فرن تفريغ عالي أوتوماتيكي أحادي الرقاقة
معدات خبز صغيرة، تصل درجة حرارتها القصوى إلى 250 درجة مئوية، تستخدم الفراغ والنيتروجين معًا لتوفير بيئة خالية من الأكسجين، لخبز رقاقة واحدة، مما يجعلها مناسبة للتطبيقات ذات الكميات الصغيرة. تشمل التطبيقات النموذجية لهذا النظام تلدين السيليكون، وتلدين النحاس، وتلدين الألومنيوم، وتلدين العوازل الكهربائية منخفضة الثابت العازل، وخبز وتجفيف المقاوم الضوئي، وغيرها.
فرن تفريغ عالي الحرارة
تُعدّ أفران التفريغ مثاليةً لإزالة الماء المتبقي والمذيبات والمركبات المتطايرة الأخرى من المنتجات الحساسة للحرارة. ويعتمد مبدأ عملها أساسًا على إزالة الجزيئات غير المرغوب فيها عن طريق خفض الضغط داخل الفرن (خلق فراغ). فعندما يصل ضغط الفرن إلى ضغط البخار المطلوب للملوثات، تتبخر هذه الجزيئات وتتحول إلى بخار، ثم تُزال من جميع أجزاء المنتج. ويتم هذا التجفيف دون استخدام حرارة زائدة، مما يجعل التجفيف بالتفريغ مناسبًا للمواد التي تتلف أو تتغير عند تعرضها لدرجات حرارة عالية. كما يقلل التجفيف بالتفريغ من خطر الترسّب وتكوّن رواسب الأكسدة. وتُستخدم أفران التفريغ ذات درجات الحرارة العالية عادةً للمنتجات غير المقاومة للحرارة والحساسة لها. ويُستخدم هذا النوع من الأفران على نطاق واسع في أشباه الموصلات وأنظمة MEMS والإلكترونيات.
فرن فراغ فائق العلو
يتميز فرن التفريغ العالي بأرفف مُسخّنة مباشرةً قابلة للبرمجة لتسخينها حتى 300 درجة مئوية. يمكن لحجرته تفريغ الهواء بسهولة إلى 10⁻⁶ تور، وذلك بفضل مضخة توربينية مدعومة بمضخة حلزونية جافة (دون أي مشكلة في ارتداد الزيت). على الرغم من سرعة التسخين، إلا أن عملية التبريد قد تستغرق وقتًا طويلاً (عدة ساعات). وللحفاظ على الأسطح الداخلية من الأكسدة المفرطة، لا يمكن تهوية الحجرة إلا بعد انخفاض درجة حرارة الأرفف إلى أقل من 100 درجة مئوية. يتم تهوية الحجرة بالنيتروجين. يمكن إجراء تهوية جزئية إذا لزم تبريد العينة تمامًا إلى درجة حرارة الغرفة في جو من النيتروجين. يحتوي الفرن على رفّين بقياس 280 مم × 280 مم تقريبًا، وصينيتين من الألومنيوم مصممتين خصيصًا. يمكنه خبز ثماني رقائق سيليكون بقطر 4 بوصات في المرة الواحدة. لا يحتوي الفرن على نوافذ، لذا يمكن خبز الأجزاء الحساسة للضوء بشرط تغليفها بورق الألمنيوم قبل إدخالها إلى الحجرة.
فرن تجفيف بالتفريغ ذو درجة حرارة عالية
- ● التجفيف بالتفريغ لإزالة الرطوبة والمذيبات من مواد الأقطاب الكهربائية.
- ● درجة الحرارة القصوى 300 درجة مئوية/400 درجة مئوية اختيارية
- ● نطاق تشغيل الفراغ من 101 كيلو باسكال إلى 1 باسكال ● متوفر بثلاثة أحجام، سعة كبيرة
فرن تجفيف بالتفريغ ذو درجة حرارة عالية
فرن تجفيف بالتفريغ كبير مصمم لجميع أنواع أغراض التجفيف بالتفريغ.
- ● أقصى درجة حرارة 250 درجة مئوية
- ● نطاق تشغيل الفراغ 101 كيلو باسكال - 0.1 كيلو باسكال
يُعد هذا الفرن مثاليًا لإزالة الماء المتبقي والمذيبات والمركبات المتطايرة الأخرى من المنتجات الحساسة للحرارة. سيتم تركيب مضخة تفريغ في الجزء السفلي من الفرن لتوفير مساحة التركيب، وذلك باستخدام أنابيب ذات وصلات سريعة. يُستخدم هذا النوع من الأفران على نطاق واسع في المختبرات، ومصانع أشباه الموصلات، وأنظمة MEMS، والمجال الإلكتروني.
خزانة تخزين عالية الفراغ
تُتحكم الحجرات التسع بشكل مستقل وتتشارك في نظام تفريغ واحد. وهي مناسبة لجميع أنواع المواد المعدنية، والمواد الكيميائية الخام، والمعادن الثمينة، ومساحيق المعادن، وغيرها من المنتجات الصلبة والمسحوقة والمعجونية والسائلة والإلكترونية.
- ● وحدة تحكم مستقلة ذات 9 غرف
- ● تخزين المنتجات مؤقتًا أثناء عملية إنتاج الأجهزة الإلكترونية، والأجهزة الكهروضوئية، ورقائق أشباه الموصلات، وغيرها من الأجهزة لمنع الأكسدة.
- ● الحد الأدنى للفراغ من 50 إلى 5 × 10⁻⁵ باسكال
- ● ماسح ضوئي للباركود لتخزين معلومات المنتج

