Полуавтоматична пещ за бърза термична обработка

GZ-RTP-SM-12 е полуавтоматична вертикална система за бърза термична обработка. Системата използва високоинтензивно видимо лъчение за нагряване на единични пластини/образци с размер 4-12 инча за кратки периоди от време при прецизно контролирани температури. Периодите на обработка обикновено са с продължителност 1-600 секунди, въпреки че могат да се изберат периоди до 9999 секунди. Тези възможности, комбинирани с дизайна на студените стени на нагревателната камера и превъзходната равномерност на нагряването, осигуряват значителни предимства пред конвенционалната обработка в пещ.

1. Високоинтензивно нагряване с халогенна лампа с видимо лъчение за бързо нагряване
2. Разсеяна инфрачервена светлина от специална позлатена Al камера
3. Усъвършенстван софтуерен пакет с технологии за управление в реално време и много полезни функции
4. Атмосферните или вакуумните условия са затваряеми
5. Стандартни две газопроводи, могат да бъдат разширени до шест газопроводи с MFC и спирателни вентили
6. Охлаждащият N2 (или CDA) протича около лампите и кварцовата изолационна тръба за бързо охлаждане
7. Приема тройните мерки за безопасност - защита при отваряне на вратата, защита при отваряне на термостата и защита при аварийно спиране, за да гарантира безопасността на инструмента.
8. Макс. 12-инчова пластина (300 * 300 мм)

■ Бързо термично отгряване (RTA)
■ Растеж на оксиди и нитриди
■ Процес на арсенитизация
■ Отгряване на импланти
■ Омично контактно отгряване (III-V и SiC)
■ Бързо термично окисление (RTO)
■ Бърза термична азотна обработка (RTN)
■ Селенизация (слънчеви клетки CIGS)
■ CVD на графен и h-BN (хексагонален боров нитрид)
■ Термично отгряване на полимери и др.