Schnelles thermisches Verfahren

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Technische Daten des Zweikammer-Hochtemperatur-Vakuumofens

1510L Trockenschrank

1510L ESD-sicherer Trockenschrank

1250-Liter-Trockenschrank

1250L ESD-sicherer Stickstoffschrank

1250L ESD-sicherer Trockenschrank

1020L Trockenschrank

1020L ESD-sicherer Stickstoffschrank

500-Liter-Stickstoffschrank aus Edelstahl

500-Liter-ESD-sicherer Stickstoffschrank

0102030405

Halbautomatische Schnellthermische Verarbeitung...

05.07.2024

Das GZ-RTP-SM-12 ist ein halbautomatisches, vertikales Schnellthermoverarbeitungssystem zur Erwärmung einzelner 4-12 Zoll Wafer.
Maximale Temperatur 1250℃
Maximal 4 Gasleitungen

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