تُعدّ أفران التفريغ مثاليةً لإزالة الماء المتبقي والمذيبات والمركبات المتطايرة الأخرى من المنتجات الحساسة للحرارة. ويعتمد مبدأ عملها أساسًا على إزالة الجزيئات غير المرغوب فيها عن طريق خفض الضغط داخل الفرن (خلق فراغ). فعندما يصل ضغط الفرن إلى ضغط البخار المطلوب للملوثات، تتبخر هذه الجزيئات وتتحول إلى بخار، ثم تُزال من جميع أجزاء المنتج. ويتم هذا التجفيف دون استخدام حرارة زائدة، مما يجعل التجفيف بالتفريغ مناسبًا للمواد التي تتلف أو تتغير عند تعرضها لدرجات حرارة عالية. كما يقلل التجفيف بالتفريغ من خطر الترسّب وتكوّن رواسب الأكسدة. وتُستخدم أفران التفريغ ذات درجات الحرارة العالية عادةً للمنتجات غير المقاومة للحرارة والحساسة لها. ويُستخدم هذا النوع من الأفران على نطاق واسع في أشباه الموصلات وأنظمة MEMS والإلكترونيات.