Inertgasofen

Ein Vakuumlagerschrank dient zur Lagerung von Produkten, die während der Lagerung vor Oxidation geschützt werden müssen. Er kann auch eine Vakuumverpackung ersetzen. Dieser Vakuumlagerschrank besteht aus sechs oder neun unabhängigen Kammern und einem Bedienfeld. Der allgemeine Aufbau ist in der folgenden Abbildung dargestellt. Die Vakuumkammern werden unabhängig voneinander gesteuert und teilen sich ein Vakuumsystem.

Geeignet für die Aushärtung von Halbleiterwafern (Fotolack PI, PBO, BCB), das Backen von Glassubstraten und hochpräzise Glühbehandlungen usw.

Maximale Betriebstemperatur: 360℃, 600℃.
Sauerstoffkonzentration unter 20 ppm.

Die Inertgasöfen von GMS zeichnen sich durch Langlebigkeit und hohe Leistungsfähigkeit aus. Sie eignen sich ideal für industrielle Anwendungen, bei denen Materialien unter kontrollierter Atmosphäre verarbeitet werden, beispielsweise bei der Feuchtigkeitstrocknung, Wafertrocknung, Epoxidharzhärtung und Alterung elektronischer Bauteile. Der GMS-Inertgasofen nutzt ein horizontales Luftumwälzsystem mit hohem Volumenstrom, das für maximale Temperaturhomogenität und optimale Leistung sorgt.

Mit den von GMS angebotenen Inertgasöfen gewährleisten Sie effektives Erhitzen und schützen Ihre Proben gleichzeitig vor Oxidation. Führen Sie Temperaturprüfungen und Wärmebehandlungen sicher und zuverlässig in einer nicht-oxidierenden Umgebung durch – dank Inertgasöfen, die kontrollierbaren und nicht brennbaren Stickstoff (N₂) im Inneren der Kammer zuführen.