فرن المعالجة الحرارية السريعة شبه الأوتوماتيكي

GZ-RTP-SM-12 هو نظام معالجة حرارية رأسية سريعة شبه آلي. يستخدم النظام إشعاعًا مرئيًا عالي الكثافة لتسخين رقاقة/عينة واحدة بقياس 4-12 بوصة لفترات معالجة قصيرة في درجات حرارة مُتحكم فيها بدقة. تتراوح فترات المعالجة عادةً بين 1 و600 ثانية، مع إمكانية اختيار فترات تصل إلى 9999 ثانية. هذه الإمكانيات، بالإضافة إلى تصميم جدار غرفة التسخين البارد وتجانس التسخين الفائق، تُوفر مزايا كبيرة مقارنةً بمعالجة الأفران التقليدية.

1. تسخين مصباح الهالوجين عالي الكثافة للإشعاع المرئي لمعدلات تسخين سريعة
2. ضوء الأشعة تحت الحمراء المشتت بواسطة سطح حجرة الألومنيوم المطلي بالذهب الخاص
3. حزمة برامج متقدمة مع تقنيات التحكم في الوقت الفعلي والعديد من الوظائف المفيدة
4. الظروف الجوية أو الفراغية قابلة للإغلاق
5. خطي غاز قياسيين، يمكن توسيعهما إلى ما يصل إلى ستة خطوط غاز مع وحدات التحكم الدقيقة وصمامات الإغلاق
6. يتدفق غاز النيتروجين (أو CDA) المبرد حول المصابيح وأنبوب عزل الكوارتز لمعدلات تبريد سريعة
7. يعتمد تدابير السلامة الثلاثية لحماية فتح الباب وحماية سلطة فتح منظم الحرارة وحماية التوقف في حالات الطوارئ لضمان سلامة الجهاز.
8. الحد الأقصى للرقاقة 12 بوصة (300 × 300 مم)

■ التلدين الحراري السريع (RTA)
■ أكسيد، نمو النيتريد
■ عملية الزرنيخ
■ تسخين الغرسة
■ التلدين بالتلامس الأومي (III-V و SiC)
■ الأكسدة الحرارية السريعة (RTO)
■ النترتة الحرارية السريعة (RTN)
■ السلينات (خلايا CIGS الشمسية)
■ الترسيب الكيميائي للبخار للجرافين ونيتريد البورون السداسي (h-BN)
■ التلدين الحراري للبوليمرات وما إلى ذلك.