Танӯрҳои гази инертии ҳарорати баланд таҷҳизоти муҳим дар соҳаҳое мебошанд, ки коркарди ҳарорати баланд дар атмосфераи инертӣ талаб карда мешавад, ки сифат ва якпорчагии маводи коркардшударо таъмин мекунад. Он барои атмосфера дар газҳои ғайрифаъол ба монанди Аргон, оксиди карбон, гелий ва нитроген татбиқ мешавад. Унсурҳои гармкунаки сими нихромии вазнин дар ҳавои кушод манбаи гармиро то 600 дараҷа таъмин мекунанд. Тарҳи беҳамтои дугонаи қаҳваранг имкон медиҳад, ки муомилоти сардкунандаи хунук ва ҳавои муҳитро дар атрофи камераи дарунии пур аз гази ғайрифаъол нигоҳ дошта, фишор ва ҳарорати мӯътадили дохилиро нигоҳ дорад.

Танӯрҳои гази инертӣ барои барномаҳои танӯрҳои саноатӣ, ки коркарди маводро дар муҳити атмосфераи назоратшаванда дар бар мегиранд, аз ҷумла хушккунии намӣ, хушк кардани вафли, коркарди қатрон барои бастаи нимноқилҳо ва пиршавии ҷузъҳо ва дастгоҳҳои электронӣ беҳтарин мебошанд.

● 1 камера ё намуди 2 камера (назорати мустақил барои ҳар як палата)
● Макс. 260℃
●Консентратсияи O2 камтар аз 50ppm

Муносиб барои муолиҷаи вафли нимноқилӣ (фоторезистӣ PI, PBO, BCB муолиҷа), нонпазии субстрати шишагӣ ва коркарди дақиқи баландсифат ва ғайра.

Танӯрҳои тоза дар коркарди гармӣ ё хушк кардани пласти нимноқилҳо, кристаллҳои моеъ, дискҳо ва дигар ҷузъҳо ва дастгоҳҳое, ки шароити тозаи ҳаворо талаб мекунанд, васеъ истифода мешаванд.

• ● Синфи 100
• ● 350л иқтидори калон
• ● Макс. ҳарорат 260 ℃

• ● Хушккунии чангкашак барои тоза кардани намӣ ва ҳалкунанда дар маводи электрод.
• ● Макс. ҳарорат 300 ℃ / 400 ℃ ихтиёрӣ аст
• ● Диапазони вакууми корӣ 101кПа -1Па● Дар 3 андоза дастрас аст, иқтидори калон

Танӯри калонҳаҷми хушккунии вакуумӣ барои ҳама намудҳои хушккунии вакуумӣ пешбинӣ шудааст.

• ● Макс. ҳарорат 250 ℃
• ● Диапазони вакууми корӣ 101kPa -0.1kPa

Ин танӯр барои тоза кардани боқимондаи об, ҳалкунандаҳо ё дигар пайвастагиҳои идоранашаванда аз маҳсулоти ба ҳарорат ҳассос беҳтарин аст. Насоси вакуумӣ дар паҳлӯи танӯр насб карда мешавад, то фазои насбро бо қубурҳои фланеци зуд пайваст кунад. Ин навъи танӯр дар лабораторияҳо, нимноқилҳо, MEMS ва соҳаи электронӣ васеъ истифода мешавад.

9 палата мустақилона назорат карда мешавад ва як маҷмӯи системаи вакуумро тақсим мекунад. Он барои ҳама намуди маводҳои металлӣ, анаэробиканэробӣ, ашёи хоми кимиёвӣ, металлҳои қиматбаҳо, хокаи металлӣ ва дигар сахт, хока, хамир, моеъ, маҳсулоти электронӣ мувофиқ аст.

• ● 9-Назорати мустақили палатаҳо
• ● Маҳсулотро дар ҷараёни истеҳсоли дастгоҳҳои электронӣ, дастгоҳҳои оптоэлектронӣ, микросхемаҳои нимноқилӣ ва дигар дастгоҳҳо барои пешгирии оксидшавӣ муваққатан нигоҳ доред.
• ● Мин.50 то 5*10-5Па чангкашак
• ● Сканери штрих-код барои нигоҳ доштани маълумоти маҳсулот

Танӯрҳои саноатии аз пӯлоди зангногир GMS барномаҳои гуногуни коркарди гармиро то 200 ℃ ҷойгир мекунанд. Танӯрҳои саноатӣ барои гарм кардани барабан, пиршавӣ, сахтшавии ядро, хушк кардан, пеш аз гармкунӣ, табобат ва санҷиши ҷузъҳо мувофиқанд.

• ● Маводи аз пӯлоди зангногир барои устохонаи тоза ё муҳити зангзананда
• ● Макс. Ҳарорат. 200°С
• ● Намуди конвексияи маҷбурӣ

• ● Муносиб барои коркарди гармии маҳсулот
• ● Танӯри конвейерӣ дар хати истеҳсолӣ ҷойгир карда шуда, самаранокии истеҳсолотро хеле беҳтар кард
• ● Идоракунии пурраи худкор
• ● Суръати конвейер танзимшаванда аст ва қодир ба дидани раванди коркарди сершумор аст
• ● Муҷаҳҳаз бо табдилдиҳандаи басомад, чароғҳои саҳҳомӣ, силиндр ва ғайра.
• ● Системаи худкори боркунӣ ва борфарорӣ барои пайвастшавӣ бо таҷҳизоти боло ва поёноб

9 палата мустақилона назорат карда мешавад ва як маҷмӯи системаи вакуумро тақсим мекунад. Он барои ҳама намуди маводҳои металлӣ, анаэробиканэробӣ, ашёи хоми кимиёвӣ, металлҳои қиматбаҳо, хокаи металлӣ ва дигар сахт, хока, хамир, моеъ, маҳсулоти электронӣ мувофиқ аст.

• ● 9-Назорати мустақили палатаҳо
• ● Маҳсулотро дар ҷараёни истеҳсоли дастгоҳҳои электронӣ, дастгоҳҳои оптоэлектронӣ, микросхемаҳои нимноқилӣ ва дигар дастгоҳҳо барои пешгирии оксидшавӣ муваққатан нигоҳ доред.
• ● Мин.50 то 5*10-5Па чангкашак
• ● Сканери штрих-код барои нигоҳ доштани маълумоти маҳсулот

Муносиб барои сегменти барномаи бастабандии нимноқилҳо ё озмоиш дар лаборатория, барои муолиҷаи қатрон.

Танӯри бисёркамера аз системаи гардиши уфуқии ҳавои баландҳаҷм истифода мебарад, ки якрангии ҳарорат ва иҷрои онро ба ҳадди аксар мерасонад.

• ● Барои комбинатсияи камераҳои 2/3/4/6 дастрас аст (назорати мустақил барои ҳар як палата)
• ● Сарфаи фазои насб
• ● Конвексияи уфуқӣ

GZ-RTP-SM-12 як системаи нимхудкори амудии босуръати гармидиҳӣ мебошад, ки барои гарм кардани вафли ягонаи 4-12 дюйм истифода мешавад
Макс. Ҳарорат. 1250℃
Макс. 4 хатти газ

• ● Муносиб барои коркарди гармии маҳсулот
• ● Танӯри конвейерӣ дар хати истеҳсолӣ ҷойгир карда шуда, самаранокии истеҳсолотро хеле беҳтар кард
• ● Идоракунии пурраи худкор
• ● Суръати конвейер танзимшаванда аст ва қодир ба дидани раванди коркарди сершумор аст
• ● Муҷаҳҳаз бо табдилдиҳандаи басомад, чароғҳои саҳҳомӣ, силиндр ва ғайра.
• ● Системаи худкори боркунӣ ва борфарорӣ барои пайвастшавӣ бо таҷҳизоти боло ва поёноб

Таҷҳизот асосан аз камераи вакуумӣ ва таъминоти қувваи плазмаи басомади баланд, системаи вакуумӣ, системаи таваррум, системаи идоракунии автоматӣ ва дигар қисмҳо иборат аст. Принсипи асосии кор дар ҳолати вакуумӣ, истифодаи насосҳои вакуумӣ барои чангкашак кардани студия барои ноил шудан ба вакууми 0,15-0,3 мбар ва сипас дар нақши генератори басомади баланд, газ ионизатсия мешавад, ташаккули аз плазма (холати чоруми модда) ва баъд истифода бурдани плазма дар сатхи коркарди порчаи кор.

• ● Мошини интиқоли системаи плазма
• ● Он метавонад пайваста дар муҳити истеҳсолӣ барои тоза ва фаъол кардани сатҳи қисмҳои шакли аҷиб истифода шавад
• ● Камераи вакуумӣ

Кабинети намӣ ба намӣ зуд паст GZ модули нави такмилдодашудаи хушккуниро қабул мекунад. Он метавонад ба намӣ камтар аз 5% RH расад. Маҳсулот барои кор кардан осон аст. Махсусан барои ҳама намуди қисмҳои электронӣ, камераҳо, камераҳо, асбобҳои лаборатории умумӣ, микроскопҳо, маводҳо ва кимиёвӣ ва ғайра тавсия дода мешавад, то аз қолаб ва қолаб пешгирӣ карда шавад.

Шкафҳои хушки ESD як абзори муҳим дар ҳама гуна муҳитест, ки дар он ҷузъҳои электронии ҳассос коркард карда мешаванд, умри дароз ва кори онҳоро тавассути муҳофизати онҳо аз таъсири эҳтимолан зараровари нерӯи статикӣ таъмин мекунанд. Дар дохили кабинет аксар вақт бо маводи аз ESD бехатар, аз қабили кафкҳои зидди статикӣ ё қуттиҳои пластикии интиқолдиҳанда барои муҳофизати иловагӣ барои ашёи захирашуда пӯшонида мешаванд.

Шкафҳои нитроген метавонанд дар назорат кардани олудашавӣ аз чанг, зарраҳо ва дигар ифлосиҳо, ки метавонанд ба кор ва эътимоднокии истеҳсоли нимкон ва электроника таъсир расонанд, кӯмак расонанд. Муҳити тозаи нитроген дар ҷараёни истеҳсолот тозагии ҷузъҳо ва сатҳҳоро нигоҳ медорад. Барои ҳолатҳое, ки муҳити тозагии синфи 100 (ISO 5) барои нигоҳ доштани ҷузъҳо ва асбобҳои дақиқ шкафи хушк аз пӯлоди зангногир истифода мешавад.

Девони нитроген аз пӯлоди зангногир як ҳалли махсуси нигаҳдорӣ мебошад, ки барои муҳофизат кардани ҷузъҳо ва маводҳои ҳассос аз оксидшавӣ ва осеби намӣ тавассути нигоҳ доштани атмосфераи нитрогени ғайрифаъол пешбинӣ шудааст. Шкафҳои пӯлоди зангногир аз пӯлоди зангногир 304-и баландсифат сохта шудаанд, ки муқовимати аъло ба зангзаниро пешниҳод мекунанд ва тоза кардан осон аст. Оинаи ороишӣ на танҳо намуди муосирро таъмин мекунад, балки тозакунӣ ва нигоҳубинро осон мекунад. Пардохти сатҳи баланд ва хусусияти тозакунии осони ин шкафҳо онҳоро барои муҳити тозаи утоқ мувофиқ мегардонад ва баъзе моделҳо ҳатто ба стандарти тозагии Синфи 100 мувофиқат мекунанд.

Девони нитроген аз пӯлоди зангногир одатан дар саноати нимноқилҳо, фотоникҳо ва FPD, нигаҳдории маводҳои махсус ва бахшҳои электронӣ барои пешгирии оксидшавӣ, ҳамлаи ҷисмҳои хориҷӣ ва назорати намӣ дар муҳити тоза истифода мешавад.

Кабинет барои ҳадди аксар сарборӣ ва устуворӣ тарҳрезӣ шудааст, Девони нитроген аз пӯлоди зангногир бо вуруди нитроген барои тоза кардани майдони корӣ насб карда шудааст, то ашёи нигоҳдорӣ аз оксидшавӣ муҳофизат карда шавад, тамоми шкафи хушки N2 аз ҷониби SUS # 304 сохта шудааст.

Бо нигоҳ доштани сатҳи намии паст, шкафҳои нитроген ба ҳадди ақал расонидани таъсири намӣ ҳангоми нигоҳдорӣ ва коркарди ҷузъҳои IC кӯмак мекунанд. Он метавонад сифати муштараки кафшерро тавассути коҳиш додани оксидшавӣ ва таъмини пайвастҳои тоза ва боэътимод беҳтар кунад. Ин барои пешгирии зангзанӣ, деламинатсия ё дигар нуқсонҳои марбут ба маводи моеъ муҳим аст, ки метавонанд ба эътимоднокии бастаҳои IC таъсир расонанд.

• ● Диапазони намӣ: 1-60% RH
• ● Иқтидори: 500/1020/1250/1510литр
• ● ESD бехатар