahurei ka taea te tohanga o te hau whakamatao me te hau ambient huri noa i te ruuma o roto ki tonu i te hau koretake, kia mau tonu te pehanga o roto me te pāmahana.

He pai rawa nga oumu hau hau mo nga tono oumu ahumahi e uru ana ki te tukatuka rauemi i roto i te taiao hau e whakahaeretia ana, tae atu ki te whakamaroke makuku, te whakamaroke angiangi, te rongoa kapia mo te whakangao semiconductor, me te koroheketanga o nga waahanga hiko me nga taputapu.

● 1 ruma, 2 momo ruma ranei (te mana motuhake mo ia ruma)
● Max. 260℃
●O2 kukū i raro 50ppm

He pai mo te rongoa i nga wafers semiconductor (photoresist PI, PBO, BCB curing), tunu takai karaihe, me te maimoatanga annealing tino tika, etc.

Ka whakamahia nuitia nga oumu ma ki te whakamaroke wera, whakamaroke ranei i nga angiangi semiconductor, tioata wai, kōpae me etahi atu waahanga me nga taputapu e hiahia ana kia maa te hau.

• ● Karaehe 100
• ● 350L te kaha nui
• ● Max. pāmahana 260℃

• ● Te whakamaroke korehau hei tango i te makuku me te whakarewa i roto i nga taonga hiko.
• ● Max. te pāmahana 300 ℃/400 ℃ he kōwhiringa
• ● Awhe korehau whakahaere 101kPa -1Pa● Kei te waatea i roto i nga rahi 3, te kaha nui

Umu whakamaroke korehau nui i hangaia mo nga momo whakamaroke whakamaroke katoa.

• ● Max. pāmahana 250 ℃
• ● Awhe korehau whakahaere 101kPa -0.1kPa

He pai tenei oumu mo te tango i te toenga wai, whakarewa, etahi atu puhui puhoi ranei mai i nga hua tairongo. Ka utaina te papu korehau ki te taha whakararo o te oumu hei whakaora i te waahi whakaurunga me te tere o te hononga paipa flange. Ko tenei momo oumu e whakamahia nuitia ana i roto i nga taiwhanga, semiconductor, MEMS, me te waahi hiko.

Ko nga ruuma e 9 e whakahaere takitahi ana me te tiri i tetahi huinga punaha korehau. He pai mo nga momo mea whakarewa katoa, anaerobicanaerobic, matū rawa mata, konganuku utu nui, paura whakarewa me etahi atu totoka, paura, whakapiri, wai, hua hiko.

• ● 9-Rua mana motuhake
• ● Whakaorangia nga hua mo te wa poto i te wa e hanga ana nga taputapu hiko, nga taputapu optoelectronic, nga maramara semiconductor me etahi atu taputapu hei aukati i te waikura.
• ● Min.50 ki te 5 * 10-5Pa korehau
• ● Matawai Waeherehere hei penapena korero hua

Ko nga oumu ahumahi kowiri tira a GMS he maha nga momo tono tukatuka waiariki ki te 200 ℃. He pai rawa nga oumu ahumahi mo te whakamahana pahū, te koroheketanga, te whakamaroke matua, te whakamaroke, te whakamahana o mua, te rongoa, me te whakamatautau waahanga.

• ● He mea kowiri tira ki te awheawhe ma, te taiao kino ranei
• ● Max. Temp. 200°C
• ● Momo convection kaha

• ● He pai mo te maimoatanga wera o nga hua
• ● Whakaturia ki te raina whakaputa, ko te oumu kawe i pai ake te pai o te whakaputa
• ● Mana whakahaere aunoa
• ● Ko te tere o te kawe ka taea te whakarite me te kaha ki te se tukanga maimoatanga maha
• ● Kua rite ki te kaitahuri auau, te rama tiiki, te rango, aha atu.
• ● Pūnaha uta me te wetewete aunoa ki te hono atu ki nga taputapu o runga me te taha whakararo

Ko nga ruuma e 9 e whakahaere takitahi ana me te tiri i tetahi huinga punaha korehau. He pai mo nga momo mea whakarewa katoa, anaerobicanaerobic, matū rawa mata, konganuku utu nui, paura whakarewa me etahi atu totoka, paura, whakapiri, wai, hua hiko.

• ● 9-Rua mana motuhake
• ● Whakaorangia nga hua mo te wa poto i te wa e hanga ana nga taputapu hiko, nga taputapu optoelectronic, nga maramara semiconductor me etahi atu taputapu hei aukati i te waikura.
• ● Min.50 ki te 5 * 10-5Pa korehau
• ● Matawai Waeherehere hei penapena korero hua

E tika ana mo te waahanga kaupapa whakakakahu semiconductor hei whakamatautau ranei i roto i te taiwhanga, mo te rongoa kapia.

Ka whakamahia e te oumu maha ruma he punaha whakaheke hau whakapae nui e whakanui ana i te riterite o te pāmahana me te mahi.

• ● Kei te waatea mo te huinga ruma 2/3/4/6 (te mana motuhake mo ia ruma)
• ● Te tiaki i te waahi whakaurunga
• ● Whakapae whakapae

Ko te GZ-RTP-SM-12 he punaha tukatuka waiariki poutū-aunoa-aunoa e whakamahia ana mo te whakamahana 4-12 inihi angiangi kotahi.
Max. Temp. 1250℃
Max. 4 raina hau

• ● He pai mo te maimoatanga wera o nga hua
• ● Whakaturia ki te raina whakaputa, ko te oumu kawe i pai ake te pai o te whakaputa
• ● Mana whakahaere aunoa
• ● Ko te tere o te kawe ka taea te whakarite me te kaha ki te se tukanga maimoatanga maha
• ● Kua rite ki te kaitahuri auau, te rama tiiki, te rango, aha atu.
• ● Pūnaha uta me te wetewete aunoa ki te hono atu ki nga taputapu o runga me te taha whakararo

Ko te nuinga o nga taputapu ko te ruma korehau me te kaha o te hiko plasma teitei, te punaha korehau, te punaha pikinga, te punaha whakahaere aunoa me etahi atu waahanga. Ko te kaupapa matua o te mahi i roto i te ahua korehau, te whakamahi o papua korehau ki te korehau te studio ki te whakatutuki i te korehau o 0.15-0.3 mbar, a ka i roto i te mahi o te generator auau tiketike, ka katote te hau, te hanganga. o te plasma (te ahua tuawha o nga mea), katahi ka whakamahia te plasma ki runga i te mata o te maimoatanga mahi.

• ● Mīhini tuku-pūnaha Plasma
• ● Ka taea te whakamahi i nga wa katoa i roto i te taiao whakangao hei horoi me te whakahohe i te mata o nga waahanga rerekee te ahua
• ● Te ruma korehau

GZ tere iti haumākū makuku tohu rūnanga tango i te kōwae dehumidification whakahou ake. Ka tae ki te haumākū i raro i te 5%RH. He ngawari te mahi o te hua. Ka tino taunakitia mo nga momo waahanga hiko katoa, nga kamera, nga kamera, nga taputapu taiwhanga whanui, nga miihini, nga rawa me nga matū, me etahi atu hei aukati i te koriri me te koriri.

Ko nga kaapata maroke ESD he taputapu nui i roto i tetahi taiao e whakahaerea ana nga waahanga hiko tairongo, e whakarite ana i te roa me te mahi ma te tiaki i a raatau mai i nga paanga kino o te hiko pateko. Ko te roto o te rūnanga he maha nga wa ka whakakiia ki nga taonga haumaru-ESD, penei i te pahuka i te pateko, i nga ipu kirihou whakahaere ranei, hei whakamarumaru atu mo nga taonga rongoa.

Ka taea e nga pouaka hauota te awhina ki te whakahaere i te poke mai i te puehu, te matūriki, me etahi atu poke ka pa ki te mahi me te pono o te hanga semicon me te hikohiko. Ko te taiao hauota ma e pupuri ana i te ma o nga waahanga me nga papa i roto i nga mahi whakangao. Mo nga wa i roto i te akomanga 100 (ISO 5) te taiao ma, ka whakamahia te pouaka whakamaroke kowiri tira tino whakaata hei penapena i nga waahanga me nga taputapu.

Ko te rūnanga hauota kowiri tira he otinga rokiroki motuhake i hangaia hei whakamarumaru i nga waahanga tairongo me nga rawa mai i te waikura me te makuku kino ma te pupuri i te hau hauota koretake. He mea hanga mai i te rino kowiri tira 304 te kounga teitei, he pai rawa atu te aukati i te waikura me te ngawari ki te horoi. Ko te whakaoti whakaata ehara i te mea e whakarato ana i te ahua hou engari he pai ake te horoi me te tiaki. Ko te ahua teitei o te mata me te ngawari-ki-ma o enei kaapata ka pai mo nga taiao ruma ma, me etahi tauira ka tutuki i te paerewa ma o te Akomanga 100

Ko te rūnanga hauota kowiri tira te nuinga o te whakamahi i roto i nga umanga semiconductor, photonics me te FPD, te rokiroki rauemi motuhake me nga waahanga hiko hei aukati i te hāoratanga, te whakaekenga o nga tinana ke me te whakahaere makuku i roto i te taiao ma.

I hangaia te rūnanga mo te taumaha me te mauroa, Ko te rūnanga hauota kowiri tira ka whakauruhia ki te kokoru hauota hei horoi i te waahi mahi, hei tiaki i nga taonga rokiroki mai i te waikura, ka hangaia te katoa o te rūnanga maroke N2 e SUS#304.

Ma te pupuri i nga taumata haumākū iti, ka awhina nga pouaka hauota ki te whakaiti i te makuku i te wa e rokiroki ana me te tukatuka i nga waahanga IC. Ka taea e ia te whakapai ake i te kounga o nga hononga honohono ma te whakaiti i te waikura me te whakarite hononga ma, pono. He mea nui tenei mo te aukati i te waikura, te whakaheke, me etahi atu ngoikoretanga e pa ana ki te makuku ka pa ki te pono o nga kohinga IC.

• ● Awhe haumākū:1-60%RH
• ● Raukaha: 500/1020/1250/1510Liter
• ● ESD Haumaru