Awọn adiro gaasi inert otutu-giga jẹ ohun elo to ṣe pataki ni awọn ile-iṣẹ nibiti a ti nilo sisẹ iwọn otutu giga ni oju-aye inert, aridaju didara ati iduroṣinṣin ti awọn ohun elo ti n ṣiṣẹ. O wulo fun oju-aye ni awọn gaasi inert gẹgẹbi Argon, Carbon Dioxide, Helium, ati Nitrogen. Awọn eroja ti ngbona okun waya nichrome ti o wuwo-afẹfẹ ti n pese orisun ooru to lagbara to awọn iwọn 600. Apẹrẹ ikarahun meji alailẹgbẹ gba laaye fun kaakiri ti itutu ati afẹfẹ ibaramu ni ayika iyẹwu inu ti o kun fun gaasi inert, mimu titẹ inu inu iduroṣinṣin ati iwọn otutu.

Awọn adiro gaasi inert jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo adiro ile-iṣẹ ti o kan awọn ohun elo sisẹ ni agbegbe agbegbe ti iṣakoso, pẹlu gbigbe ọrinrin, gbigbẹ wafer, imularada resini fun iṣakojọpọ semikondokito, ati ti ogbo ti awọn paati itanna ati awọn ẹrọ.

● Iyẹwu 1 tabi awọn oriṣi iyẹwu 2 (Iṣakoso imurasilẹ fun iyẹwu kọọkan)
● O pọju. 260℃
●O2 ifọkansi ni isalẹ 50ppm

Dara fun imularada awọn wafers semikondokito (photoresist PI, PBO, BCB curing), yan sobusitireti gilasi, ati itọju annealing pipe, ati bẹbẹ lọ.

Awọn adiro mimọ ni a lo lọpọlọpọ ni itọju ooru tabi gbigbẹ ti awọn wafers semikondokito, awọn kirisita olomi, awọn disiki ati awọn paati miiran ati awọn ẹrọ ti o nilo awọn ipo afẹfẹ mimọ.

• ● Kilasi 100
• ● 350L tobi agbara
• ● O pọju. iwọn otutu 260 ℃

• ● Gbigbe igbale lati yọ ọrinrin ati epo kuro ninu awọn ohun elo elekiturodu.
• ● O pọju. otutu 300 ℃ / 400 ℃ jẹ iyan
• ● Iwọn igbale ti nṣiṣẹ 101kPa -1Pa● Wa ni awọn titobi 3, agbara nla

Lọla gbigbẹ igbale nla ti a ṣe apẹrẹ fun gbogbo iru idi gbigbẹ igbale.

• ● O pọju. iwọn otutu 250 ℃
• ● Ṣiṣẹ igbale ibiti 101kPa -0.1kPa

Lọla yii jẹ apẹrẹ fun yiyọ omi ti o ku, awọn nkanmimu tabi awọn agbo ogun iyipada miiran lati awọn ọja ifamọ iwọn otutu. fifa fifa yoo wa ni fi sori ẹrọ ni isalẹ ti adiro lati ṣafipamọ aaye fifi sori ẹrọ pẹlu fifi ọpa flange asopọ iyara. Iru adiro yii jẹ lilo pupọ ni awọn laabu, semikondokito, MEMS, ati agbegbe itanna.

Awọn iyẹwu 9 naa ni iṣakoso ominira ati pin ipin kan ti eto igbale. O dara fun gbogbo iru awọn ohun elo irin, anaerobicanaerobic, awọn ohun elo aise kemikali, awọn irin iyebiye, lulú irin ati awọn ohun elo miiran ti o lagbara, lulú, lẹẹ, omi, awọn ọja itanna

• ● 9-Chambers adaduro iṣakoso
• ● Fipamọ awọn ọja fun igba diẹ lakoko ilana iṣelọpọ ti awọn ẹrọ itanna, awọn ẹrọ optoelectronic, awọn eerun semikondokito ati awọn ẹrọ miiran lati ṣe idiwọ ifoyina.
• ● Min.50 si 5 * 10-5Pa igbale
• ● Ayẹwo kooduopo lati tọju alaye ọja

Awọn adiro ile-iṣẹ irin alagbara GMS gba ọpọlọpọ awọn ohun elo sisẹ igbona titi de 200 ℃. Awọn adiro ile-iṣẹ jẹ apere ti o baamu fun alapapo ilu, ti ogbo, líle mojuto, gbigbẹ, iṣaju, imularada, ati idanwo paati.

• ● Irin alagbara, irin lati suite mimọ onifioroweoro tabi ipata ayika
• ● O pọju. Iwọn otutu. 200°C
• ● Irú ìdàrúdàpọ̀ tí a fipá mú

• ● Dara fun itọju igbona ti awọn ọja
• ● Ṣeto ni laini iṣelọpọ, adiro conveyor dara si iṣelọpọ iṣelọpọ pupọ
• ● Iṣakoso ni kikun laifọwọyi
• ● Iyara gbigbe jẹ adijositabulu ati pe o le rii ilana itọju pupọ
• ● Ni ipese pẹlu oluyipada igbohunsafẹfẹ, ina igi, silinda, ati bẹbẹ lọ.
• ● Fifuye aifọwọyi ati eto igbasilẹ lati sopọ pẹlu ohun elo oke ati isalẹ

Awọn iyẹwu 9 naa ni iṣakoso ominira ati pin ipin kan ti eto igbale. O dara fun gbogbo iru awọn ohun elo irin, anaerobicanaerobic, awọn ohun elo aise kemikali, awọn irin iyebiye, lulú irin ati awọn ohun elo miiran ti o lagbara, lulú, lẹẹ, omi, awọn ọja itanna

• ● 9-Chambers adaduro iṣakoso
• ● Fipamọ awọn ọja fun igba diẹ lakoko ilana iṣelọpọ ti awọn ẹrọ itanna, awọn ẹrọ optoelectronic, awọn eerun semikondokito ati awọn ẹrọ miiran lati ṣe idiwọ ifoyina.
• ● Min.50 si 5 * 10-5Pa igbale
• ● Ayẹwo kooduopo lati tọju alaye ọja

Dara fun apakan eto iṣakojọpọ semikondokito tabi idanwo ni lab, fun imularada resini.

Olona-iyẹwu adiro nlo iwọn-giga petele air recirculation eto eyi ti o maximizes otutu uniformity ati iṣẹ.

• ● Wa fun akojọpọ iyẹwu 2/3/4/6 (Iṣakoso imurasilẹ fun iyẹwu kọọkan)
• ● Fifipamọ aaye fifi sori ẹrọ
• ● Ibanujẹ petele

GZ-RTP-SM-12 jẹ eto sisẹ igbona iyara ologbele-laifọwọyi ti a lo fun alapapo 4-12 inch wafer kan
O pọju. Iwọn otutu. 1250℃
O pọju. 4 gaasi ila

• ● Dara fun itọju igbona ti awọn ọja
• ● Ṣeto ni laini iṣelọpọ, adiro conveyor dara si iṣelọpọ iṣelọpọ pupọ
• ● Iṣakoso ni kikun laifọwọyi
• ● Iyara gbigbe jẹ adijositabulu ati pe o le rii ilana itọju pupọ
• ● Ni ipese pẹlu oluyipada igbohunsafẹfẹ, ina igi, silinda, ati bẹbẹ lọ.
• ● Fifuye aifọwọyi ati eto igbasilẹ lati sopọ pẹlu ohun elo oke ati isalẹ

Ohun elo naa jẹ akọkọ ti iyẹwu igbale ati ipese agbara pilasima igbohunsafẹfẹ giga, eto igbale, eto afikun, eto iṣakoso laifọwọyi ati awọn ẹya miiran. Ilana ipilẹ ti iṣẹ naa wa ni ipo igbale, lilo awọn ifasoke igbale lati ṣe igbale ile-iṣere lati ṣaṣeyọri igbale ti 0.15-0.3 mbar, ati lẹhinna ninu ipa ti olupilẹṣẹ igbohunsafẹfẹ giga, gaasi yoo jẹ ionized, didasilẹ pilasima (ipo kẹrin ti ọrọ), ati lẹhinna lilo pilasima lori dada ti itọju iṣẹ-ṣiṣe.

• ● Ẹrọ mimu-ẹrọ Plasma
• ● O le ṣee lo nigbagbogbo ni agbegbe iṣelọpọ lati sọ di mimọ ati mu dada awọn ẹya ti o ni apẹrẹ ti ko dara
• ● Iyẹwu igbale

GZ sare kekere ọriniinitutu ẹri minisita adopts awọn titun igbegasoke dehumidification module. O le de ọdọ ọriniinitutu ni isalẹ 5% RH. Ọja naa rọrun lati ṣiṣẹ. A ṣe iṣeduro ni pataki fun gbogbo iru awọn ẹya itanna, awọn kamẹra, awọn kamẹra, awọn ohun elo yàrá gbogbogbo, awọn microscopes, awọn ohun elo ati awọn kemikali, ati bẹbẹ lọ lati ṣe idiwọ mimu ati imuwodu.

Awọn apoti ohun ọṣọ ESD jẹ ohun elo to ṣe pataki ni eyikeyi agbegbe nibiti a ti ṣakoso awọn paati itanna ifura, ni idaniloju igbesi aye gigun ati iṣẹ wọn nipa aabo wọn lati awọn ipa ti o le bajẹ ti ina aimi. Inu ilohunsoke ti minisita ti wa ni igba ila pẹlu ESD-ailewu ohun elo, gẹgẹ bi awọn egboogi-aimi foomu tabi conductive ṣiṣu bins, lati pese afikun aabo fun awọn ti o ti fipamọ awọn ohun kan.

Awọn apoti ohun ọṣọ Nitrogen le ṣe iranlọwọ lati ṣakoso idoti lati eruku, awọn patikulu, ati awọn aimọ miiran ti o le ni ipa iṣẹ ati igbẹkẹle ti semicon ati iṣelọpọ itanna. Ayika nitrogen mimọ n ṣetọju mimọ ti awọn paati ati awọn ipele lakoko awọn ilana iṣelọpọ. Fun awọn iṣẹlẹ ni kilasi 100 (ISO 5) agbegbe mimọ, digi alagbara, irin ti o gbẹ minisita ni kikun ni a lo lati tọju awọn paati ati awọn ohun elo deede.

Ohun elo minisita nitrogen alagbara, irin jẹ ojutu ibi ipamọ amọja ti a ṣe apẹrẹ lati daabobo awọn paati ifura ati awọn ohun elo lati ifoyina ati ibajẹ ọrinrin nipasẹ mimuduro oju-aye afẹfẹ inert. Awọn apoti ohun ọṣọ irin alagbara ti a ṣe lati didara irin alagbara 304 ti o ga julọ, eyiti o funni ni idena ipata ti o dara julọ ati rọrun lati nu. Ipari mirrored kii ṣe pese irisi ode oni nikan ṣugbọn tun ṣe itọju mimọ ati itọju. Ipari dada giga ati irọrun-si-mimọ ti awọn apoti ohun ọṣọ wọnyi jẹ ki wọn dara fun awọn agbegbe mimọ, pẹlu diẹ ninu awọn awoṣe paapaa pade boṣewa mimọ ti Kilasi 100

Irin alagbara, irin nitrogen minisita ti wa ni commonly lo ninu awọn semikondokito, photonics ati FPD ile ise, pataki awọn ohun elo ibi ipamọ ati ẹrọ itanna apa lati se ifoyina, ikọlu ti awọn ajeji ara ati ọriniinitutu iṣakoso ni kan ti o mọ ayika.

A ṣe apẹrẹ minisita fun fifuye ti o pọju ati agbara, irin alagbara, irin nitrogen minisita ti fi sori ẹrọ pẹlu agbawole nitrogen lati wẹ agbegbe iṣẹ, ki o le daabobo awọn ohun ipamọ lati jẹ oxidized, gbogbo minisita gbigbẹ N2 jẹ nipasẹ SUS # 304.

Nipa mimu awọn ipele ọriniinitutu kekere, awọn apoti ohun ọṣọ nitrogen ṣe iranlọwọ lati dinku ifihan ọrinrin lakoko ibi ipamọ ati sisẹ awọn paati IC. O le mu didara apapọ solder pọ si nipa idinku ifoyina ati aridaju mimọ, awọn asopọ igbẹkẹle. Eyi ṣe pataki fun idilọwọ ibajẹ, delamination, tabi awọn abawọn ti o ni ibatan ọrinrin ti o le ni ipa igbẹkẹle ti awọn idii IC.

• ● Iwọn Ọriniinitutu: 1-60% RH
• ● Agbara: 500/1020/1250/1510Liter
• ● ESD Ailewu