دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئىنېرت گازى ئوچاق ئىنېرت ئاتموسفېراسىدا يۇقىرى تېمپېراتۇرا بىر تەرەپ قىلىش تەلەپ قىلىنىدىغان كەسىپلەردە ھالقىلىق ئۈسكۈنى بولۇپ ، پىششىقلاپ ئىشلەنگەن ماتېرىياللارنىڭ سۈپىتى ۋە مۇكەممەللىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئۇ ئارگون ، كاربون تۆت ئوكسىد ، گېلىي ۋە ئازوت قاتارلىق ئىنېرت گازىدىكى ئاتموسفېراغا ماس كېلىدۇ. ئۈستى ئوچۇق ئېغىرلىقتىكى نىكوم سىملىق ئىسسىتقۇچ ئېلېمېنتلىرى 600 گرادۇسقىچە كۈچلۈك ئىسسىقلىق مەنبەسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۆزگىچە قوش قاپلىق لايىھە ئىنېرت گازى بىلەن تولغان ئىچكى كامېر ئەتراپىدا سوۋۇتقۇچ ۋە مۇھىت ھاۋاسىنىڭ ئايلىنىشىغا شارائىت ھازىرلاپ ، مۇقىم ئىچكى بېسىم ۋە تېمپېراتۇرىنى ساقلايدۇ.

ئىنېرت گازى ئوچاق كونترول قىلىنىدىغان ئاتموسفېرا مۇھىتىدىكى پىششىقلاپ ئىشلەش ماتېرىياللىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان سانائەت ئوچاق پروگراممىلىرىغا ماس كېلىدۇ ، مەسىلەن نەملىك قۇرۇتۇش ، ۋافېر قۇرۇتۇش ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالمىنىڭ قالدۇقلىرىنى داۋالاش ۋە ئېلېكترونلۇق زاپچاس ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ قېرىشى.

● 1 كامېر ياكى 2 كامېر تىپى (ھەر بىر كامېرغا مۇستەقىل كونترول قىلىش)
● Max. 260 ℃
2 O2 قويۇقلۇقى 50ppm دىن تۆۋەن

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرنى (فوتوگراف PI ، PBO ، BCB داۋالاش) ، ئەينەك ئاستى مېۋە پىشۇرۇش ۋە يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى قوشۇمچە داۋالاشنى داۋالاشقا ماس كېلىدۇ.

پاكىز ئوچاق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر ، سۇيۇق كرىستال ، دىسكا ۋە ساپ ھاۋا شارائىتىنى تەلەپ قىلىدىغان باشقا زاپچاس ۋە ئۈسكۈنىلەرنى ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش ياكى قۇرۇتۇشتا كەڭ ئىشلىتىلىدۇ.

• ● Class 100
• L 350L چوڭ سىغىمى
• ● Max. تېمپېراتۇرا 260 ℃

• ● ۋاكۇئۇم قۇرۇتۇش ئېلېكترود ماتېرىياللىرىدىكى نەملىك ۋە ئېرىتمىنى يوقىتىدۇ.
• ● Max. تېمپېراتۇرا 300 ℃ / 400 opt ئىختىيارى
• ● مەشغۇلات ۋاكۇئۇم دائىرىسى 101kPa -1Pa 3 3 چوڭلۇقتا ، سىغىمى چوڭ

ھەر خىل ۋاكۇئۇم قۇرۇتۇش مەقسىتىدە لايىھەلەنگەن چوڭ ۋاكۇئۇم قۇرۇتۇش ئوچىقى.

• ● Max. تېمپېراتۇرا 250 ℃
• ● مەشغۇلات ۋاكۇئۇم دائىرىسى 101kPa -0.1kPa

بۇ ئوچاق قالدۇق سۇ ، ئېرىتكۈچى ياكى باشقا ئۆزگىرىشچان بىرىكمىلەرنى تېمپېراتۇرىغا سەزگۈر مەھسۇلاتلاردىن چىقىرىۋېتىشكە ماس كېلىدۇ. ئوچاقنىڭ ئاستى تەرىپىگە ۋاكۇئۇم پومپىسى ئورنىتىلىپ ، تېز ئۇلىنىش فاڭجېن تۇرۇبىسى بىلەن ئورنىتىش بوشلۇقى تېجىلىدۇ. بۇ خىل ئوچاق تەجرىبىخانا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ، MEMS ۋە ئېلېكترونلۇق رايونلاردا كەڭ قوللىنىلىدۇ.

9 كامېر مۇستەقىل كونترول قىلىنغان ۋە بىر يۈرۈش ۋاكۇئۇم سىستېمىسىدىن تەڭ بەھرىمەن بولغان. ئۇ ھەر خىل مېتال ماتېرىياللار ، ئانانىروبىكانا ، خىمىيىلىك خام ئەشيا ، قىممەتلىك مېتاللار ، مېتال پاراشوك ۋە باشقا قاتتىق ، پاراشوك ، چاپلاق ، سۇيۇقلۇق ، ئېلېكترونلۇق مەھسۇلاتلارغا ماس كېلىدۇ.

• ● 9-كامېرا مۇستەقىل كونترول قىلىش
• Electronic ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ، ئوپتىكىلىق ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆزەك ۋە باشقا ئۈسكۈنىلەرنى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا مەھسۇلاتلارنى ۋاقىتلىق ساقلاڭ ، ئوكسىدلىنىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
• . Min.50 دىن 5 * 10-5Pa ۋاكۇئۇم
• مەھسۇلات ئۇچۇرلىرىنى ساقلاش ئۈچۈن تاياقچە كود سايىلىغۇچ

GMS داتلاشماس پولات سانائەت ئوچاقلىرى 200 up غىچە ھەر خىل ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش پروگراممىلىرىنى سىغدۇرالايدۇ. سانائەت ئوچاقلىرى دۇمباقنى قىزىتىش ، قېرىش ، يادرولۇق قاتتىقلاشتۇرۇش ، قۇرۇتۇش ، قىزىتىش ، داۋالاش ۋە زاپچاسلارنى سىناشقا ئەڭ ماس كېلىدۇ.

• پاكىز داچا ياكى چىرىش مۇھىتىغا ماس كېلىدىغان داتلاشماس پولات ماتېرىيال
• ● Max. Temp. 200 ° C.
• ● مەجبۇرىي يەتكۈزۈش تىپى

• Products مەھسۇلاتلارنى ئىسسىقلىق بىلەن داۋالاشقا ماس كېلىدۇ
• Line ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىگە ئورۇنلاشتۇرۇلغان ، يەتكۈزگۈچ ئوچاق ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى زور دەرىجىدە ئۆستۈردى
• Aut ئاپتوماتىك كونترول قىلىش
• Ve يەتكۈزگۈچنىڭ سۈرئىتىنى تەڭشىگىلى بولىدۇ ھەمدە كۆپ خىل داۋالاش جەريانىنى كۆرەلەيدۇ
• Frequ چاستوتا ئايلاندۇرغۇچ ، پاي چىرىغى ، سىلىندىر قاتارلىقلار سەپلەنگەن.
• Up يۇقىرى ئېقىن ۋە تۆۋەن ئېقىندىكى ئۈسكۈنىلەر بىلەن ئۇلىنىش ئۈچۈن ئاپتوماتىك يۈك چۈشۈرۈش ۋە چۈشۈرۈش سىستېمىسى

9 كامېر مۇستەقىل كونترول قىلىنغان ۋە بىر يۈرۈش ۋاكۇئۇم سىستېمىسىدىن تەڭ بەھرىمەن بولغان. ئۇ ھەر خىل مېتال ماتېرىياللار ، ئانانىروبىكانا ، خىمىيىلىك خام ئەشيا ، قىممەتلىك مېتاللار ، مېتال پاراشوك ۋە باشقا قاتتىق ، پاراشوك ، چاپلاق ، سۇيۇقلۇق ، ئېلېكترونلۇق مەھسۇلاتلارغا ماس كېلىدۇ.

• ● 9-كامېرا مۇستەقىل كونترول قىلىش
• Electronic ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ، ئوپتىكىلىق ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆزەك ۋە باشقا ئۈسكۈنىلەرنى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا مەھسۇلاتلارنى ۋاقىتلىق ساقلاڭ ، ئوكسىدلىنىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
• . Min.50 دىن 5 * 10-5Pa ۋاكۇئۇم
• مەھسۇلات ئۇچۇرلىرىنى ساقلاش ئۈچۈن تاياقچە كود سايىلىغۇچ

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئوراپ قاچىلاش پروگراممىسى بۆلىكى ياكى تەجرىبىخانىدا سىناق قىلىشقا ، قالدۇقنى داۋالاشقا ماس كېلىدۇ.

كۆپ ھۇجرىلىق تونۇر يۇقىرى ھەجىمدىكى گورىزونتال ھاۋا ئايلىنىش سىستېمىسىدىن پايدىلىنىپ ، تېمپېراتۇرا بىردەكلىكى ۋە ئىقتىدارىنى ئەڭ يۇقىرى چەككە يەتكۈزىدۇ.

• 2/3/4/6 كامېر بىرلەشتۈرۈشكە بولىدۇ (ھەر بىر كامېرغا مۇستەقىل كونترول قىلىش)
• قاچىلاش بوشلۇقىنى تېجەش
• ● Horizontal convection

GZ-RTP-SM-12 يېرىم ئاپتوماتىك تىك تېز ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى بولۇپ ، يەككە 4-12 دىيۇملۇق ۋافېرنى قىزىتىشقا ئىشلىتىلىدۇ.
Max. Temp. 1250 ℃
Max. 4 گاز لىنىيىسى

• Products مەھسۇلاتلارنى ئىسسىقلىق بىلەن داۋالاشقا ماس كېلىدۇ
• Line ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىگە ئورۇنلاشتۇرۇلغان ، يەتكۈزگۈچ ئوچاق ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى زور دەرىجىدە ئۆستۈردى
• Aut ئاپتوماتىك كونترول قىلىش
• Ve يەتكۈزگۈچنىڭ سۈرئىتىنى تەڭشىگىلى بولىدۇ ھەمدە كۆپ خىل داۋالاش جەريانىنى كۆرەلەيدۇ
• Frequ چاستوتا ئايلاندۇرغۇچ ، پاي چىرىغى ، سىلىندىر قاتارلىقلار سەپلەنگەن.
• Up يۇقىرى ئېقىن ۋە تۆۋەن ئېقىندىكى ئۈسكۈنىلەر بىلەن ئۇلىنىش ئۈچۈن ئاپتوماتىك يۈك چۈشۈرۈش ۋە چۈشۈرۈش سىستېمىسى

بۇ ئۈسكۈنىلەر ئاساسلىقى ۋاكۇئۇملۇق كامېرا ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق پلازما توك بىلەن تەمىنلەش ، ۋاكۇئۇم سىستېمىسى ، پۇل پاخاللىقى سىستېمىسى ، ئاپتوماتىك كونترول سىستېمىسى ۋە باشقا زاپچاسلاردىن تەركىب تاپقان. خىزمەتنىڭ ئاساسىي پرىنسىپى ۋاكۇئۇم ھالەتتە ، ۋاكۇئۇم پومپىدىن پايدىلىنىپ ستۇدىيىنى ۋاكۇئۇملاشتۇرۇپ ، 0.15-0.3 mbar بوشلۇققا ئېرىشىدۇ ، ئاندىن يۇقىرى چاستوتىلىق گېنېراتورنىڭ رولىدا ، گاز ئىئونلىنىدۇ ، شەكىللىنىدۇ. پلازما (ماددىنىڭ تۆتىنچى ھالىتى) ، ئاندىن ئەسەرنى داۋالاش يۈزىدە پلازما ئىشلىتىش.

• ● پلازما سىستېمىسىنى بىر تەرەپ قىلىش ماشىنىسى
• ● ئۇنى ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا ئىزچىل ئىشلىتىپ ، غەلىتە شەكىللىك زاپچاسلارنىڭ يۈزىنى پاكىزلىغىلى ۋە قوزغىتىشقا بولىدۇ
• ● Vacuum chamber

GZ تېز تۆۋەن نەملىك نەملىك ساقلاش ئىشكاپى يېڭى يېڭىلانغان سۇسىزلاندۇرۇش مودۇلىنى قوللاندى. ئۇ% 5 RH دىن تۆۋەن نەملىككە يېتەلەيدۇ. بۇ مەھسۇلات مەشغۇلات قىلىش ئاسان. بولۇپمۇ ھەر خىل ئېلېكترونلۇق زاپچاسلار ، كامېرالار ، كامېرالار ، ئادەتتىكى تەجرىبىخانا ئەسۋابلىرى ، مىكروسكوپلار ، ماتېرىياللار ۋە خىمىيىلىك بۇيۇملار قاتارلىقلارغا ئالاھىدە تەۋسىيە قىلىنىدۇ.

ESD قۇرۇق ئىشكاپلار سەزگۈر ئېلېكترونلۇق زاپچاسلار بىر تەرەپ قىلىنىدىغان ھەر قانداق مۇھىتتا كەم بولسا بولمايدىغان قورال بولۇپ ، تۇراقلىق توكنىڭ يوشۇرۇن بۇزۇلۇشىدىن ساقلىنىش ئارقىلىق ئۇلارنىڭ ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشىگە ۋە ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. كابىنېتنىڭ ئىچكى قىسمىغا دائىم تۇراقلىق كۆپۈك ياكى ئۆتكۈزگۈچ سۇلياۋ قۇتا قاتارلىق ESD بىخەتەر ماتېرىياللار تىزىلغان بولۇپ ، ساقلانغان بۇيۇملارنى قوشۇمچە قوغدايدۇ.

ئازوت ئىشكاپلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرىنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىشەنچلىكلىكىگە تەسىر كۆرسىتىدىغان چاڭ-توزان ، زەررىچىلەر ۋە باشقا بۇلغانمىلارنىڭ بۇلغىنىشىنى كونترول قىلىشقا ياردەم بېرەلەيدۇ. پاكىز ئازوت مۇھىتى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا زاپچاس ۋە يۈزلەرنىڭ ساپلىقىنى ساقلايدۇ. 100-دەرىجىلىك (ISO 5) پاكىزلىق مۇھىتىدا ، تولۇق ئەينەك ۋە سايمانلارنى ساقلاش ئۈچۈن تولۇق ئەينەك داتلاشماس پولات قۇرۇق ئىشكاپ ئىشلىتىلىدۇ.

داتلاشماس پولات ئازوت ئىشكاپى سەزگۈر زاپچاسلار ۋە ماتېرىياللارنى ئىنېرت ئازوت ئاتموسفېراسىنى ساقلاش ئارقىلىق ئوكسىدلىنىش ۋە نەملىكنىڭ بۇزۇلۇشىدىن قوغداش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن مەخسۇس ساقلاش ھەل قىلىش چارىسى. داتلاشماس پولات ئىشكاپ ئەلا سۈپەتلىك 304 داتلاشماس پولاتتىن ياسالغان ، بۇ چىرىتىشكە چىداملىق بولۇپ ، تازىلاش ئاسان. ئەينەك تۈگمە زامانىۋى كۆرۈنۈش بىلەن تەمىنلەپلا قالماي ، يەنە تازىلاش ۋە ئاسراشقا قولايلىق يارىتىدۇ. بۇ ئىشكاپلارنىڭ سىرتقى يۈزىنىڭ ئېگىزلىكى ۋە پاكىزە ئاسان بولۇشى ئۇلارنى تازىلىق ئۆيى مۇھىتىغا ماسلاشتۇرىدۇ ، بەزى مودېللار ھەتتا 100-دەرىجىلىك تازىلىق ئۆلچىمىگە يېتىدۇ.

داتلاشماس پولات ئازوت ئىشكاپى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ، فوتونكا ۋە FPD سانائىتى ، ئالاھىدە ماتېرىياللارنى ساقلاش ۋە ئېلېكترونلۇق ساھەدە ئوكسىدلىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ، چەتئەل ئورگانلىرىنىڭ ھۇجۇمى ۋە پاكىز مۇھىتتا نەملىكنى كونترول قىلىشتا ئىشلىتىلىدۇ.

ئىشكاپ ئەڭ چوڭ يۈك ۋە چىداملىق قىلىپ لايىھەلەنگەن ، داتلاشماس پولات ئازوت ئىشكاپىغا ئازوت كىرىش ئېغىزى ئورنىتىلغان بولۇپ ، خىزمەت رايونىنى تازىلايدۇ ، بۇنداق بولغاندا ساقلاش بۇيۇملىرىنىڭ ئوكسىدلىنىشىدىن ساقلىنىش ئۈچۈن ، N2 قۇرۇق ئىشكاپنىڭ ھەممىسى SUS # 304 تەرىپىدىن ياسالغان.

تۆۋەن نەملىك دەرىجىسىنى ساقلاش ئارقىلىق ، ئازوت ئىشكاپلىرى IC زاپچاسلىرىنى ساقلاش ۋە پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا نەملىكنىڭ تەسىرىنى ئازايتىشقا ياردەم بېرىدۇ. ئوكسىدلىنىشنى ئازايتىش ۋە پاكىز ، ئىشەنچلىك ئۇلىنىشقا كاپالەتلىك قىلىش ئارقىلىق ساتقۇچىلارنىڭ بىرلەشمە سۈپىتىنى ئۆستۈرەلەيدۇ. بۇ IC ئورالمىلىرىنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە تەسىر يەتكۈزىدىغان چىرىتىش ، يوقىتىش ياكى باشقا نەملىككە مۇناسىۋەتلىك كەمتۈكلۈكلەرنىڭ ئالدىنى ئېلىشتا ئىنتايىن مۇھىم.

• ● نەملىك دەرىجىسى: 1-60% RH
• ● سىغىمى: 500/1020/1250/1510 لېتىر
• ● ESD بىخەتەر