فرن معالجة حرارية سريع شبه أوتوماتيكي

نظام GZ-RTP-SM-12 هو نظام معالجة حرارية عمودية شبه أوتوماتيكية وسريعة. يستخدم النظام إشعاعًا مرئيًا عالي الكثافة لتسخين رقائق السيليكون/العينات المفردة التي يتراوح قطرها بين 4 و12 بوصة لفترات معالجة قصيرة عند درجات حرارة مضبوطة بدقة. تتراوح مدة المعالجة عادةً بين ثانية واحدة و600 ثانية، مع إمكانية اختيار فترات تصل إلى 9999 ثانية. توفر هذه الإمكانيات، بالإضافة إلى تصميم غرفة التسخين ذي الجدران الباردة وتجانس التسخين الفائق، مزايا كبيرة مقارنةً بمعالجة الأفران التقليدية.

1. تسخين سريع باستخدام مصباح هالوجين ذي إشعاع مرئي عالي الكثافة
2. ضوء الأشعة تحت الحمراء المتناثر بواسطة سطح غرفة الألومنيوم المطلي بالذهب
3. حزمة برامج متطورة مزودة بتقنيات تحكم في الوقت الحقيقي والعديد من الوظائف المفيدة
4. يمكن إغلاق ظروف الغلاف الجوي أو الفراغ
5. خطان غاز قياسيان، ويمكن توسيعهما ليصل إلى ستة خطوط غاز باستخدام وحدات التحكم في تدفق الغاز وصمامات الإغلاق.
6. يتدفق غاز التبريد N2 (أو CDA) حول المصابيح وأنبوب العزل المصنوع من الكوارتز لتحقيق معدلات تبريد سريعة
7. يعتمد إجراءات السلامة الثلاثية المتمثلة في حماية فتح الباب، وحماية سلطة فتح منظم الحرارة، وحماية إيقاف الطوارئ لضمان سلامة الجهاز.
8. أقصى حجم للرقاقة: 12 بوصة (300 × 300 مم)

■ التلدين الحراري السريع (RTA)
■ نمو الأكسيد والنيتريد
■ عملية التَأْسْنِت
■ تلدين الزرعات
■ التلدين الأومي (III-V و SiC)
■ الأكسدة الحرارية السريعة (RTO)
■ النترجة الحرارية السريعة (RTN)
■ السيلنة (الخلايا الشمسية CIGS)
■ الترسيب الكيميائي للبخار للجرافين و h-BN (نيتريد البورون السداسي)
■ التلدين الحراري للبوليمرات وما إلى ذلك.