Вакуумна фурна
Автоматична вакуумна пещ за единични пластини
Малко оборудване за печене, с максимална температура от 250 ℃, използващо комбинирана функция на вакуум и азот, за да се създаде безкислородно, еднократно печене на парче пластина, подходящо за малки партиди приложения. Типични приложения на тази система включват SOG отгряване, отгряване на мед, отгряване на алуминий, ниско-k диелектрично отгряване и фоторезистно печене, сушене и т.н.
Вакуумна фурна с висока температура
Вакуумните пещи са идеални за отстраняване на остатъчна вода, разтворители или други летливи съединения от температурно чувствителни продукти. Принципът на действие е основно да се отстранят нежеланите молекули чрез понижаване на налягането във пещта (създаване на вакуум). Когато налягането във пещта достигне желаното налягане на парите на замърсителите, тези молекули замърсители се изпаряват, превръщат се в пари и се отстраняват от всички области на продукта. Това сушене се осъществява без използване на прекомерна топлина. Това прави вакуумното сушене подходящо за материали, които се повредят или променят, ако са изложени на високи температури. Вакуумното сушене също така минимизира риска от образуване на котлен камък и окислителни остатъци. Вакуумните високотемпературни пещи обикновено се използват за продукти, които не са устойчиви на топлина и са температурно чувствителни. Този тип пещи се използва широко в областта на полупроводниците, MEMS и електрониката.
Ултра висока вакуумна фурна
Високовакуумната пещ разполага с директно нагрявани рафтове, които могат да бъдат програмирани да нагряват до 300°C. Високовакуумната камера може лесно да изпомпва до 10-6 Torr, изпомпвана от турбопомпа, която е подкрепена от помпа със суха спирала (без обратен поток на масло, за който да се притеснявате). Въпреки че се нагрява много бързо, процесът на охлаждане може да бъде бавен (няколко часа). За да се предпазят вътрешните повърхности от прекомерно окисляване, камерата може да се вентилира само след като рафтовете паднат под 100°C. Камерата се вентилира с азот. Възможно е частично вентилиране, ако е необходимо пробата ви да се охлади напълно до околна температура, докато е в азотна атмосфера. Има два рафта с размери приблизително 280 мм x 280 мм и две алуминиеви тави, изработени по поръчка. Тя може да пече осем пластини с размер 10 см едновременно. Няма прозорци, така че чувствителните към светлина части могат да се пекат, стига да са увити във фолио по пътя към камерата.
Високотемпературна вакуумна сушилня
- ● Вакуумно сушене за отстраняване на влагата и разтворителя в електродните материали.
- ● Максималната температура 300℃/400℃ е по избор
- ● Работен диапазон на вакуум 101kPa -1Pa● Предлага се в 3 размера, голям капацитет
Високотемпературна вакуумна сушилня
Голяма вакуумна сушилня, предназначена за всякакви видове вакуумно сушене.
- ● Максимална температура 250℃
- ● Работен диапазон на вакуум 101kPa - 0.1kPa
Тази фурна е идеална за отстраняване на остатъчна вода, разтворители или други летливи съединения от температурно чувствителни продукти. Вакуумната помпа ще бъде инсталирана в долната част на фурната, за да се спести място за монтаж, с бързосъединителни фланцови тръби. Този тип фурна се използва широко в лаборатории, полупроводници, MEMS и електронна област.
Шкаф за съхранение с висок вакуум
9-те камери са независимо контролирани и споделят един комплект вакуумна система. Подходяща е за всички видове метални материали, анаеробно-анаеробни, химически суровини, благородни метали, метален прах и други твърди, прахообразни, пастообразни, течни, електронни продукти.
- ● Автономно управление с 9 камери
- ● Временно съхранявайте продукти по време на производствения процес на електронни устройства, оптоелектронни устройства, полупроводникови чипове и други устройства, за да предотвратите окисляване
- ● Мин. 50 до 5*10⁻⁶Pa вакуум
- ● Скенер за баркодове за съхраняване на информация за продукта