Vakuumöfen eignen sich ideal zum Entfernen von Restwasser, Lösungsmitteln oder anderen flüchtigen Verbindungen aus temperaturempfindlichen Produkten. Das Funktionsprinzip besteht im Wesentlichen darin, unerwünschte Moleküle durch Absenken des Drucks im Ofen (Erzeugung eines Vakuums) zu entfernen. Sobald der Ofendruck den gewünschten Dampfdruck der Verunreinigungen erreicht, verdampfen diese Moleküle und werden vollständig vom Produkt entfernt. Diese Trocknung erfolgt ohne übermäßige Hitzeeinwirkung. Daher eignet sich die Vakuumtrocknung für Materialien, die durch hohe Temperaturen beschädigt werden oder sich verändern. Zudem minimiert die Vakuumtrocknung das Risiko von Ablagerungen und Oxidationsrückständen. Vakuum-Hochtemperaturöfen werden typischerweise für nicht hitzebeständige und temperaturempfindliche Produkte eingesetzt. Diese Ofenart findet breite Anwendung in der Halbleiter-, MEMS- und Elektronikindustrie.