Хэт өндөр температурт инертийн хийн зуух нь инертийн орчинд өндөр температурт боловсруулалт хийх шаардлагатай үйлдвэрлэлийн чухал төхөөрөмж бөгөөд боловсруулж буй материалын чанар, бүрэн бүтэн байдлыг баталгаажуулдаг. Энэ нь аргон, нүүрстөрөгчийн давхар исэл, гели, азот зэрэг идэвхгүй хий дэх агаар мандалд хамаарна. Ил задгай никром утсан халаагуурын элементүүд нь 600 градус хүртэл дулааны бат бөх эх үүсвэрээр хангадаг. Өвөрмөц хос бүрхүүлтэй загвар нь инертийн хийгээр дүүрсэн дотоод камерын эргэн тойронд хөргөлтийн бодис болон орчны агаарыг эргэлдүүлж, дотоод даралт, температурыг тогтвортой байлгах боломжийг олгодог.

Инерцийн хийн зуух нь чийгийг хатаах, вафель хатаах, хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын давирхайг хатаах, электрон эд анги, төхөөрөмжүүдийн хөгшрөлт зэрэг хяналттай уур амьсгалтай орчинд материалыг боловсруулах үйлдвэрлэлийн зууханд тохиромжтой.

● 1 камер эсвэл 2 камерын төрөл (танхим тус бүрийн бие даасан удирдлага)
● Макс. 260℃
●50ppm-ээс доош O2 концентраци

Хагас дамжуулагч ялтсуудыг (фоторезист PI, PBO, BCB хатах), шилэн субстратыг жигнэх, өндөр нарийвчлалтай зөөлрүүлэх зэрэгт тохиромжтой.

Цэвэр зуухыг дулааны боловсруулалт, хатаах, хагас дамжуулагч хавтан, шингэн талст, диск болон бусад эд анги, цэвэр агаарт шаардлагатай төхөөрөмжийг хатаахад өргөн хэрэглэгддэг.

• ● Ангилал 100
• ● 350л том багтаамжтай
• ● Макс. температур 260 ℃

• ● Электродын материал дахь чийг ба уусгагчийг арилгахын тулд вакуум хатаах.
• ● Макс. температур 300℃/400℃ нь сонголттой
• ● Ашиглалтын вакуум хүрээ 101кПа -1Па● 3 хэмжээтэй, том хүчин чадалтай

Бүх төрлийн вакуум хатаах зориулалттай том вакуум хатаах зуух.

• ● Макс. температур 250 ℃
• ● Ашиглалтын вакуум хүрээ 101кПа -0.1кПа

Энэ зуух нь температурт мэдрэмтгий бүтээгдэхүүнээс үлдэгдэл ус, уусгагч болон бусад дэгдэмхий нэгдлүүдийг зайлуулахад тохиромжтой. Хурдан холболттой фланцын хоолойгоор суурилуулах зайг хэмнэхийн тулд зуухны доод хэсэгт вакуум насос суурилуулна. Энэ төрлийн зуухыг лаборатори, хагас дамжуулагч, MEMS, электрон салбарт өргөн ашигладаг.

9 танхим нь бие даасан хяналттай бөгөөд нэг багц вакуум системийг хуваалцдаг. Энэ нь бүх төрлийн металл материал, агааргүй, химийн түүхий эд, үнэт металл, металл нунтаг болон бусад хатуу, нунтаг, зуурмаг, шингэн, электрон бүтээгдэхүүнд тохиромжтой.

• ● 9 танхимтай бие даасан хяналт
• ● Исэлдэлтээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд электрон төхөөрөмж, оптоэлектроник төхөөрөмж, хагас дамжуулагч чип болон бусад төхөөрөмжийг үйлдвэрлэх явцад бүтээгдэхүүнийг түр хадгалах
• ● Мин.50-аас 5*10-5Па вакуум
• ● Бүтээгдэхүүний мэдээллийг хадгалах бар код сканнер

GMS зэвэрдэггүй ган үйлдвэрлэлийн зуухнууд нь 200 ℃ хүртэл янз бүрийн дулааны боловсруулалт хийх зориулалттай. Аж үйлдвэрийн зуухнууд нь бөмбөрийн халаалт, хөгшрөлт, үндсэн хатуурал, хатаах, урьдчилан халаах, хатууруулах, эд ангиудыг туршихад маш тохиромжтой.

• ● Цэвэр цех эсвэл идэмхий орчинд тохирсон зэвэрдэггүй ган материал
• ● Макс. Температур. 200°С
• ● Албадан конвекцийн төрөл

• ● Бүтээгдэхүүнийг дулаанаар боловсруулахад тохиромжтой
• ● Үйлдвэрлэлийн шугам дээр суурилуулсан конвейер зуух нь үйлдвэрлэлийн үр ашгийг ихээхэн сайжруулсан
• ● Бүрэн автомат удирдлага
• ● Туузан дамжуулагчийн хурдыг тохируулах боломжтой бөгөөд олон төрлийн боловсруулалтын процессыг харах боломжтой
• ● Давтамж хувиргагч, гадасны гэрэл, цилиндр гэх мэт тоног төхөөрөмжөөр тоноглогдсон.
• ● Дээд болон доод урсгалын тоног төхөөрөмжтэй холбогдох автомат ачих, буулгах систем

9 танхим нь бие даасан хяналттай бөгөөд нэг багц вакуум системийг хуваалцдаг. Энэ нь бүх төрлийн металл материал, агааргүй, химийн түүхий эд, үнэт металл, металл нунтаг болон бусад хатуу, нунтаг, зуурмаг, шингэн, электрон бүтээгдэхүүнд тохиромжтой.

• ● 9 танхимтай бие даасан хяналт
• ● Исэлдэлтээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд электрон төхөөрөмж, оптоэлектроник төхөөрөмж, хагас дамжуулагч чип болон бусад төхөөрөмжийг үйлдвэрлэх явцад бүтээгдэхүүнийг түр хадгалах
• ● Мин.50-аас 5*10-5Па вакуум
• ● Бүтээгдэхүүний мэдээллийг хадгалах бар код сканнер

Хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын хөтөлбөрийн сегмент эсвэл лабораторид турших, давирхайг хатууруулахад тохиромжтой.

Олон камертай зуух нь өндөр эзэлхүүнтэй хэвтээ агаарын эргэлтийн системийг ашигладаг бөгөөд энэ нь температурын жигд байдал, гүйцэтгэлийг дээд зэргээр нэмэгдүүлдэг.

• ● 2/3/4/6 танхимтай хослуулах боломжтой (танхим тус бүрийн бие даасан удирдлага)
• ● Суулгах зайг хэмнэх
• ● Хэвтээ конвекц

GZ-RTP-SM-12 нь 4-12 инчийн дан хавтан халаахад зориулагдсан хагас автомат босоо хурдан дулааны боловсруулалтын систем юм.
Макс. Температур. 1250℃
Макс. 4 хийн шугам

• ● Бүтээгдэхүүнийг дулаанаар боловсруулахад тохиромжтой
• ● Үйлдвэрлэлийн шугам дээр суурилуулсан конвейер зуух нь үйлдвэрлэлийн үр ашгийг ихээхэн сайжруулсан
• ● Бүрэн автомат удирдлага
• ● Туузан дамжуулагчийн хурдыг тохируулах боломжтой бөгөөд олон төрлийн боловсруулалтын процессыг харах боломжтой
• ● Давтамж хувиргагч, гадасны гэрэл, цилиндр гэх мэт тоног төхөөрөмжөөр тоноглогдсон.
• ● Дээд болон доод урсгалын тоног төхөөрөмжтэй холбогдох автомат ачих, буулгах систем

Тоног төхөөрөмж нь ихэвчлэн вакуум камер, өндөр давтамжийн плазмын цахилгаан хангамж, вакуум систем, инфляцийн систем, автомат удирдлагын систем болон бусад хэсгүүдээс бүрдэнэ. Ажлын үндсэн зарчим нь вакуум төлөвт, вакуум насос ашиглан студи вакуумыг 0.15-0.3 мбар, дараа нь өндөр давтамжийн генераторын үүрэг гүйцэтгэж, хий ионжуулж, үүсэх болно. плазмын (бодисын дөрөв дэх төлөв), дараа нь бэлдэцийг боловсруулах гадаргуу дээр плазмыг ашиглах.

• ● Плазмын систем дамжуулах машин
• ● Хачирхалтай хэлбэртэй хэсгүүдийн гадаргууг цэвэрлэх, идэвхжүүлэхийн тулд үйлдвэрлэлийн орчинд тогтмол ашиглаж болно.
• ● Вакуум камер

GZ хурдан чийгшил багатай чийгэнд тэсвэртэй кабинет нь шинэ сайжруулсан чийгшүүлэх модулийг ашигладаг. Энэ нь 5% RH-ээс бага чийгшилд хүрч болно. Бүтээгдэхүүнийг ажиллуулахад хялбар. Ялангуяа бүх төрлийн электрон эд анги, камер, камер, ерөнхий лабораторийн багаж, микроскоп, материал, химийн бодис зэрэгт хөгц мөөгөнцөр үүсэхээс урьдчилан сэргийлэхийг зөвлөж байна.

ESD хуурай шүүгээ нь мэдрэмтгий электрон эд ангиудыг харьцдаг аливаа орчинд зайлшгүй шаардлагатай хэрэгсэл бөгөөд статик цахилгааны хор хөнөөлтэй нөлөөллөөс хамгаалж, урт наслалт, гүйцэтгэлийг нь баталгаажуулдаг. Хадгалагдсан эд зүйлсийг нэмэлт хамгаалалтаар хангахын тулд шүүгээний дотоод хэсгийг ихэвчлэн антистатик хөөс эсвэл цахилгаан дамжуулагч хуванцар сав гэх мэт ESD аюулгүй материалаар доторлодог.

Азотын шүүгээ нь тоос, тоосонцор болон бусад хольцын бохирдлыг хянахад тусалдаг бөгөөд энэ нь хагас болон электроникийн үйлдвэрлэлийн гүйцэтгэл, найдвартай байдалд нөлөөлж болзошгүй юм. Цэвэр азотын орчин нь үйлдвэрлэлийн явцад эд анги, гадаргуугийн цэвэр байдлыг хангадаг. 100 (ISO 5) ангиллын цэвэр орчны хувьд бүрэн толин тусгалтай зэвэрдэггүй ган хуурай шүүгээг нарийн эд анги, багаж хэрэгслийг хадгалахад ашигладаг.

Зэвэрдэггүй ган азотын шүүгээ нь азотын идэвхгүй уур амьсгалыг хадгалах замаар мэдрэмтгий эд анги, материалыг исэлдэлт, чийгийн гэмтлээс хамгаалах зориулалттай тусгай зориулалтын хадгалах шийдэл юм. Зэвэрдэггүй ган шүүгээ нь өндөр чанарын 304 зэвэрдэггүй гангаар хийгдсэн бөгөөд зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй, цэвэрлэхэд хялбар байдаг. Толин тусгалтай өнгөлгөө нь орчин үеийн харагдах байдлыг хангаад зогсохгүй цэвэрлэгээ, засвар үйлчилгээг хөнгөвчлөх болно. Эдгээр шүүгээний гадаргуугийн өндөр өнгөлгөө, цэвэрлэхэд хялбар шинж чанар нь тэдгээрийг цэвэр өрөөнд ашиглахад тохиромжтой болгодог бөгөөд зарим загвар нь 100-р ангиллын цэвэр байдлын стандартыг хангадаг.

Зэвэрдэггүй ган азотын шүүгээ нь хагас дамжуулагч, фотоник, FPD үйлдвэрлэл, тусгай материал хадгалах, электроникийн салбарт исэлдэлт, гадны биетийн дайралтаас урьдчилан сэргийлэх, цэвэр орчинд чийгшлийг хянах зорилгоор ихэвчлэн ашиглагддаг.

Шүүгээ нь хамгийн их ачаалалтай, удаан эдэлгээтэй байхаар хийгдсэн, Зэвэрдэггүй ган азотын шүүгээ нь ажлын талбайг цэвэрлэхийн тулд азотын оролттой суурилуулсан бөгөөд хадгалах зүйлсийг исэлдүүлэхээс хамгаалахын тулд N2 хуурай шүүгээг бүхэлд нь SUS#304 үйлдвэрлэсэн.

Бага чийгшлийн түвшинг хадгалснаар азотын кабинетууд нь IC бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хадгалах, боловсруулах явцад чийгийн нөлөөллийг багасгахад тусалдаг. Энэ нь исэлдэлтийг бууруулж, цэвэр, найдвартай холболтыг хангах замаар гагнуурын үений чанарыг сайжруулж чадна. Энэ нь IC багцын найдвартай байдалд нөлөөлж болох зэврэлт, давхаргыг задлах эсвэл чийгтэй холбоотой бусад согогоос урьдчилан сэргийлэхэд маш чухал юм.

• ● Чийгийн хүрээ: 1-60%RH
• ● Хүчин чадал: 500/1020/1250/1510 литр
• ● ESD аюулгүй