د لوړې تودوخې غیر فعال ګاز تنور په صنعتونو کې مهم تجهیزات دي چیرې چې په غیر فعاله فضا کې د تودوخې لوړ پروسس کولو ته اړتیا لیدل کیږي ، د پروسس شوي موادو کیفیت او بشپړتیا تضمینوي. دا په فضا کې د غیر فعال ګازونو لکه ارګون، کاربن ډای اکسایډ، هیلیم او نایتروجن لپاره تطبیق کیږي. د خلاصې هوا درانه ګیج نیکروم تار هیټر عناصر تر 600 درجو پورې د تودوخې قوي سرچینه چمتو کوي. یو ځانګړی ډبل شیل ډیزاین د داخلي چیمبر په شاوخوا کې د یخني او محیطي هوا گردش ته اجازه ورکوي چې د غیر فعال ګاز څخه ډک وي ، مستحکم داخلي فشار او تودوخې ساتي.

غیر فعال ګاز تنور د صنعتي تنور غوښتنلیکونو لپاره مثالی دی چې د کنټرول شوي چاپیریال چاپیریال کې پروسس کولو توکي پکې شامل دي ، پشمول د لندبل وچول ، ویفر وچول ، د سیمی کنډکټر بسته کولو لپاره د رال درملنه ، او د بریښنایی اجزاو او وسیلو عمر.

● 1 چیمبر یا 2 چیمبر ډولونه (د هرې خونې لپاره یوازینۍ کنټرول)
● Max. 260℃
● د 50ppm لاندې د O2 غلظت

د سیمی کنډکټر ویفرونو درملنې لپاره مناسب (فوټوریزیسټ PI، PBO، BCB کیورینګ)، د شیشې سبسټریټ بیکینګ، او د لوړ دقیق انیلینګ درملنې، او داسې نور.

پاک تنور په پراخه کچه د تودوخې درملنې یا د سیمی کنډکټر ویفرونو ، مایع کرسټالونو ، ډیسکونو او نورو برخو او وسایلو وچولو کې کارول کیږي چې پاک هوا شرایطو ته اړتیا لري.

• ● 100 ټولګي
• ● 350L لوی ظرفیت
• ● Max. د حرارت درجه 260 ℃

• ● په الکترود موادو کې د لندبل او محلول د لرې کولو لپاره د ویکیوم وچول.
• ● Max. د حرارت درجه 300 ℃ / 400 ℃ اختیاري ده
• ● عملیاتي ویکیوم رینج 101kPa -1Pa● په 3 سایزونو کې شتون لري، لوی ظرفیت

د ویکیوم وچولو لوی تنور د هر ډول ویکیوم وچولو هدف لپاره ډیزاین شوی.

• ● Max. د حرارت درجه 250 ℃
• ● عملیاتي ویکیوم رینج 101kPa -0.1kPa

دا تنور د تودوخې حساس محصولاتو څخه د پاتې اوبو ، محلولونو یا نورو بې ثباته مرکباتو لرې کولو لپاره مثالی دی. د ویکیوم پمپ به د تنور په ښکته برخه کې نصب شي ترڅو د ګړندي پیوستون فلانج پایپ سره د نصب کولو ځای خوندي کړي. دا ډول تنور په پراخه کچه په لابراتوارونو ، سیمیکنډکټرونو ، MEMS او بریښنایی ساحه کې کارول کیږي.

9 چیمبرونه په خپلواک ډول کنټرول شوي او د ویکیوم سیسټم یوه سیټ شریکوي. دا د هر ډول فلزي موادو، anaerobicanaerobic، کیمیاوي خامو موادو، قیمتي فلزاتو، فلزي پوډر او نورو جامد، پوډر، پیسټ، مایع، بریښنایی محصولاتو لپاره مناسب دی.

• ● 9-چیمبرونه یوازینی کنټرول
• ● په موقتي توګه د بریښنایی وسیلو د تولید پروسې په جریان کې محصولات ذخیره کړئ، د بریښنایی وسیلو، سیمی کنډکټر چپس او نور وسایل د اکسیډیشن مخنیوی لپاره
• ● لږ تر لږه 50 څخه تر 5*10-5Pa ویکیوم
• ● د محصول معلوماتو ذخیره کولو لپاره د بارکوډ سکینر

د GMS سټینلیس سټیل صنعتي تنور تر 200 ℃ پورې د تودوخې پروسس کولو مختلف غوښتنلیکونه ځای په ځای کوي. صنعتي تنورونه د ډرم تودوخې، عمر، اصلي سختولو، وچولو، مخکې تودوخې، درملنې، او اجزاو ازموینې لپاره مناسب دي.

• ● د سټینلیس فولاد مواد د پاک ورکشاپ یا ککړ چاپیریال لپاره مناسب
• ● Max. تودوخه 200°C
• ● د جبري کنفیکشن ډول

• ● د محصولاتو د حرارتي درملنې لپاره مناسب
• ● د تولید په لیکه کې تنظیم شوی، د لیږدونکي تنور د تولید موثریت خورا ښه کړی
• ● په بشپړه توګه اتومات کنټرول
• ● د لیږدونکي سرعت د تنظیم وړ دی او د ډیری درملنې پروسې لیدلو وړ وي
• ● د فریکونسۍ کنورټر، سټیک څراغ، سلنډر، او داسې نورو سره سمبال شوی.
• ● د اتوماتیک بار او انلوډ سیسټم ترڅو د پورته او ښکته جریان تجهیزاتو سره وصل شي

9 چیمبرونه په خپلواک ډول کنټرول شوي او د ویکیوم سیسټم یوه سیټ شریکوي. دا د هر ډول فلزي موادو، anaerobicanaerobic، کیمیاوي خامو موادو، قیمتي فلزاتو، فلزي پوډر او نورو جامد، پوډر، پیسټ، مایع، بریښنایی محصولاتو لپاره مناسب دی.

• ● 9-چیمبرونه یوازینی کنټرول
• ● په موقتي توګه د بریښنایی وسیلو د تولید پروسې په جریان کې محصولات ذخیره کړئ، د بریښنایی وسیلو، سیمی کنډکټر چپس او نور وسایل د اکسیډیشن مخنیوی لپاره
• ● لږ تر لږه 50 څخه تر 5*10-5Pa ویکیوم
• ● د محصول معلوماتو ذخیره کولو لپاره د بارکوډ سکینر

د سیمی کنډکټر بسته بندۍ برنامې برخې یا په لابراتوار کې ازموینې لپاره مناسب ، د رال درملنې لپاره.

د ملټي چیمبر تنور د لوړ حجم افقی هوا تکرار سیسټم کاروي کوم چې د تودوخې یوشانوالی او فعالیت اعظمي کوي.

• ● د 2/3/4/6 د چیمبر ترکیب لپاره شتون لري (د هرې خونې لپاره واحد کنټرول)
• ● د نصب کولو ځای خوندي کول
• ● افقی کنویکشن

GZ-RTP-SM-12 د نیمه اتوماتیک عمودی چټک تودوخې پروسس کولو سیسټم دی چې د واحد 4-12 انچ ویفر ګرمولو لپاره کارول کیږي
مکس تودوخه 1250℃
مکس 4 د ګازو لینونه

• ● د محصولاتو د حرارتي درملنې لپاره مناسب
• ● د تولید په لیکه کې تنظیم شوی، د لیږدونکي تنور د تولید موثریت خورا ښه کړی
• ● په بشپړه توګه اتومات کنټرول
• ● د لیږدونکي سرعت د تنظیم وړ دی او د ډیری درملنې پروسې لیدلو وړ وي
• ● د فریکونسۍ کنورټر، سټیک څراغ، سلنډر، او داسې نورو سره سمبال شوی.
• ● د اتوماتیک بار او انلوډ سیسټم ترڅو د پورته او ښکته جریان تجهیزاتو سره وصل شي

تجهیزات په عمده توګه د ویکیوم چیمبر او د لوړ فریکونسۍ پلازما بریښنا رسولو، ویکیوم سیسټم، د انفلاسیون سیسټم، د اتوماتیک کنټرول سیسټم او نورو برخو څخه جوړ شوي دي. د کار اساسی اصول د خلا حالت کې دی، د ویکیوم پمپونو کارول د سټوډیو خالي کولو لپاره د 0.15-0.3 mbar ویکیوم ترلاسه کولو لپاره ، او بیا د لوړ فریکونسۍ جنراتور په رول کې ، ګاز به ionized شي ، جوړښت د پلازما (د مادې څلورم حالت)، او بیا د ورک پیس درملنې په سطحه د پلازما کارول.

• ● د پلازما سیسټم د سپارلو ماشین
• ● دا په دوامداره توګه د تولید چاپیریال کې کارول کیدی شي ترڅو د عجیب شکل لرونکي برخو سطح پاک او فعال کړي
• ● د ویکیوم چیمبر

د GZ ګړندی ټیټ رطوبت رطوبت ثبوت کابینه د نوي پرمختللي ډیهومایډیفیکیشن ماډل غوره کوي. دا کولی شي د 5% RH لاندې رطوبت ته ورسیږي. محصول د کار کولو لپاره اسانه دی. دا په ځانګړي توګه د هر ډول بریښنایی برخو ، کیمرې ، کیمرې ، عمومي لابراتوار وسایلو ، مایکروسکوپونو ، موادو او کیمیاوي توکو او داسې نورو لپاره وړاندیز کیږي ترڅو د مولډ او فلج مخه ونیسي.

د ESD وچې کابینې په هر چاپیریال کې یو لازمي وسیله ده چیرې چې حساس بریښنایی اجزا اداره کیږي ، د جامد بریښنا احتمالي زیان رسونکي اغیزو څخه د دوی په ساتلو سره د دوی اوږد عمر او فعالیت تضمینوي. د کابینې داخلي برخه اکثرا د ESD-خوندي موادو سره پوښل کیږي ، لکه د جامد ضد فوم یا کنډکټیک پلاستيکي ډنډونه ، ترڅو د ذخیره شوي توکو لپاره اضافي محافظت چمتو کړي.

د نایټروجن کابینې کولی شي د دوړو، ذراتو او نورو ناپاکو ککړتیا کنټرول کې مرسته وکړي چې کولی شي د سیمیکون او برقیاتو تولید فعالیت او اعتبار اغیزه وکړي. د نایتروجن پاک چاپیریال د تولید پروسو په جریان کې د اجزاو او سطحو پاکوالی ساتي. د 100 ټولګي (ISO 5) د پاکوالي چاپیریال کې د فرصتونو لپاره ، د دقیق اجزاو او وسایلو ذخیره کولو لپاره په بشپړ ډول د سټینلیس سټیل وچه کابینه کارول کیږي.

د سټینلیس سټیل نایټروجن کابینې د ذخیره کولو ځانګړي حل دی چې د حساسو اجزاو او موادو د اکسیډریشن او رطوبت زیان څخه د غیر فعال نایتروجن فضا ساتلو لپاره ډیزاین شوی. د سټینلیس سټیل کابینې د لوړ کیفیت 304 سټینلیس فولادو څخه جوړ شوي ، کوم چې د عالي سنکنرن مقاومت وړاندیز کوي او پاکول یې اسانه دي. عکس شوی پای نه یوازې عصري بڼه وړاندې کوي بلکې پاکول او ساتنه هم اسانه کوي. د دې کابینې لوړې سطحې پای او د پاکولو اسانه طبیعت دوی د پاک خونې چاپیریال لپاره مناسب کوي ، ځینې ماډلونه حتی د 100 ټولګي د پاکوالي معیار پوره کوي

د سټینلیس سټیل نایټروجن کابینه معمولا د سیمی کنډکټر ، فوټونیک او FPD صنعتونو کې کارول کیږي ، د ځانګړي موادو ذخیره کولو او بریښنایی سکتورونو کې د اکسیډریشن مخه نیولو ، د بهرنیو بدنونو برید او په پاک چاپیریال کې د رطوبت کنټرول.

کابینه د اعظمي بار او دوام لپاره ډیزاین شوې ، د سټینلیس سټیل نایټروجن کابینه د کار ساحې پاکولو لپاره د نایټروجن داخل سره نصب شوې ، ترڅو د ذخیره کولو توکي د اکسیډیز کیدو څخه خوندي کړي ، د N2 ټوله وچه کابینه د SUS #304 لخوا جوړه شوې.

د ټیټ رطوبت د کچې ساتلو سره، د نایټروجن کابینې د IC اجزاوو ذخیره کولو او پروسس کولو په وخت کې د رطوبت کمولو کې مرسته کوي. دا کولی شي د اکسیډریشن کمولو او د پاکو، باوري اړیکو ډاډ ترلاسه کولو سره د سولډر ګډ کیفیت ښه کړي. دا د زنګ وهلو ، ډیلیمینیشن ، یا نورو لندبل پورې اړوند نیمګړتیاو مخنیوي لپاره خورا مهم دی چې کولی شي د IC کڅوړو اعتبار اغیزه وکړي.

• ● د رطوبت حد: 1-60% RH
• ● ظرفیت: 500/1020/1250/1510 لیټر
• ● ESD خوندي