
Автоматична вакуумна пещ за единични пластини
Малко оборудване за печене, с максимална температура от 250 ℃, използващо комбинирана функция на вакуум и азот, за да се създаде безкислородно, еднократно печене на парче пластина, подходящо за малки партиди приложения. Типични приложения на тази система включват SOG отгряване, отгряване на мед, отгряване на алуминий, ниско-k диелектрично отгряване и фоторезистно печене, сушене и т.н.
Кратко въведениепродукт
Малко оборудване за печене, с максимална температура от 250 ℃, използващо комбинирана функция на вакуум и азот, за да се създаде безкислородно, еднократно печене на парче пластина, подходящо за малки партиди приложения. Типични приложения на тази система включват SOG отгряване, отгряване на мед, отгряване на алуминий, ниско-k диелектрично отгряване и фоторезистно печене., сушене и т.н..
● Съвместими вакуумни и екологични контроли
● Работен диапазон на вакуума 1Добре - 10-4Pa, максимален вакуум 10-5добре.
● Ниско остатъчно съдържание на O2 (
● Работен температурен диапазон: стайна температура +25°C -250°C.
● Лесна работа, работа с фиксирана стойност, програмна работа, бързо автоматично спиране, автоматично спиране, автоматично стартиране.
● Контролът на температурата е PID режим с тъчскрийн, тип „единична точка“ или програмен контрол на температурата, може да се изчислява автоматично и да показва PV/SV едновременно, настройка чрез точково докосване, с функция за памет (напр. температура, време).
● Сложни програми могат да се изпълняват според техническите изисквания.
● С верига за самодиагностика (аномалия в температурния сензор, изключване на нагревателя, автоматично предотвратяване на превишаване, късо съединение на SSR), предпазител от превишаване, превключвател за защита от течове за предотвратяване на претоварване по ток, заключване на ключа и други функции за безопасност.
● Режим на автоматично управление на вакуума, достигане на степен на вакуум, за да се спре вакуумирането, под долната граница на автоматично стартиране, така че цикълът на работа, времето за постоянна температура е завършен, спиране на работата; ръчно напомпване без налягане или пълнене с азот.

Основна конфигурация и принцип на работа на систематапродукт
2.1 Режим на управление: създаване на среда без кислород чрез вакуумиране и цикъл, изпълнен с азот, и подреждане на нагревателни компоненти на външната стена на фурната, а вътрешността на фурната се загрява чрез лъчисто отопление, за да се постигне целта на печене без кислород и прах.
2.2 Камерите са независимо управлявани и работят независимо.
2.3 Вакуумната система на тази система използва помпа със суха спирала;
2.4 Брой камери
| Компонент | Спецификации | Количество |
| Вакуумна камера | Работен размер:Ш400мм*В60мм*Д400мм | 1 |
2.5 Вакуумни условия
1) Ограничен вакуум:1Добре - 10-4Ами.
2) Изискване за скорост на изпомпване: степента на вакуум в камерата трябва да бъде 10-4Хляб 25мин.
2.6 Отоплителна система и безпрахова степен
1) Температурен диапазон: Нормална температура +25℃-250℃.
2) В рамките на 30 минути от стайна температура до 200 ℃;
3) ВОхлаждане с водно охлаждане, скорост на охлаждане от 40 минути или по-малко от стайна температура до 60 ℃;
4) точност на контрол на температурата ± 1 ℃, равномерност на температурата ± 2% ℃;
5) Безпрахов клас: Клас 100;
2.7 Мерки за защита: устройството показва в реално време и записва температурата и вакуума на всяка камера, може да проверява исторически данни и да експортира данни, като историческите данни са не по-малко от 30 дни;
2.8 Функция на софтуера:
1) Камера за отваряне и затваряне на вратата, управление на отоплението и вакуумната функция;
2) С баркод и производителност на свързване в кухината, отговор на данните за печене за свързване и съхранение;
3) Баркодът се въвежда ръчно или се изпраща чрез системната комуникация на по-късен етап;
4) Дисплей за работно състояние на оборудването, дисплей за информация за алармата;
5) Задаване, извикване и съхраняване на рецепти, проверка на температурната крива и записа на температурното време, запис на състоянието на вакуума, запис на повреди, запис на работа и др.;
6) йерархично управление на властта (три нива: оператор, инженер, администратор)
2.9 Конфигурация за безопасност
Цялостно проектиране за електрическа и механична безопасност, в съответствие със стандартите SEMI.
1) Блокиране
Електрическата кутия е с механична конструкция за безопасност и захранването трябва да се изключи преди отваряне на кутията.
2) Авариен стоп превключвател EMS
Аварийният стоп превключвател е с форма на гъба, червен, черен шрифт, водещият пръстен е жълт, без значение какъв режим трябва да се използва, аварийният стоп превключвател трябва да бъде приоритетен. Състоянието на аварийно спиране на това оборудване е, че фурната отваря вратата с освобождаване на налягането и нагряването спира.
3) Безопасност
Механизмът за отваряне и затваряне на вратата е скрит във вътрешността на фурната, което намалява видимостта на механизма, за да се избегне механичен риск. Температурата на повърхността на фурната не е по-висока от стайната температура +5℃, а температурата на процепа на вратата не е по-висока от стайната температура +15℃.
4) Мерки за защита
Защита от течове, защита от претоварване, независима защита от прегряване, сензор и аларма за налягане на газ, сензор и аларма за налягане на водата и др.
Система за управлениепродукт
Системата за управление използва сензорен панел и програмируем контролер (PLC). Тя може да реализира централизирано интегрирано управление на всички електрически компоненти и има два режима на управление: ръчен и автоматичен.
Системата за управление може да осъществява мониторинг и контрол на степента на вакуум и температурата на всяка камера, както и автоматично напомпване и изпускане на въздуха от всяка камера. Цялата система за управление е инсталирана в главния шкаф, което е удобно за работа.
Условия за монтаж на оборудванепродукт
4.1 Площ на пода: приблизително 1200*1500*1200 (Ш*В*Д) мм
4.2 Захранване: 380V, 50Hz, 9Kw, трифазно петжилно;
4.3 Азот: входен бърз конектор 10 мм, мин. 40 л/мин, налягане на газа 0,3-0,5 Mpa, чистота 99,999%, чистият азот не съдържа твърди частици;
4.4 Студена вода: дебит 20 л/мин, външна тел с калибър 1/2 инча, дренажът трябва да е плавен, без изпускане под налягане.
4.5 Отработени газове: горещи отработени газове, диаметър на тръбата 60 мм;
4.6 Приблизително тегло: 350 кг
4.7 Заземяване: съпротивление на защитното заземяване на корпуса ≤ 1Ох
4.8 Разтоварване: страната на търсенето е отговорна за разтоварването и осигуряването на оборудване за разопаковане на кутията
4.9 Монтажна среда: чиста инсталация, клас на чистота Class10000, температура на околната среда: 20 ~ 30 ℃, влажност на околната среда: ≤ 85% относителна влажност. Няма запалими, експлозивни вещества наоколо, няма силни вибрации, няма силно електромагнитно поле, няма висока концентрация на прах.d корозивни вещества, без пряка слънчева светлина или друго директно топлинно излъчване. Оборудването трябва да се постави хоризонтално в добре проветриво помещение за изпитване, оставяйки поне 1,5 метра пространство наоколо за поддръжка.
Техническа информацияпродукт
5.1 Технически данни: Китайска версия на информационната брошура (хартиени + електронни файлове, включително ръководства за употреба, насоки за ежедневна поддръжка, електрически схеми).
5.2 Доклад от инспекция: доклад от инспекция във фабриката (на хартия, включително подробни показатели за параметри и действителни данни)
Услугапродукт
GMS Industrial разполага с екип за пазари, продажби, техническо обслужване и мрежа, за да предостави на клиентите и дилърите цялостни предпродажбени, по време на продажбата и следпродажбено обслужване. Можете да се свържете с нас, ако имате въпроси и изисквания.
24 часа онлайн. Съобщенията ще бъдат отговорени веднага щом бъдат получени.
