O ogaumu kasa inert ultra-maualuga o meafaigaluega taua i alamanuia lea e manaʻomia ai le faʻaogaina o le vevela maualuga i totonu o se atemosifia inert, faʻamautinoa le lelei ma le faʻamaoni o mea o loʻo gaosia. E talafeagai mo le ea i kasa inert e pei o Argon, Carbon Dioxide, Helium, ma Nitrogen. O elemene fa'avevela nichrome uaea matala matala e maua ai se puna vevela malosi e oo atu i le 600 tikeri. O se mamanu fa'apitoa e lua atigi e mafai ai ona fa'asalalauina le fa'amalulu ma le ea fa'ata'amilo i totonu o le potu i totonu e tumu i le kesi inert, fa'amautu le mamafa o totonu ma le vevela.

O ogaumu kasa e lelei tele mo fa'aoga o le ogaumu fa'apisinisi e aofia ai le gaosiga o mea i totonu o le siosiomaga fa'atonutonuina, e aofia ai le susu fa'agogo, fa'agogo mamago, fa'amalo resini mo le afifiina semiconductor, ma le matua o mea fa'aeletoroni ma masini.

● 1 potu poʻo 2 potu (pule tutoʻatasi mo potu taʻitasi)
● Max. 260℃
●O2 faʻatonuga i lalo ole 50ppm

E fetaui lelei mo le faʻamaloloina o mea faʻapipiʻi semiconductor (photoresist PI, PBO, BCB curing), faʻamalo ipu tioata, ma togafitiga faʻamaʻi maualuga, ma isi.

O ogaumu mama e faʻaaogaina tele i togafitiga vevela poʻo le faʻamagoina o semiconductor wafers, tioata vai, tisiketi ma isi mea ma masini e manaʻomia ai tulaga mama mama.

• ● Vasega 100
• ● 350L malosi tele
• ● Max. vevela 260℃

• ● Faʻamago faʻamago e aveese ai le susu ma le solvent i mea eletise.
• ● Max. vevela 300 ℃/400 ℃ e filifili
• ● Fa'agaoioi vacuum range 101kPa -1Pa● E maua i le 3 lapopo'a, tele gafatia

Ogaumu fa'amago fa'amago tele ua fuafuaina mo ituaiga uma o fa'agogo fa'agogo.

• ● Max. vevela 250℃
• ● Fa'agaoioi vacuum range 101kPa -0.1kPa

O lenei ogaumu e lelei tele mo le aveeseina o vai o totoe, solvents poʻo isi mea faʻafefiloi mai mea vevela-maʻaleʻale. O le a fa'apipi'i pamu mama i le pito i lalo o le ogaumu e fa'asaoina ai le avanoa fa'apipi'i fa'atasi ai ma le vave fa'afeso'ota'i paipa. O lenei ituaiga o ogaumu e faʻaaogaina lautele i totonu o labs, semiconductor, MEMS, ma le eletise eletise.

O potu e 9 o lo'o pulea tuto'atasi ma fa'asoa se seti o le masini masini. E fetaui lelei mo ituaiga uma o mea uʻamea, anaerobicanaerobic, vailaʻau mataʻutia, metala taua, paʻu uʻamea ma isi malo, paʻu, paʻu, vai, oloa faaeletonika.

• ● 9-Chambers tuto'atasi pulea
• ● Taofi le tumau oloa i le faagasologa o le gaosiga o masini faaeletonika, masini optoelectronic, semiconductor chips ma isi masini e puipuia ai le oxidation
• ● Min.50 i le 5 * 10-5Pa vacuum
• ● Barcode scanner e teu ai fa'amatalaga o oloa

O ogaumu u'amea u'amea a le GMS e fa'aogaina ai le tele o fa'agaioiga vevela e o'o atu i le 200℃. O ogaumu gaosi oloa e fetaui lelei mo le faʻamafanafanaina o le paʻu, matua, faʻamaʻaina autu, faʻamago, muaʻi faʻavevela, faʻamalolo, ma suʻega vaega.

• ● mea u'amea u'amea e fetaui ma falea'oga mama po'o le siosiomaga corrosive
• ● Max. Temp. 200°C
• ● Ituaiga convection faamalosia

• ● E talafeagai mo togafitiga vevela o oloa
• ● Seti i le laina gaosiga, o le ogaumu conveyor faaleleia tele le gaosiga lelei
• ● Pulea otometi atoatoa
• ● O le saosaoa conveyor e fetuutuunai ma mafai se se tele togafitiga faagasologa
• ● Faʻapipiʻiina i le faʻaliliuina o taimi, moli faʻamau, paʻu, ma isi.
• ● Otometi le utaina ma le la'u o uta e fa'afeso'ota'i ma masini i luga ma lalo

O potu e 9 o lo'o pulea tuto'atasi ma fa'asoa se seti o le masini masini. E fetaui lelei mo ituaiga uma o mea uʻamea, anaerobicanaerobic, vailaʻau mataʻutia, metala taua, paʻu uʻamea ma isi malo, paʻu, paʻu, vai, oloa faaeletonika.

• ● 9-Chambers tuto'atasi pulea
• ● Taofi le tumau oloa i le faagasologa o le gaosiga o masini faaeletonika, masini optoelectronic, semiconductor chips ma isi masini e puipuia ai le oxidation
• ● Min.50 i le 5 * 10-5Pa vacuum
• ● Barcode scanner e teu ai fa'amatalaga o oloa

E fetaui mo le vaega ole polokalame afifiina semiconductor po'o le su'ega ile fale su'esu'e, mo resini fofo.

O le ogaumu tele potu e fa'aogaina ai le fa'aogaina o le ea fa'ata'atia maualuga e fa'ateleina ai le tutusa o le vevela ma le fa'atinoga.

• ● Avanoa mo le 2/3/4/6 potu tu'ufa'atasiga (pulea tuto'atasi mo potu ta'itasi)
• ● Faʻasaoina le avanoa faʻapipiʻi
• ● Fa'asagaga fa'asaga

GZ-RTP-SM-12 o se semi-autometi tu'usa'o tu'usa'o fa'avavevave faiga fa'aogaina mo le fa'amafanafanaina tasi 4-12 inisi wafer.
Max. Temp. 1250℃
Max. 4 laina kesi

• ● E talafeagai mo togafitiga vevela o oloa
• ● Seti i le laina gaosiga, o le ogaumu conveyor faaleleia tele le gaosiga lelei
• ● Pulea otometi atoatoa
• ● O le saosaoa conveyor e fetuutuunai ma mafai se se tele togafitiga faagasologa
• ● Faʻapipiʻiina i le faʻaliliuina o taimi, moli faʻamau, paʻu, ma isi.
• ● Otometi le utaina ma le la'u o uta e fa'afeso'ota'i ma masini i luga ma lalo

O meafaigaluega e masani lava ona aofia ai le vacuum chamber ma le maualuga o le plasma power supply, vacuum system, inflation system, otometi pulea faiga ma isi vaega. O le mataupu faavae o le galuega o loʻo i totonu o se vacuum state, o le faʻaogaina o pamu mama e faʻamama ai le potu aoga e ausia ai se gaogao o le 0.15-0.3 mbar, ona i ai lea i le matafaioi o le gaosiga maualuga, o le kesi o le a faʻapipiʻiina, o le faʻavaeina. o le plasma (le tulaga lona fa o mataupu), ona faʻaaogaina lea o le plasma i luga o le faʻaogaina o mea faigaluega.

• ● Plasma system-limaina masini
• ● E mafai ona faʻaaogaina i taimi uma i totonu o se siosiomaga gaosiga e faʻamama ma faʻagaoioia le pito i luga o vaega faʻapitoa
• ● Potu fa'amama

GZ vave maualalo susū fa'amaonia kapeneta fa'aaogaina le fa'alelei fa'alelei fa'alelei. E mafai ona oʻo i le susu i lalo ole 5% RH. O le oloa e faigofie ona faʻaogaina. E faapitoa lava le fautuaina mo ituaiga uma o vaega faaeletonika, mea pueata, mea pueata, meafaigaluega falesuesue lautele, microscopes, meafaitino ma vailaau, etc.e puipuia le limu ma le palapala.

ESD kapoti mago o se meafaigaluega taua i soʻo se siʻosiʻomaga o loʻo faʻaogaina ai vaega faʻaeletoroni maaleale, faʻamautinoa le umi o le ola ma le faʻatinoga e ala i le puipuia mai aʻafiaga e ono afaina ai le eletise. O totonu o le kapeneta e masani ona faʻapipiʻiina i mea e saogalemu ai le ESD, e pei o le anti-static foam poʻo talone palasitika taʻavale, e maua ai se puipuiga faaopoopo mo mea teu.

E mafai ona fesoasoani kapoti Nitrogen e pulea le faʻaleagaina mai le pefu, vaega, ma isi mea leaga e mafai ona aʻafia ai le faʻatinoga ma le faʻamaoni o le gaosiga o le semicon ma le eletise. O le siosiomaga mama nitrogen e faatumauina le mama o vaega ma luga i le faagasologa o gaosiga. Mo taimi i le vasega 100 (ISO 5) siosiomaga mama, fa'ata atoa u'amea u'amea kapoti mago e fa'aoga e teu ai vaega sa'o ma meafaifa'aili.

O se kapoti fa'ama'i uamea u'amea ose fofo fa'apitoa e teu ai mea ua fuafuaina e puipuia ai vaega ma'ale'ale ma mea mai fa'ama'i fa'ama'i ma susu fa'aleagaina e ala i le fa'atumauina o se atemosifia fa'ama'i. O kapoti u'amea u'amea e faia mai le u'amea maualuga 304, lea e maua ai le fa'afefeteina lelei ma faigofie ona mama. O le fa'auma fa'ata e le gata ina maua ai foliga fa'aonaponei ae fa'afaigofie ai fo'i le fa'amama ma le tausiga. O le maualuga maualuga o le faʻamaeʻaina ma le faigofie-ma-mama natura o nei kapoti e talafeagai mo siosiomaga potu mama, ma nisi faʻataʻitaʻiga e oʻo lava i le tulaga mama o le Vasega 100

E masani ona fa'aogaina le kapoti fa'ama'i uamea uamea i totonu o le semiconductor, photonics ma le FPD alamanuia, mea fa'apitoa e teu ai ma vaega fa'aeletoroni e puipuia ai le fa'ama'iina, osofa'iga a tino mai fafo ma le pulea o le susu i totonu o se siosiomaga mama.

O le kapeneta ua mamanuina mo le maualuga o le uta ma le umi, ua faʻapipiʻiina le kapoti faʻamaʻi uamea faʻamaʻi faʻatasi ma le faʻamama faʻamaʻi e faʻamamā ai le nofoaga faigaluega, ina ia puipuia ai mea e teu mai le faʻamaʻiina, o le N2 uma kapeti mago e faia e SUS # 304.

E ala i le fa'atumauina o le maualalo o le susū, o kapoti nitrogen e fesoasoani i le fa'aitiitia o le susū i le taimi o le teuina ma le fa'agaioiina o vaega ole IC. E mafai ona faʻaleleia le lelei faʻatasi o solder e ala i le faʻaitiitia o le faʻamaʻiina ma faʻamautinoa le mama, fesoʻotaʻiga faʻalagolago. E taua tele lenei mea mo le puipuia o le pala, delamination, poʻo isi faʻaletonu e fesoʻotaʻi ma le susu e mafai ona aʻafia ai le faʻamaoni o afifi IC.

• ● Susū Fa'asolo:1-60%RH
• ● Malosiaga: 500/1020/1250/1510Liter
• ● ESD Saogalemu