Ultra-high උෂ්ණත්වය නිෂ්ක්‍රීය වායු උඳුන් යනු කර්මාන්තවල තීරනාත්මක උපකරණ වන අතර, නිෂ්ක්‍රීය වායුගෝලයේ ඉහළ උෂ්ණත්ව සැකසුම් අවශ්‍ය වන අතර, සකසන ද්‍රව්‍යවල ගුණාත්මකභාවය සහ අඛණ්ඩතාව සහතික කෙරේ. ආගන්, කාබන් ඩයොක්සයිඩ්, හීලියම් සහ නයිට්‍රජන් වැනි නිෂ්ක්‍රීය වායුවල වායුගෝලය සඳහා එය අදාළ වේ. විවෘත-ගුවන් බර-මාන නයික්‍රෝම් කම්බි තාපක මූලද්‍රව්‍ය අංශක 600 දක්වා ශක්තිමත් තාප ප්‍රභවයක් සපයයි. අද්විතීය ද්විත්ව කවච සැලසුමක් මඟින් නිෂ්ක්‍රීය වායුවෙන් පුරවා ඇති අභ්‍යන්තර කුටීරයක් වටා සිසිලනකාරක සහ අවට වාතය සංසරණය වීමට ඉඩ සලසයි, ස්ථාවර අභ්‍යන්තර පීඩනය සහ උෂ්ණත්වය පවත්වා ගනී.

තෙතමනය වියළීම, වේෆර් වියළීම, අර්ධ සන්නායක ඇසුරුම් සඳහා දුම්මල සුව කිරීම සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සහ උපාංග වයසට යෑම ඇතුළුව පාලිත වායුගෝලීය පරිසරයක සැකසුම් ද්‍රව්‍ය ඇතුළත් කාර්මික උඳුන් යෙදුම් සඳහා නිෂ්ක්‍රීය වායු උඳුන් වඩාත් සුදුසු වේ.

● කුටීර 1ක් හෝ කුටීර 2ක් (එක් එක් කුටියක් සඳහා තනි පාලනය)
● උපරිම. 260℃
●O2 සාන්ද්‍රණය 50ppm ට අඩු

අර්ධ සන්නායක වේෆර් (photoresist PI, PBO, BCB සුව කිරීම), වීදුරු උපස්ථර පිළිස්සීම සහ ඉහළ නිරවද්‍ය ඇනීලිං ප්‍රතිකාරය යනාදිය සඳහා සුදුසු වේ.

පිරිසිදු උඳුන් තාප පිරියම් කිරීම හෝ අර්ධ සන්නායක වේෆර්, ද්රව ස්ඵටික, තැටි සහ පිරිසිදු වායු තත්ත්වයන් අවශ්ය අනෙකුත් සංරචක සහ උපාංග වියළීම සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.

• ● 100 පන්තිය
• ● 350L විශාල ධාරිතාව
• ● උපරිම. උෂ්ණත්වය 260℃

• ● ඉලෙක්ට්රෝඩ ද්රව්යවල තෙතමනය සහ ද්රාවණය ඉවත් කිරීම සඳහා රික්ත වියලීම.
• ● උපරිම. උෂ්ණත්වය 300℃/400℃ විකල්ප වේ
• ● මෙහෙයුම් රික්ත පරාසය 101kPa -1Pa● ප්‍රමාණ 3 කින්, විශාල ධාරිතාවයකින් පවතී

සියලු වර්ගවල රික්ත වියළන අරමුණු සඳහා නිර්මාණය කර ඇති විශාල රික්ත වියළන උඳුන.

• ● උපරිම. උෂ්ණත්වය 250℃
• ● මෙහෙයුම් රික්ත පරාසය 101kPa -0.1kPa

මෙම උඳුන උෂ්ණත්ව සංවේදී නිෂ්පාදන වලින් අවශේෂ ජලය, ද්රාවණ හෝ වෙනත් වාෂ්පශීලී සංයෝග ඉවත් කිරීම සඳහා සුදුසු වේ. ඉක්මන් සම්බන්ධක ෆ්ලැන්ජ් පයිප්ප සමඟ ස්ථාපන ඉඩ ඉතිරි කර ගැනීම සඳහා උඳුනේ පහළ කොටසෙහි රික්ත පොම්පය ස්ථාපනය කෙරේ. මෙම වර්ගයේ උඳුන රසායනාගාර, අර්ධ සන්නායක, MEMS සහ ඉලෙක්ට්රොනික ප්රදේශය තුළ බහුලව භාවිතා වේ.

කුටි 9 ස්වාධීනව පාලනය වන අතර එක් රික්ත පද්ධතියක් බෙදා ගනී. එය සියලු වර්ගවල ලෝහ ද්‍රව්‍ය, නිර්වායු, රසායනික අමුද්‍රව්‍ය, වටිනා ලෝහ, ලෝහ කුඩු සහ අනෙකුත් ඝන, කුඩු, පේස්ට්, දියර, ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදන සඳහා සුදුසු වේ.

• ● 9-කුටි ස්වාධීන පාලනය
• ● ඔක්සිකරණය වැළැක්වීම සඳහා ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග, දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග, අර්ධ සන්නායක චිප්ස් සහ අනෙකුත් උපාංග නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී නිෂ්පාදන තාවකාලිකව ගබඩා කරන්න
• ● අවම.50 සිට 5*10-5Pa රික්තකය
• ● නිෂ්පාදන තොරතුරු ගබඩා කිරීම සඳහා තීරු කේත ස්කෑනරය

GMS මල නොබැඳෙන වානේ කාර්මික උඳුන් 200℃ දක්වා විවිධ තාප සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පහසුකම් සපයයි. කාර්මික උඳුන් බෙර රත් කිරීම, වයසට යාම, හරය දැඩි කිරීම, වියළීම, පෙර රත් කිරීම, සුව කිරීම සහ සංරචක පරීක්ෂා කිරීම සඳහා ඉතා සුදුසු වේ.

• ● පිරිසිදු වැඩමුළුවක් හෝ විඛාදන පරිසරයක් සඳහා මල නොබැඳෙන වානේ ද්රව්ය
• ● උපරිම. උෂ්ණත්වය 200 ° C
• ● බලහත්කාර සංවහන වර්ගය

• ● නිෂ්පාදනවල තාප පිරියම් කිරීම සඳහා සුදුසු වේ
• ● නිෂ්පාදන රේඛාවේ පිහිටුවා ඇති වාහක උඳුන නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව බෙහෙවින් වැඩි දියුණු කළේය
• ● සම්පුර්ණයෙන්ම ස්වයංක්‍රීය පාලනය
• ● වාහක වේගය වෙනස් කළ හැකි අතර බහු ප්‍රතිකාර ක්‍රියාවලියක් දැකීමට හැකි වේ
• ● සංඛ්‍යාත පරිවර්තකය, ස්ටේක් ලයිට්, සිලින්ඩර් යනාදිය සහිතයි.
• ● උඩුගං සහ පහළ උපකරණ සමඟ සම්බන්ධ වීමට ස්වයංක්‍රීය පැටවීම සහ බෑම පද්ධතිය

කුටි 9 ස්වාධීනව පාලනය වන අතර එක් රික්ත පද්ධතියක් බෙදා ගනී. එය සියලු වර්ගවල ලෝහ ද්‍රව්‍ය, නිර්වායු, රසායනික අමුද්‍රව්‍ය, වටිනා ලෝහ, ලෝහ කුඩු සහ අනෙකුත් ඝන, කුඩු, පේස්ට්, දියර, ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදන සඳහා සුදුසු වේ.

• ● 9-කුටි ස්වාධීන පාලනය
• ● ඔක්සිකරණය වැළැක්වීම සඳහා ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග, දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග, අර්ධ සන්නායක චිප්ස් සහ අනෙකුත් උපාංග නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී නිෂ්පාදන තාවකාලිකව ගබඩා කරන්න
• ● අවම.50 සිට 5*10-5Pa රික්තකය
• ● නිෂ්පාදන තොරතුරු ගබඩා කිරීම සඳහා තීරු කේත ස්කෑනරය

අර්ධ සන්නායක ඇසුරුම් වැඩසටහන් අංශයට හෝ රසායනාගාරයේ පරීක්ෂණ සඳහා, දුම්මල සුව කිරීම සඳහා සුදුසු වේ.

බහු-කුටි උඳුන්, උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වය සහ කාර්ය සාධනය උපරිම කරන ඉහළ පරිමා තිරස් වායු ප්‍රතිචක්‍රීකරණ පද්ධතියක් භාවිතා කරයි.

• ● 2/3/4/6 කුටීර සංයෝජනය සඳහා පවතී (එක් එක් කුටියක් සඳහා ස්වාධීන පාලනය)
• ● ස්ථාපන ඉඩ ඉතිරි කිරීම
• ● තිරස් සංවහනය

GZ-RTP-SM-12 යනු තනි අඟල් 4-12 වේෆර් රත් කිරීම සඳහා යොදන අර්ධ ස්වයංක්‍රීය සිරස් වේගවත් තාප සැකසුම් පද්ධතියකි.
උපරිම. උෂ්ණත්වය 1250℃
උපරිම. ගෑස් මාර්ග 4 ක්

• ● නිෂ්පාදනවල තාප පිරියම් කිරීම සඳහා සුදුසු වේ
• ● නිෂ්පාදන රේඛාවේ පිහිටුවා ඇති වාහක උඳුන නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව බෙහෙවින් වැඩි දියුණු කළේය
• ● සම්පුර්ණයෙන්ම ස්වයංක්‍රීය පාලනය
• ● වාහක වේගය වෙනස් කළ හැකි අතර බහු ප්‍රතිකාර ක්‍රියාවලියක් දැකීමට හැකි වේ
• ● සංඛ්‍යාත පරිවර්තකය, ස්ටේක් ලයිට්, සිලින්ඩර් යනාදිය සහිතයි.
• ● උඩුගං සහ පහළ උපකරණ සමඟ සම්බන්ධ වීමට ස්වයංක්‍රීය පැටවීම සහ බෑම පද්ධතිය

උපකරණ ප්රධාන වශයෙන් රික්තක කුටීරය සහ අධි සංඛ්යාත ප්ලාස්මා බල සැපයුම, රික්ත පද්ධතිය, උද්ධමන පද්ධතිය, ස්වයංක්රීය පාලන පද්ධතිය සහ අනෙකුත් කොටස් වලින් සමන්විත වේ. කාර්යයේ මූලික මූලධර්මය රික්ත තත්වයක පවතී, රික්තක පොම්ප භාවිතා කිරීම රික්තකය 0.15-0.3 mbar ලබා ගැනීම සඳහා චිත්‍රාගාරය රික්ත කිරීම, සහ පසුව අධි-සංඛ්‍යාත උත්පාදකයේ භූමිකාව තුළ වායුව අයනීකෘත වනු ඇත, ගොඩනැගීම ප්ලාස්මා (ද්රව්යයේ සිව්වන තත්ත්වය), පසුව වැඩ ෙකොටස් ප්රතිකාර මතුපිට ප්ලාස්මා භාවිතය.

• ● ප්ලාස්මා පද්ධතිය-හැදීම යන්ත්රය
• ● අමුතු හැඩැති කොටස්වල මතුපිට පිරිසිදු කිරීම සහ සක්රිය කිරීම සඳහා නිෂ්පාදන පරිසරයක එය අඛණ්ඩව භාවිතා කළ හැක.
• ● රික්ත කුටිය

GZ වේගවත් අඩු ආර්ද්‍රතාවය තෙතමනය සහිත කැබිනට්ටුව නව වැඩි දියුණු කළ විජලනය කිරීමේ මොඩියුලය භාවිතා කරයි. එය 5% RH ට අඩු ආර්ද්‍රතාවයට ළඟා විය හැකිය. නිෂ්පාදිතය ක්රියාත්මක කිරීමට පහසුය. පුස් සහ කෝණාකාර වැළැක්වීම සඳහා සියලුම වර්ගවල ඉලෙක්ට්‍රොනික කොටස්, කැමරා, කැමරා, සාමාන්‍ය රසායනාගාර උපකරණ, අන්වීක්ෂ, ද්‍රව්‍ය සහ රසායනික ද්‍රව්‍ය යනාදිය සඳහා එය විශේෂයෙන් නිර්දේශ කෙරේ.

ESD වියළි කැබිනට් යනු සංවේදී ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග හසුරුවන ඕනෑම පරිසරයක අත්‍යාවශ්‍ය මෙවලමක් වන අතර, ස්ථිතික විදුලියේ ඇති විය හැකි හානිදායක බලපෑම්වලින් ඒවා ආරක්ෂා කර ගනිමින් ඒවායේ දීර්ඝායුෂ සහ ක්‍රියාකාරීත්වය සහතික කරයි. ගබඩා කර ඇති භාණ්ඩ සඳහා අමතර ආරක්ෂාවක් සැපයීම සඳහා කැබිනට් මණ්ඩලයේ අභ්‍යන්තරය බොහෝ විට ප්‍රති-ස්ථිතික පෙන හෝ සන්නායක ප්ලාස්ටික් බඳුන් වැනි ESD-ආරක්ෂිත ද්‍රව්‍ය වලින් ආවරණය කර ඇත.

නයිට්‍රජන් කැබිනට් වලට දූවිලි, අංශු සහ අනෙකුත් අපද්‍රව්‍ය වලින් සිදුවන දූෂණය පාලනය කිරීමට උපකාරී වන අතර එය අර්ධ කොන් සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදනවල ක්‍රියාකාරීත්වයට සහ විශ්වසනීයත්වයට බලපෑම් කළ හැකිය. පිරිසිදු නයිට්‍රජන් පරිසරය නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හිදී සංරචක සහ මතුපිට සංශුද්ධතාවය පවත්වා ගනී. 100 පන්තියේ (ISO 5) පිරිසිදු පරිසරයේ අවස්ථා සඳහා, සම්පූර්ණ දර්පණ මල නොබැඳෙන වානේ වියළි කැබිනට්ටුව නිරවද්‍ය සංරචක සහ උපකරණ ගබඩා කිරීමට භාවිතා කරයි.

මල නොබැඳෙන වානේ නයිට්‍රජන් කැබිනට්ටුව යනු නිෂ්ක්‍රීය නයිට්‍රජන් වායුගෝලයක් පවත්වා ගැනීමෙන් සංවේදී සංරචක සහ ද්‍රව්‍ය ඔක්සිකරණයෙන් හා තෙතමනයට හානි වීමෙන් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති විශේෂිත ගබඩා විසඳුමකි. මල නොබැඳෙන වානේ කැබිනට් උසස් තත්ත්වයේ 304 මල නොබැඳෙන වානේ වලින් සාදා ඇති අතර එය විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙන අතර පිරිසිදු කිරීමට පහසුය. දර්පණ නිමාව නවීන පෙනුමක් ලබා දෙනවා පමණක් නොව පිරිසිදු කිරීම සහ නඩත්තු කිරීම සඳහා පහසුකම් සපයයි. මෙම කැබිනට් වල ඉහළ මතුපිට නිමාව සහ පිරිසිදු කිරීමට පහසු ස්වභාවය නිසා ඒවා පිරිසිදු කාමර පරිසරයට සුදුසු වන අතර සමහර මාදිලි 100 පන්තියේ පිරිසිදුකමේ ප්‍රමිතිය පවා සපුරාලයි.

මල නොබැඳෙන වානේ නයිට්‍රජන් කැබිනට්ටුව සාමාන්‍යයෙන් අර්ධ සන්නායක, ෆෝටෝනික් සහ FPD කර්මාන්ත, විශේෂ ද්‍රව්‍ය ගබඩා කිරීම සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික අංශවල ඔක්සිකරණය වැළැක්වීම, විදේශීය සිරුරු වලට පහර දීම සහ පිරිසිදු පරිසරයක ආර්ද්‍රතාවය පාලනය කිරීම සඳහා භාවිතා කරයි.

කැබිනෙට්ටුව උපරිම බර සහ කල්පැවැත්ම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත, වැඩ කරන ප්‍රදේශය පිරිසිදු කිරීම සඳහා නයිට්‍රජන් ආදාන සමඟ මල නොබැඳෙන වානේ නයිට්‍රජන් කැබිනට්ටුව ස්ථාපනය කර ඇත, එවිට ගබඩා අයිතම ඔක්සිකරණය වීමෙන් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා, සම්පූර්ණ N2 වියළි කැබිනට්ටුව SUS#304 මගින් සාදා ඇත.

අඩු ආර්ද්‍රතා මට්ටම් පවත්වා ගැනීමෙන්, IC සංරචක ගබඩා කිරීමේදී සහ සැකසීමේදී තෙතමනය නිරාවරණය වීම අවම කිරීමට නයිට්‍රජන් කැබිනට් උපකාරී වේ. එය ඔක්සිකරණය අඩු කිරීම සහ පිරිසිදු, විශ්වසනීය සම්බන්ධතා සහතික කිරීම මගින් පෑස්සුම් සන්ධියේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කළ හැකිය. IC පැකේජවල විශ්වසනීයත්වයට බලපෑම් කළ හැකි විඛාදන, විඛාදනය හෝ තෙතමනය සම්බන්ධ වෙනත් දෝෂ වැළැක්වීම සඳහා මෙය ඉතා වැදගත් වේ.

• ● ආර්ද්‍රතා පරාසය:1-60%RH
• ● ධාරිතාව: ලීටර් 500/1020/1250/1510
• ● ESD ආරක්ෂිතයි