Der automatische Scan-Code-Ofen ist ein multifunktionales, automatisiertes Backgerät. Er verfügt über automatisches Öffnen und Schließen der Tür und ermöglicht so die enge Zusammenarbeit mit fahrerlosen Transportsystemen (AGVs) oder Wafer-Handlern für die automatisierte Materialhandhabung. Gleichzeitig unterstützt er das manuelle Be- und Entladen. Mit vier unabhängigen Kammern, die jeweils mit einem Touchscreen für individuelle Parametereinstellungen ausgestattet sind, erfüllt der Ofen vielfältige Produktionsanforderungen. Eine integrierte Scankammer bindet die Materialien beim Be- und Entladen und ruft automatisch die Backrezepte ab, um die Prozessgenauigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus kann der Ofen zur lokalen Datenspeicherung und -verarbeitung an einen Host-Computer angeschlossen werden und mit dem MES-System kommunizieren, um eine intelligente Produktionssteuerung zu ermöglichen. Dadurch ist er in der Halbleiterindustrie und anderen Bereichen breit einsetzbar und steigert die Produktionseffizienz und Produktqualität.