Lò khí trơ nhiệt độ cực cao là thiết bị quan trọng trong các ngành công nghiệp đòi hỏi phải xử lý ở nhiệt độ cao trong môi trường khí trơ, đảm bảo chất lượng và tính toàn vẹn của vật liệu đang được xử lý. Nó có thể áp dụng cho môi trường khí trơ như Argon, Carbon Dioxide, Heli và Nitơ. Các bộ phận gia nhiệt bằng dây nikrom cỡ lớn ngoài trời cung cấp nguồn nhiệt mạnh mẽ lên đến 600 độ. Thiết kế vỏ kép độc đáo cho phép lưu thông chất làm mát và không khí xung quanh khoang bên trong chứa đầy khí trơ, duy trì áp suất và nhiệt độ bên trong ổn định.

Lò khí trơ lý tưởng cho các ứng dụng lò công nghiệp liên quan đến việc xử lý vật liệu trong môi trường khí quyển được kiểm soát, bao gồm sấy ẩm, sấy wafer, đóng rắn nhựa cho bao bì bán dẫn và làm lão hóa các linh kiện và thiết bị điện tử.

● Loại 1 buồng hoặc 2 buồng (điều khiển độc lập cho từng buồng)
● Tối đa 260℃
●Nồng độ O2 dưới 50ppm

Thích hợp để xử lý các tấm bán dẫn (xử lý chất cản quang PI, PBO, BCB), nung đế thủy tinh và xử lý ủ có độ chính xác cao, v.v.

Lò sạch được sử dụng rộng rãi trong quá trình xử lý nhiệt hoặc sấy khô các tấm bán dẫn, tinh thể lỏng, đĩa và các thành phần, thiết bị khác yêu cầu điều kiện không khí sạch.

• ● Lớp 100
• ● Dung tích lớn 350L
• ● Nhiệt độ tối đa 260℃

• ● Sấy chân không để loại bỏ độ ẩm và dung môi trong vật liệu điện cực.
• ● Nhiệt độ tối đa 300℃/400℃ là tùy chọn
• ● Phạm vi chân không hoạt động 101kPa -1Pa● Có 3 kích cỡ, công suất lớn

Lò sấy chân không lớn được thiết kế cho mọi mục đích sấy chân không.

• ● Nhiệt độ tối đa 250℃
• ● Phạm vi chân không hoạt động 101kPa -0,1kPa

Lò này lý tưởng để loại bỏ nước còn sót lại, dung môi hoặc các hợp chất dễ bay hơi khác khỏi các sản phẩm nhạy cảm với nhiệt độ. Bơm chân không sẽ được lắp ở mặt dưới của lò để tiết kiệm không gian lắp đặt với đường ống bích kết nối nhanh. Loại lò này được sử dụng rộng rãi trong phòng thí nghiệm, bán dẫn, MEMS và lĩnh vực điện tử.

9 buồng được điều khiển độc lập và chia sẻ một bộ hệ thống chân không. Thích hợp cho tất cả các loại vật liệu kim loại, kỵ khí kỵ khí, nguyên liệu hóa học, kim loại quý, bột kim loại và các sản phẩm rắn, bột, nhão, lỏng, điện tử khác

• ● Điều khiển độc lập 9 buồng
• ● Lưu trữ tạm thời các sản phẩm trong quá trình sản xuất các thiết bị điện tử, thiết bị quang điện tử, chip bán dẫn và các thiết bị khác để ngăn ngừa quá trình oxy hóa
• ● Tối thiểu 50 đến 5*10-5Pa chân không
• ● Máy quét mã vạch để lưu trữ thông tin sản phẩm

Lò công nghiệp bằng thép không gỉ GMS có thể đáp ứng nhiều ứng dụng xử lý nhiệt lên đến 200℃. Lò công nghiệp lý tưởng cho việc gia nhiệt trống, lão hóa, làm cứng lõi, sấy khô, gia nhiệt trước, lưu hóa và thử nghiệm thành phần.

• ● Vật liệu thép không gỉ phù hợp với xưởng sạch hoặc môi trường ăn mòn
• ● Nhiệt độ tối đa 200°C
• ● Kiểu đối lưu cưỡng bức

• ● Thích hợp cho việc xử lý nhiệt sản phẩm
• ● Đặt tại dây chuyền sản xuất, lò băng tải cải thiện hiệu quả sản xuất rất nhiều
• ● Kiểm soát hoàn toàn tự động
• ● Tốc độ băng tải có thể điều chỉnh và có thể xử lý nhiều quy trình
• ● Được trang bị bộ biến tần, đèn cọc, xi lanh, v.v.
• ● Hệ thống nạp và xả tự động kết nối với thiết bị thượng nguồn và hạ nguồn

9 buồng được điều khiển độc lập và chia sẻ một bộ hệ thống chân không. Thích hợp cho tất cả các loại vật liệu kim loại, kỵ khí kỵ khí, nguyên liệu hóa học, kim loại quý, bột kim loại và các sản phẩm rắn, bột, nhão, lỏng, điện tử khác

• ● Điều khiển độc lập 9 buồng
• ● Lưu trữ tạm thời các sản phẩm trong quá trình sản xuất các thiết bị điện tử, thiết bị quang điện tử, chip bán dẫn và các thiết bị khác để ngăn ngừa quá trình oxy hóa
• ● Tối thiểu 50 đến 5*10-5Pa chân không
• ● Máy quét mã vạch để lưu trữ thông tin sản phẩm

Thích hợp cho phân khúc chương trình đóng gói chất bán dẫn hoặc thử nghiệm trong phòng thí nghiệm, để đóng rắn nhựa.

Lò nướng nhiều buồng sử dụng hệ thống tuần hoàn không khí ngang khối lượng lớn giúp tối đa hóa tính đồng đều và hiệu suất của nhiệt độ.

• ● Có sẵn cho kết hợp 2/3/4/6 buồng (điều khiển độc lập cho từng buồng)
• ● Tiết kiệm không gian cài đặt
• ● Đối lưu ngang

GZ-RTP-SM-12 là hệ thống xử lý nhiệt nhanh theo chiều dọc bán tự động được ứng dụng để gia nhiệt một wafer 4-12 inch
Nhiệt độ tối đa 1250℃
Tối đa 4 đường ống dẫn khí

• ● Thích hợp cho việc xử lý nhiệt sản phẩm
• ● Đặt tại dây chuyền sản xuất, lò băng tải cải thiện hiệu quả sản xuất rất nhiều
• ● Kiểm soát hoàn toàn tự động
• ● Tốc độ băng tải có thể điều chỉnh và có thể xử lý nhiều quy trình
• ● Được trang bị bộ biến tần, đèn cọc, xi lanh, v.v.
• ● Hệ thống nạp và xả tự động kết nối với thiết bị thượng nguồn và hạ nguồn

Thiết bị chủ yếu bao gồm buồng chân không và nguồn cung cấp plasma tần số cao, hệ thống chân không, hệ thống bơm hơi, hệ thống điều khiển tự động và các bộ phận khác. Nguyên lý cơ bản của công việc là ở trạng thái chân không, sử dụng máy bơm chân không để hút chân không trong xưởng để đạt được chân không 0,15-0,3 mbar, sau đó trong vai trò của máy phát tần số cao, khí sẽ được ion hóa, hình thành plasma (trạng thái thứ tư của vật chất), sau đó sử dụng plasma trên bề mặt của quá trình xử lý phôi.

• ● Hệ thống máy cắt plasma
• ● Có thể sử dụng thường xuyên trong môi trường sản xuất để làm sạch và kích hoạt bề mặt của các bộ phận có hình dạng kỳ lạ
• ● Buồng chân không

Tủ chống ẩm độ ẩm thấp GZ nhanh sử dụng mô-đun khử ẩm nâng cấp mới. Có thể đạt độ ẩm dưới 5%RH. Sản phẩm dễ vận hành. Đặc biệt được khuyến nghị cho tất cả các loại linh kiện điện tử, máy ảnh, máy quay, dụng cụ phòng thí nghiệm nói chung, kính hiển vi, vật liệu và hóa chất, v.v. để ngăn ngừa nấm mốc.

Tủ chống tĩnh điện là một công cụ thiết yếu trong bất kỳ môi trường nào mà các linh kiện điện tử nhạy cảm được xử lý, đảm bảo tuổi thọ và hiệu suất của chúng bằng cách bảo vệ chúng khỏi những tác động có thể gây hư hỏng của tĩnh điện. Bên trong tủ thường được lót bằng vật liệu an toàn với tĩnh điện, chẳng hạn như bọt chống tĩnh điện hoặc thùng nhựa dẫn điện, để cung cấp thêm khả năng bảo vệ cho các vật dụng được lưu trữ.

Tủ nitơ có thể giúp kiểm soát ô nhiễm từ bụi, hạt và các tạp chất khác có thể ảnh hưởng đến hiệu suất và độ tin cậy của sản xuất bán dẫn và điện tử. Môi trường nitơ sạch duy trì độ tinh khiết của các thành phần và bề mặt trong quá trình sản xuất. Đối với những trường hợp trong môi trường sạch loại 100 (ISO 5), tủ khô bằng thép không gỉ phản chiếu hoàn toàn được sử dụng để lưu trữ các thành phần và dụng cụ chính xác.

Tủ nitơ bằng thép không gỉ là giải pháp lưu trữ chuyên dụng được thiết kế để bảo vệ các thành phần và vật liệu nhạy cảm khỏi quá trình oxy hóa và hư hỏng do độ ẩm bằng cách duy trì bầu không khí nitơ trơ. Tủ thép không gỉ được làm từ thép không gỉ 304 chất lượng cao, có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và dễ vệ sinh. Lớp hoàn thiện phản chiếu không chỉ mang lại vẻ ngoài hiện đại mà còn giúp vệ sinh và bảo dưỡng dễ dàng. Bề mặt hoàn thiện cao và bản chất dễ vệ sinh của những tủ này khiến chúng phù hợp với môi trường phòng sạch, một số mẫu thậm chí còn đạt tiêu chuẩn vệ sinh Class 100

Tủ nitơ bằng thép không gỉ thường được sử dụng trong các ngành công nghiệp bán dẫn, quang tử và FPD, lưu trữ vật liệu đặc biệt và các ngành điện tử để ngăn ngừa quá trình oxy hóa, sự tấn công của các vật thể lạ và kiểm soát độ ẩm trong môi trường sạch.

Tủ được thiết kế để chịu tải trọng và độ bền tối đa, tủ nitơ bằng thép không gỉ được lắp đặt với một đầu vào nitơ để thanh lọc khu vực làm việc, nhằm bảo vệ các vật dụng lưu trữ không bị oxy hóa, toàn bộ tủ khô N2 được làm bằng SUS#304.

Bằng cách duy trì mức độ ẩm thấp, tủ nitơ giúp giảm thiểu tiếp xúc với độ ẩm trong quá trình lưu trữ và xử lý các thành phần IC. Nó có thể cải thiện chất lượng mối hàn bằng cách giảm quá trình oxy hóa và đảm bảo các kết nối sạch sẽ, đáng tin cậy. Điều này rất quan trọng để ngăn ngừa ăn mòn, tách lớp hoặc các khuyết tật liên quan đến độ ẩm khác có thể ảnh hưởng đến độ tin cậy của các gói IC.

• ● Phạm vi độ ẩm: 1-60%RH
• ● Dung tích: 500/1020/1250/1510 Lít
• ● An toàn ESD