เตาเผาแก๊สเฉื่อยอุณหภูมิสูงพิเศษเป็นอุปกรณ์ที่สำคัญในอุตสาหกรรมที่ต้องใช้การแปรรูปที่อุณหภูมิสูงในบรรยากาศเฉื่อย ช่วยให้มั่นใจได้ถึงคุณภาพและความสมบูรณ์ของวัสดุที่กำลังแปรรูป เตาเผานี้ใช้ได้กับบรรยากาศในก๊าซเฉื่อย เช่น อาร์กอน คาร์บอนไดออกไซด์ ฮีเลียม และไนโตรเจน องค์ประกอบความร้อนลวดนิโครมเกจหนักแบบเปิดโล่งให้แหล่งความร้อนที่แข็งแกร่งถึง 600 องศา การออกแบบเปลือกคู่ที่เป็นเอกลักษณ์ช่วยให้สารหล่อเย็นและอากาศแวดล้อมหมุนเวียนไปรอบๆ ห้องด้านในที่เต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อย ช่วยรักษาแรงดันและอุณหภูมิภายในให้คงที่

เตาแก๊สเฉื่อยเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเตาอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องกับการแปรรูปวัสดุในสภาพแวดล้อมบรรยากาศควบคุม เช่น การทำให้แห้งด้วยความชื้น การทำให้เวเฟอร์แห้ง การบ่มเรซินสำหรับบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ และการบ่มส่วนประกอบและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์

● ประเภทห้อง 1 ห้องหรือ 2 ห้อง (ควบคุมแยกกันสำหรับแต่ละห้อง)
● สูงสุด 260℃
●ความเข้มข้นของ O2 ต่ำกว่า 50ppm

เหมาะสำหรับการบ่มเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ (การบ่มโฟโตเรซิสต์ PI, PBO, BCB) การอบพื้นผิวแก้ว และการบำบัดด้วยการอบอ่อนที่มีความแม่นยำสูง เป็นต้น

เตาอบที่สะอาดใช้กันอย่างแพร่หลายในการอบชุบด้วยความร้อนหรือการทำให้แห้งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ คริสตัลเหลว แผ่นดิสก์ และส่วนประกอบและอุปกรณ์อื่นๆ ที่ต้องการสภาวะอากาศที่สะอาด

• ● ชั้น 100
• ● ความจุขนาดใหญ่ 350 ลิตร
• ● อุณหภูมิสูงสุด 260℃

• ● การทำให้แห้งด้วยสูญญากาศเพื่อขจัดความชื้นและตัวทำละลายออกจากวัสดุอิเล็กโทรด
• ● อุณหภูมิสูงสุด 300℃/400℃ เป็นทางเลือก
• ● ช่วงการทำงานสูญญากาศ 101kPa -1Pa● มีให้เลือก 3 ขนาด ความจุขนาดใหญ่

เตาอบสูญญากาศขนาดใหญ่ที่ออกแบบมาเพื่อการอบสูญญากาศทุกรูปแบบ

• ● อุณหภูมิสูงสุด 250℃
• ● ช่วงสุญญากาศในการทำงาน 101kPa -0.1kPa

เตาอบนี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการกำจัดน้ำตกค้าง ตัวทำละลาย หรือสารระเหยอื่นๆ จากผลิตภัณฑ์ที่ไวต่ออุณหภูมิ ปั๊มสุญญากาศจะถูกติดตั้งไว้ด้านล่างของเตาอบเพื่อประหยัดพื้นที่ในการติดตั้ง โดยมีท่อหน้าแปลนเชื่อมต่อที่รวดเร็ว เตาอบประเภทนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในห้องแล็บ เซมิคอนดักเตอร์ MEMS และด้านอิเล็กทรอนิกส์

ห้องทั้ง 9 ห้องได้รับการควบคุมแยกกันและใช้ระบบสูญญากาศร่วมกันเป็นชุดเดียว เหมาะสำหรับวัสดุโลหะทุกชนิด แอนแอโรบิกแอนแอโรบิก วัตถุดิบทางเคมี โลหะมีค่า ผงโลหะ และผลิตภัณฑ์แข็ง ผง แป้ง ของเหลว อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ

• ● การควบคุมแบบสแตนด์อโลน 9 ห้อง
• ● จัดเก็บผลิตภัณฑ์ชั่วคราวระหว่างกระบวนการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ชิปเซมิคอนดักเตอร์ และอุปกรณ์อื่น ๆ เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชัน
• ● สูญญากาศขั้นต่ำ 50 ถึง 5*10-5Pa
• ● เครื่องสแกนบาร์โค้ดเพื่อจัดเก็บข้อมูลผลิตภัณฑ์

เตาอบอุตสาหกรรมสเตนเลสสตีล GMS รองรับการใช้งานการแปรรูปด้วยความร้อนหลากหลายประเภทที่อุณหภูมิสูงถึง 200℃ เตาอบอุตสาหกรรมเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการให้ความร้อนถัง การบ่ม การชุบแข็งแกน การอบแห้ง การอุ่นล่วงหน้า การบ่ม และการทดสอบส่วนประกอบ

• ● วัสดุสแตนเลสเหมาะสำหรับโรงงานที่สะอาดหรือสภาพแวดล้อมที่กัดกร่อน
• ● อุณหภูมิสูงสุด 200°C
• ● ประเภทการพาความร้อนแบบบังคับ

• ● เหมาะกับการอบความร้อนให้กับผลิตภัณฑ์
• ● เตาอบแบบสายพานลำเลียงที่ติดตั้งไว้ที่สายการผลิตช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตได้อย่างมาก
• ● การควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
• ● ความเร็วของสายพานลำเลียงสามารถปรับได้และสามารถรองรับกระบวนการบำบัดหลายรูปแบบ
• ● พร้อมตัวแปลงความถี่ ไฟเสา กระบอกสูบ ฯลฯ
• ● ระบบโหลดและขนถ่ายอัตโนมัติเพื่อเชื่อมต่อกับอุปกรณ์ต้นน้ำและปลายน้ำ

ห้องทั้ง 9 ห้องได้รับการควบคุมแยกกันและใช้ระบบสูญญากาศร่วมกันเป็นชุดเดียว เหมาะสำหรับวัสดุโลหะทุกชนิด แอนแอโรบิกแอนแอโรบิก วัตถุดิบทางเคมี โลหะมีค่า ผงโลหะ และผลิตภัณฑ์แข็ง ผง แป้ง ของเหลว อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ

• ● การควบคุมแบบสแตนด์อโลน 9 ห้อง
• ● จัดเก็บผลิตภัณฑ์ชั่วคราวระหว่างกระบวนการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ ชิปเซมิคอนดักเตอร์ และอุปกรณ์อื่น ๆ เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชัน
• ● สูญญากาศขั้นต่ำ 50 ถึง 5*10-5Pa
• ● เครื่องสแกนบาร์โค้ดเพื่อจัดเก็บข้อมูลผลิตภัณฑ์

เหมาะสำหรับโปรแกรมการบรรจุเซมิคอนดักเตอร์หรือการทดสอบในห้องปฏิบัติการเพื่อการบ่มเรซิน

เตาอบหลายห้องใช้ระบบหมุนเวียนอากาศแนวนอนปริมาณสูงซึ่งช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและประสิทธิภาพสูงสุด

• ● มีให้เลือกใช้แบบ 2/3/4/6 ห้องรวมกัน (ควบคุมแยกกันสำหรับแต่ละห้อง)
• ● ประหยัดพื้นที่ในการติดตั้ง
• ● การพาความร้อนแนวนอน

GZ-RTP-SM-12 เป็นระบบประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็วแบบแนวตั้งกึ่งอัตโนมัติที่ใช้สำหรับการให้ความร้อนเวเฟอร์ขนาด 4-12 นิ้วชิ้นเดียว
อุณหภูมิสูงสุด 1250℃
ท่อแก๊สสูงสุด 4 เส้น

• ● เหมาะกับการอบความร้อนให้กับผลิตภัณฑ์
• ● เตาอบแบบสายพานลำเลียงที่ติดตั้งไว้ที่สายการผลิตช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตได้อย่างมาก
• ● การควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
• ● ความเร็วของสายพานลำเลียงสามารถปรับได้และสามารถรองรับกระบวนการบำบัดหลายรูปแบบ
• ● พร้อมตัวแปลงความถี่ ไฟเสา กระบอกสูบ ฯลฯ
• ● ระบบโหลดและขนถ่ายอัตโนมัติเพื่อเชื่อมต่อกับอุปกรณ์ต้นน้ำและปลายน้ำ

อุปกรณ์ประกอบด้วยห้องสูญญากาศและแหล่งจ่ายไฟพลาสม่าความถี่สูง ระบบสูญญากาศ ระบบพองลม ระบบควบคุมอัตโนมัติและส่วนอื่น ๆ หลักการทำงานพื้นฐานคือในสถานะสูญญากาศการใช้ปั๊มสูญญากาศเพื่อดูดสูญญากาศในสตูดิโอเพื่อให้ได้สูญญากาศ 0.15-0.3 mbar จากนั้นในบทบาทของเครื่องกำเนิดความถี่สูงก๊าซจะถูกทำให้เป็นไอออนการก่อตัวของพลาสม่า (สถานะที่สี่ของสสาร) จากนั้นการใช้พลาสม่าบนพื้นผิวของการบำบัดชิ้นงาน

• ● เครื่องลำเลียงระบบพลาสม่า
• ● สามารถใช้ในสภาพแวดล้อมการผลิตได้อย่างสม่ำเสมอเพื่อทำความสะอาดและเปิดใช้งานพื้นผิวของชิ้นส่วนที่มีรูปร่างแปลกๆ
• ● ห้องสูญญากาศ

ตู้กันความชื้น GZ ที่มีความชื้นต่ำแบบรวดเร็วใช้โมดูลลดความชื้นที่อัปเกรดใหม่ สามารถเข้าถึงความชื้นต่ำกว่า 5%RH ผลิตภัณฑ์นี้ใช้งานง่าย แนะนำเป็นพิเศษสำหรับชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ทุกชนิด กล้องถ่ายภาพ เครื่องมือห้องปฏิบัติการทั่วไป กล้องจุลทรรศน์ วัสดุและสารเคมี ฯลฯ เพื่อป้องกันเชื้อราและราดำ

ตู้กันไฟฟ้าสถิตย์เป็นเครื่องมือสำคัญในทุกสภาพแวดล้อมที่ต้องจัดการกับชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ละเอียดอ่อน ช่วยให้ชิ้นส่วนเหล่านี้มีอายุการใช้งานยาวนานและมีประสิทธิภาพ โดยปกป้องชิ้นส่วนเหล่านี้จากผลกระทบที่อาจก่อให้เกิดความเสียหายจากไฟฟ้าสถิตย์ ภายในตู้มักบุด้วยวัสดุที่ปลอดภัยต่อไฟฟ้าสถิตย์ เช่น โฟมป้องกันไฟฟ้าสถิตย์หรือถังพลาสติกที่มีตัวนำไฟฟ้า เพื่อเพิ่มการป้องกันเพิ่มเติมให้กับสิ่งของที่จัดเก็บไว้

ตู้ไนโตรเจนช่วยควบคุมการปนเปื้อนจากฝุ่น อนุภาค และสิ่งเจือปนอื่นๆ ที่อาจส่งผลต่อประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ สภาพแวดล้อมไนโตรเจนที่สะอาดช่วยรักษาความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบและพื้นผิวระหว่างกระบวนการผลิต สำหรับโอกาสในสภาพแวดล้อมที่สะอาดระดับ 100 (ISO 5) ตู้แห้งที่ทำจากสเตนเลสสตีลแบบกระจกเงาทั้งหมดจะถูกใช้เพื่อจัดเก็บส่วนประกอบและเครื่องมือที่แม่นยำ

ตู้เก็บไนโตรเจนสแตนเลสเป็นโซลูชันการจัดเก็บแบบพิเศษที่ออกแบบมาเพื่อปกป้องส่วนประกอบและวัสดุที่บอบบางจากการเกิดออกซิเดชันและความเสียหายจากความชื้นโดยรักษาบรรยากาศไนโตรเจนเฉื่อย ตู้สแตนเลสทำจากสแตนเลส 304 คุณภาพสูงซึ่งทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยมและทำความสะอาดง่าย ผิวเคลือบกระจกไม่เพียงแต่ให้รูปลักษณ์ที่ทันสมัยเท่านั้น แต่ยังอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาดและการบำรุงรักษาอีกด้วย พื้นผิวเคลือบที่สูงและลักษณะที่ทำความสะอาดง่ายของตู้เหล่านี้ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมในห้องปลอดเชื้อ โดยบางรุ่นยังผ่านมาตรฐานความสะอาดของคลาส 100 อีกด้วย

ตู้ไนโตรเจนสแตนเลสมักใช้กันในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โฟโตนิกส์และ FPD การจัดเก็บวัสดุพิเศษ และภาคอิเล็กทรอนิกส์ เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชัน การโจมตีของสิ่งแปลกปลอม และการควบคุมความชื้นในสภาพแวดล้อมที่สะอาด

ตู้ได้รับการออกแบบมาให้รับน้ำหนักได้สูงสุดและมีความทนทาน ตู้ไนโตรเจนสแตนเลสติดตั้งพร้อมช่องรับไนโตรเจนเพื่อเป่าบริเวณทำงาน เพื่อปกป้องสิ่งของในการจัดเก็บไม่ให้ถูกออกซิไดซ์ ตู้แห้ง N2 ทั้งหมดผลิตจาก SUS#304

ตู้ไนโตรเจนช่วยลดการสัมผัสความชื้นระหว่างการจัดเก็บและการประมวลผลส่วนประกอบ IC โดยรักษาระดับความชื้นให้อยู่ในระดับต่ำ นอกจากนี้ยังสามารถปรับปรุงคุณภาพของจุดบัดกรีได้โดยลดการเกิดออกซิเดชันและทำให้มั่นใจได้ว่าการเชื่อมต่อจะสะอาดและเชื่อถือได้ ซึ่งถือเป็นสิ่งสำคัญในการป้องกันการกัดกร่อน การแยกชั้น หรือข้อบกพร่องอื่นๆ ที่เกี่ยวข้องกับความชื้น ซึ่งอาจส่งผลต่อความน่าเชื่อถือของแพ็คเกจ IC

• ● ช่วงความชื้น: 1-60%RH
• ● ความจุ: 500/1020/1250/1510ลิตร
• ● ปลอดภัยจาก ESD