Печи с инертным газом сверхвысокой температуры являются критически важным оборудованием в отраслях, где требуется высокотемпературная обработка в инертной атмосфере, гарантирующая качество и целостность обрабатываемых материалов. Они применимы для атмосферы в инертных газах, таких как аргон, углекислый газ, гелий и азот. Нагревательные элементы из толстой нихромовой проволоки на открытом воздухе обеспечивают надежный источник тепла до 600 градусов. Уникальная конструкция с двумя оболочками обеспечивает циркуляцию охлаждающей жидкости и окружающего воздуха вокруг внутренней камеры, заполненной инертным газом, поддерживая стабильное внутреннее давление и температуру.

Печи с инертным газом идеально подходят для промышленных применений, связанных с обработкой материалов в контролируемой атмосфере, включая сушку во влажной среде, сушку пластин, отверждение смол для корпусирования полупроводников, а также старение электронных компонентов и устройств.

● Типы с 1 или 2 камерами (отдельное управление для каждой камеры)
● Макс. 260℃
●Концентрация O2 ниже 50 ppm

Подходит для отверждения полупроводниковых пластин (отверждение фоторезистов PI, PBO, BCB), обжига стеклянных подложек, высокоточного отжига и т. д.

Чистые печи широко используются при термической обработке или сушке полупроводниковых пластин, жидких кристаллов, дисков и других компонентов и устройств, требующих чистых воздушных условий.

• ● Класс 100
• ● Большая емкость 350 л
• ● Макс. температура 260℃

• ● Вакуумная сушка для удаления влаги и растворителя из электродных материалов.
• ● Макс. температура 300℃/400℃ опционально
• ● Диапазон рабочего вакуума 101 кПа -1 Па● Доступно 3 размера, большая производительность

Большая вакуумная сушильная печь, предназначенная для всех видов вакуумной сушки.

• ● Макс. температура 250℃
• ● Диапазон рабочего вакуума 101 кПа -0,1 кПа

Эта печь идеально подходит для удаления остатков воды, растворителей или других летучих соединений из термочувствительных продуктов. Вакуумный насос будет установлен в нижней части печи для экономии места установки с быстроразъемным фланцевым соединением труб. Этот тип печи широко используется в лабораториях, полупроводниках, MEMS и электронной промышленности.

9 камер контролируются независимо и имеют один комплект вакуумной системы. Подходит для всех видов металлических материалов, анаэробных, химического сырья, драгоценных металлов, металлического порошка и других твердых, порошковых, пастообразных, жидких, электронных продуктов.

• ● 9-камерный автономный контроль
• ● Временное хранение продукции в процессе производства электронных приборов, оптоэлектронных приборов, полупроводниковых чипов и других приборов для предотвращения окисления
• ● Мин. вакуум от 50 до 5*10-5 Па
• ● Сканер штрих-кода для хранения информации о продукте

Промышленные печи GMS из нержавеющей стали подходят для различных видов термической обработки до 200℃. Промышленные печи идеально подходят для нагрева барабанов, старения, закалки сердечников, сушки, предварительного нагрева, отверждения и испытания компонентов.

• ● Материал из нержавеющей стали подходит для чистых цехов или агрессивных сред.
• ● Макс. температура 200°C
• ● Принудительная конвекция

• ● Подходит для термической обработки продуктов
• ● Установленная на производственной линии конвейерная печь значительно повысила эффективность производства.
• ● Полностью автоматическое управление
• ● Скорость конвейера регулируется и позволяет выполнять несколько процессов обработки.
• ● Оснащен преобразователем частоты, фонарем, цилиндром и т. д.
• ● Автоматическая система загрузки и выгрузки для соединения с оборудованием выше и ниже по потоку

9 камер контролируются независимо и имеют один комплект вакуумной системы. Подходит для всех видов металлических материалов, анаэробных, химического сырья, драгоценных металлов, металлического порошка и других твердых, порошковых, пастообразных, жидких, электронных продуктов.

• ● 9-камерный автономный контроль
• ● Временное хранение продукции в процессе производства электронных приборов, оптоэлектронных приборов, полупроводниковых чипов и других приборов для предотвращения окисления
• ● Мин. вакуум от 50 до 5*10-5 Па
• ● Сканер штрих-кода для хранения информации о продукте

Подходит для сегмента программы корпусирования полупроводников или испытаний в лабораторных условиях, для отверждения смолы.

Многокамерная печь использует систему горизонтальной рециркуляции воздуха большого объема, которая обеспечивает максимальную равномерность температуры и производительность.

• ● Доступно для комбинации 2/3/4/6 камер (автономное управление для каждой камеры)
• ● Экономия места для установки
• ● Горизонтальная конвекция

GZ-RTP-SM-12 — полуавтоматическая вертикальная система быстрой термической обработки, применяемая для нагрева отдельных пластин размером 4–12 дюймов.
Макс. температура 1250℃
Макс. 4 газовых линии

• ● Подходит для термической обработки продуктов
• ● Установленная на производственной линии конвейерная печь значительно повысила эффективность производства.
• ● Полностью автоматическое управление
• ● Скорость конвейера регулируется и позволяет выполнять несколько процессов обработки.
• ● Оснащен преобразователем частоты, фонарем, цилиндром и т. д.
• ● Автоматическая система загрузки и выгрузки для соединения с оборудованием выше и ниже по потоку

Оборудование в основном состоит из вакуумной камеры и высокочастотного источника питания плазмы, вакуумной системы, системы накачки, системы автоматического управления и других частей. Основной принцип работы заключается в том, что в состоянии вакуума, с помощью вакуумных насосов вакуумируют студию, чтобы достичь вакуума 0,15-0,3 мбар, а затем в роли высокочастотного генератора, газ будет ионизирован, образуется плазма (четвертое состояние вещества), а затем используется плазма на поверхности обработки заготовки.

• ● Плазменная система-машина для подачи
• ● Его можно постоянно использовать в производственных условиях для очистки и активации поверхности деталей неправильной формы.
• ● Вакуумная камера

Влагозащищенный шкаф GZ fast low humid оснащен новым усовершенствованным модулем осушения. Он может достигать влажности ниже 5%RH. Продукт прост в эксплуатации. Он особенно рекомендуется для всех видов электронных деталей, камер, фотоаппаратов, общих лабораторных приборов, микроскопов, материалов и химикатов и т. д. для предотвращения появления плесени и грибка.

Сухие шкафы ESD являются важным инструментом в любой среде, где обрабатываются чувствительные электронные компоненты, обеспечивая их долговечность и производительность, защищая их от потенциально разрушительного воздействия статического электричества. Внутренняя часть шкафа часто облицована материалами, безопасными для ESD, такими как антистатическая пена или токопроводящие пластиковые контейнеры, для обеспечения дополнительной защиты хранящихся предметов.

Азотные шкафы могут помочь контролировать загрязнение пылью, частицами и другими примесями, которые могут повлиять на производительность и надежность полупроводникового и электронного производства. Чистая азотная среда поддерживает чистоту компонентов и поверхностей во время производственных процессов. Для случаев в среде чистоты класса 100 (ISO 5) используется полностью зеркальный сухой шкаф из нержавеющей стали для хранения точных компонентов и инструментов.

Шкаф из нержавеющей стали для азота — это специализированное решение для хранения, разработанное для защиты чувствительных компонентов и материалов от окисления и повреждения влагой путем поддержания инертной азотной атмосферы. Шкафы из нержавеющей стали изготавливаются из высококачественной нержавеющей стали 304, которая обеспечивает отличную коррозионную стойкость и легко чистится. Зеркальная отделка не только обеспечивает современный внешний вид, но и облегчает чистку и обслуживание. Высококачественная отделка поверхности и простота очистки этих шкафов делают их пригодными для чистых помещений, а некоторые модели даже соответствуют стандарту чистоты класса 100

Азотный шкаф из нержавеющей стали широко используется в полупроводниковой, фотонной и плоскопанельной промышленности, при хранении специальных материалов и в электронной промышленности для предотвращения окисления, воздействия инородных тел и контроля влажности в чистой среде.

Шкаф рассчитан на максимальную нагрузку и долговечность. Шкаф для азота из нержавеющей стали оснащен впускным отверстием для азота для продувки рабочей зоны, чтобы защитить хранящиеся предметы от окисления. Весь шкаф для азота изготовлен из нержавеющей стали SUS#304.

Поддерживая низкий уровень влажности, азотные шкафы помогают минимизировать воздействие влаги во время хранения и обработки компонентов ИС. Это может улучшить качество паяных соединений за счет снижения окисления и обеспечения чистых, надежных соединений. Это имеет решающее значение для предотвращения коррозии, расслоения или других дефектов, связанных с влажностью, которые могут повлиять на надежность корпусов ИС.

• ● Диапазон влажности: 1-60%RH
• ● Емкость: 500/1020/1250/1510 литров
• ● Защита от электростатических разрядов