تُصنّف عملية التسخين الخفيف في تصنيع أشباه الموصلات ضمن فئة العمليات الحرارية المعروفة باسم التسخين اللاحق للتطبيق (PAB) أو التسخين المسبق للتعريض. وتُستخدم عادةً أفران الحمل الحراري أو الصفائح الساخنة في هذه العملية. توفر أفران الحمل الحراري بيئة تسخين متجانسة للرقاقة لتبخير المذيبات من طبقة المقاوم الضوئي.
توفر الألواح الساخنة تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة وتسخينًا مباشرًا لضمان إزالة المذيبات وتعزيز الالتصاق.