فرن تفريغ عالي أوتوماتيكي أحادي الرقاقة

2.1 وضع التحكم: إنشاء بيئة خالية من الأكسجين عن طريق دورة التفريغ وملء النيتروجين، وترتيب مكونات التسخين على الجدار الخارجي للفرن، وتسخين الجزء الداخلي من الفرن عن طريق التسخين الإشعاعي لتحقيق الغرض من الخبز الخالي من الأكسجين والغبار.

2.2 يتم التحكم في الحجرات بشكل مستقل وتعمل بشكل مستقل.

2.3 يعتمد نظام الفراغ في هذا النظام على مضخة حلزونية جافة؛

2.4 عدد الحجرات

2.5 ظروف الفراغ

1) الحد من الفراغ:1البئر - 10^-4حسنًا.

2) متطلبات سرعة الضخ: يجب أن تكون درجة فراغ الحجرة 10^-4خبز 25دقيقة.

2.6 نظام التدفئة ودرجة خالية من الغبار

1) نطاق درجة الحرارة: درجة الحرارة العادية +25 درجة مئوية - 250 درجة مئوية.

2) في غضون 30 دقيقة من درجة حرارة الغرفة إلى 200 درجة مئوية؛

3) فيباستخدام التبريد بالماء، معدل تبريد 40 دقيقة أو أقل من درجة حرارة الغرفة إلى أقل من 60 درجة مئوية؛

4) دقة التحكم في درجة الحرارة ± 1 درجة مئوية، وتجانس درجة الحرارة ± 2% ℃؛

5) درجة خالية من الغبار: الفئة 100؛

2.7 تدابير الحماية: يقوم الجهاز بعرض وتسجيل درجة الحرارة والفراغ في كل حجرة في الوقت الفعلي، ويمكنه الاستعلام عن البيانات التاريخية وتصدير البيانات، على ألا تقل البيانات التاريخية عن 30 يومًا؛

2.8 وظيفة البرنامج:

1) حجرة لفتح وإغلاق الباب، والتحكم في وظائف التدفئة والتفريغ؛

2) مع أداء ربط الباركود والتجويف، والاستجابة لبيانات الخبز للربط والتخزين؛

3) يتم إدخال الرمز الشريطي يدويًا أو إرساله عن طريق اتصال النظام في مرحلة لاحقة؛

4) عرض حالة تشغيل المعدات، وعرض معلومات الإنذار؛

5) إعداد الوصفات واستدعائها وتخزينها، والتحقق من منحنى درجة الحرارة وتسجيل وقت درجة الحرارة، وتسجيل حالة الفراغ، وتسجيل الأعطال، وتسجيل العمليات، وما إلى ذلك؛

6) الإدارة الهرمية للسلطة (ثلاثة مستويات: المشغل، والمهندس، والمسؤول الإداري)

2.9 إعدادات السلامة

تصميم السلامة الكهربائية والميكانيكية الشاملة، بما يتماشى مع معايير SEMI.

1) التعشيق

يعتمد الصندوق الكهربائي على تصميم أمان للوصلات الميكانيكية، ويجب فصل الطاقة قبل فتح الصندوق.

2) مفتاح إيقاف الطوارئ EMS

مفتاح إيقاف الطوارئ عبارة عن زر ضغط على شكل فطر، لونه أحمر، وكتابته سوداء، وحلقة التوجيه صفراء. يجب إعطاء الأولوية لمفتاح إيقاف الطوارئ بغض النظر عن نوع وضع التشغيل. في حالة إيقاف الطوارئ لهذا الجهاز، يفتح الفرن الباب مع تخفيف الضغط ويتوقف التسخين.

3) السلامة

آلية فتح وإغلاق الباب مخفية داخل تجويف الفرن، مما يقلل من الأجزاء الظاهرة منها لتجنب أي مخاطر ميكانيكية. لا تتجاوز درجة حرارة سطح الفرن درجة حرارة الغرفة + 5 درجات مئوية، ولا تتجاوز درجة الحرارة عند فجوة الباب درجة حرارة الغرفة + 15 درجة مئوية.

4) تدابير الحماية

حماية من التسرب، حماية من الحمل الزائد، حماية مستقلة من ارتفاع درجة الحرارة، استشعار وإنذار ضغط الغاز، استشعار وإنذار ضغط الماء، إلخ.

يعتمد نظام التحكم على لوحة تحكم تعمل باللمس ووحدة تحكم قابلة للبرمجة (PLC). ويمكنه تحقيق التحكم المركزي المتكامل في جميع المكونات الكهربائية، وله وضعان للتحكم: يدوي وتلقائي.

يُتيح نظام التحكم مراقبة وضبط مستوى الفراغ ودرجة الحرارة في كل حجرة، بالإضافة إلى إمكانية نفخ وتفريغ كل حجرة تلقائيًا. ويُثبّت نظام التحكم بالكامل داخل الخزانة الرئيسية، مما يُسهّل عملية التشغيل.

4.1 مساحة الأرضية: 1200 × 1500 × 1200 مم (العرض × الارتفاع × العمق) تقريبًا

4.2 مصدر الطاقة: 380 فولت، 50 هرتز، 9 كيلو واط، ثلاثي الأطوار بخمسة أسلاك؛

4.3 النيتروجين: موصل سريع المدخل 10 مم، الحد الأدنى 40 لتر/دقيقة، ضغط الغاز 0.3-0.5 ميجا باسكال، نقاء 99.999%، النيتروجين النظيف لا يحتوي على مواد جسيمية؛

4.4 الماء البارد: معدل التدفق 20 لتر/دقيقة، قطر السلك الخارجي 1/2 بوصة، يجب أن يكون التصريف سلسًا بدون تصريف ضغط.

4.5 غاز العادم: غاز عادم ساخن جداً، قطر الأنبوب 60 مم؛

4.6 الوزن التقديري: 350 كجم

4.7 التأريض: مقاومة التأريض الواقية للغلاف ≤ 1أوه

4.8 التفريغ: يتحمل جانب الطلب مسؤولية التفريغ وتوفير المعدات اللازمة لفك الصندوق

4.9 بيئة التركيب: مصنع نظيف من الدرجة 10000، درجة الحرارة المحيطة: 20 ~ 30 درجة مئويةالرطوبة المحيطة: ≤ رطوبة نسبية 85%، لا توجد مواد قابلة للاشتعال أو متفجرة في الجوار، لا اهتزازات قوية، لا مجال كهرومغناطيسي قوي، لا تركيز عالٍ من المسحوقيجب وضع الجهاز في مكان خالٍ من المواد المسببة للتآكل، وأشعة الشمس المباشرة، وأي إشعاع حراري مباشر آخر. كما يجب وضعه أفقيًا في غرفة اختبار جيدة التهوية، مع ترك مسافة لا تقل عن 1.5 متر حوله للصيانة.

5.1 البيانات الفنية: النسخة الصينية من كتيب البيانات (ورقي + ملفات إلكترونية، بما في ذلك كتيبات التعليمات، وإرشادات الصيانة اليومية، ومخططات الدوائر الكهربائية).

5.2 تقرير الفحص: تقرير فحص المصنع (ورقي، يتضمن مؤشرات المعلمات التفصيلية والبيانات الفعلية)