
Automatischer Hochvakuumofen für Einzelplatten
Eine kleine Aushärtungsanlage mit einer Maximaltemperatur von 250 °C nutzt Vakuum und Stickstoff, um ein sauerstofffreies Aushärtungsverfahren für einzelne Wafer zu ermöglichen. Sie eignet sich für Kleinserien. Typische Anwendungen dieses Systems sind das Aushärnen von SOG-, Kupfer-, Aluminium- und Low-k-Dielektrika sowie das Aushärnen und Trocknen von Fotolacken.
Kurze EinführungProdukt
Eine kleine Aushärtungsanlage mit einer Maximaltemperatur von 250 °C nutzt Vakuum und Stickstoff, um ein sauerstofffreies Aushärtungsverfahren für einzelne Wafer zu ermöglichen. Sie eignet sich für Kleinserien. Typische Anwendungen dieses Systems sind das Aushärnen von SOG-Wafern, Kupfer, Aluminium und Low-k-Dielektrika sowie das Aushärnen von Fotolack., Trocknen und so weiterDie
● Kompatible Vakuum- und Umweltsteuerungen
● Betriebsvakuumbereich 1Gut - 10-4Pa, ultimatives Vakuum 10-5Also.
● Niedriger Rest-O2-Gehalt (
● Betriebstemperaturbereich: Raumtemperatur +25°C -250°C.
● Einfache Bedienung, Festwertbetrieb, Programmbetrieb, schneller automatischer Stoppbetrieb, automatischer Stoppbetrieb, automatischer Startbetrieb.
● Die Temperaturregelung erfolgt über ein Touchscreen-Instrument im PID-Modus, Einzelpunkt- oder Programmtemperaturregelung, automatische Berechnung und gleichzeitige Anzeige von PV/SV, Punkt-Touch-Einstellung, Speicherfunktion (z. B. Temperatur, Zeit).
● Komplexe Programme können gemäß den technischen Anforderungen ausgeführt werden.
● Mit Selbstdiagnoseschaltung (Temperaturmessanomalie, Heizungsabschaltung, automatischer Überhitzungsschutz, SSR-Kurzschluss), Überhitzungsschutz, Leckstromschutzschalter zur Vermeidung von Überstrom, Schlüsselverriegelung und anderen Sicherheitsfunktionen.
● Im Vakuumregelungsmodus erfolgt die automatische Steuerung; bei Erreichen des Vakuumgrades wird der Vakuumvorgang gestoppt, bei Unterschreitung der unteren Grenze startet er automatisch wieder, sodass der Arbeitszyklus abgeschlossen ist; nach Ablauf der Konstanttemperaturzeit stoppt der Betrieb; manuelles Aufblasen ohne Druck oder Befüllen mit Stickstoff.

Grundlegende Konfiguration und Funktionsprinzip des SystemsProdukt
2.1 Steuerungsmodus: Durch Vakuumieren und Stickstoffbefüllen wird eine sauerstofffreie Umgebung geschaffen. Die Heizelemente werden an der Außenwand des Ofens angeordnet, und das Innere des Ofens wird durch Strahlungswärme erwärmt, um ein sauerstoff- und staubfreies Backen zu erreichen.
2.2 Die Kammern werden unabhängig voneinander gesteuert und arbeiten unabhängig voneinander.
2.3 Das Vakuumsystem dieser Anlage verwendet eine Trockenscrollpumpe;
2.4 Anzahl der Kammern
| Komponente | Spezifikationen | Menge |
| Vakuumkammer | Arbeitsgröße:B 400 mm × H 60 mm × T 400 mm | 1 |
2.5 Vakuumbedingungen
1) Vakuum begrenzen:1Gut - 10-4Also.
2) Anforderung an die Pumpgeschwindigkeit: Der Vakuumgrad der Kammer sollte 10 betragen.-4Brot 25min.
2.6 Heizsystem & staubfreie Klasse
1) Temperaturbereich: Normale Temperatur +25℃-250℃.
2) Innerhalb von 30 Minuten von Raumtemperatur auf 200 °C;
3) INmit wassergekühlter Kühlung, Abkühlzeit von 40 Minuten oder weniger von Raumtemperatur auf unter 60 °C;
4) Temperaturregelungsgenauigkeit ± 1 ℃, Temperaturhomogenität ± 2% ℃;
5) Staubfreie Klasse: Klasse 100;
2.7 Schutzmaßnahmen: Das Gerät zeigt in Echtzeit die Temperatur und das Vakuum jeder Kammer an und zeichnet diese auf. Es kann historische Daten abfragen und exportieren, wobei die historischen Daten mindestens 30 Tage umfassen.
2.8 Softwarefunktion:
1) Kammer zur Steuerung der Türöffnung und -schließung sowie der Heiz- und Vakuumfunktion;
2) Mit Barcode- und Kavitätenbindungsleistung, Reaktion auf die Backdaten für die Bindung und Lagerung;
3) Der Barcode wird entweder manuell eingegeben oder zu einem späteren Zeitpunkt über die Systemkommunikation übermittelt;
4) Anzeige des Betriebszustands der Geräte, Anzeige von Alarminformationen;
5) Rezepteinstellungen, Aufruf und Speicherung, Überprüfung der Temperaturkurve und der Temperatur-Zeit-Aufzeichnung, Vakuumstatusaufzeichnung, Fehleraufzeichnung, Betriebsaufzeichnung usw.;
6) Autoritäts- und hierarchische Managementstruktur (drei Ebenen: Bediener, Ingenieur, Administrator)
2.9 Sicherheitskonfiguration
Gesamtkonzeptionelle elektrische und mechanische Sicherheit gemäß SEMI-Standards.
1) Ineinandergreifend
Der Elektrokasten ist mit einer mechanischen Verbindungssicherheit ausgestattet; vor dem Öffnen des Kastens muss die Stromzufuhr unterbrochen werden.
2) Not-Aus-Schalter EMS
Der Not-Aus-Schalter ist ein pilzförmiger Druckschalter mit roter, schwarzer Schrift und gelbem Führungsring. Unabhängig vom Betriebsmodus hat der Not-Aus-Schalter Vorrang. Im Not-Aus-Zustand öffnet sich die Ofentür, der Druck wird abgelassen und die Heizung stoppt.
3) Sicherheit
Der Türöffnungs- und -schließmechanismus ist im Garraum verborgen, wodurch die freiliegende Mechanik minimiert und somit das mechanische Risiko verringert wird. Die Oberflächentemperatur des Ofens liegt nicht über Raumtemperatur + 5 °C, und die Temperatur im Türspalt beträgt maximal Raumtemperatur + 15 °C.
4) Schutzmaßnahmen
Leckageschutz, Überlastschutz, unabhängiger Übertemperaturschutz, Gasdruckerfassung und -alarm, Wasserdruckerfassung und -alarm usw.
SteuerungssystemProdukt
Das Steuerungssystem verwendet ein Touchscreen-Bedienfeld und eine speicherprogrammierbare Steuerung (SPS). Es ermöglicht die zentrale, integrierte Steuerung aller elektrischen Komponenten und verfügt über zwei Betriebsmodi: manuell und automatisch.
Das Steuerungssystem ermöglicht die Überwachung und Regelung des Vakuumgrades und der Temperatur jeder Kammer sowie deren automatisches Aufblasen und Entleeren. Das gesamte Steuerungssystem ist im Hauptschrank untergebracht und daher bedienungsfreundlich.
Bedingungen für die GeräteinstallationProdukt
4.1 Grundfläche: geschätzte 1200 x 1500 x 1200 mm (B x H x T)
4.2 Stromversorgung: 380 V, 50 Hz, 9 kW, dreiphasig, fünfadrig;
4.3 Stickstoff: Schnellanschluss am Einlass 10 mm, min. 40 l/min, Gasdruck 0,3-0,5 MPa, Reinheit 99,999 %, sauberer Stickstoff enthält keine Partikel;
4.4 Kaltwasser: Durchfluss 20 l/min, Außendurchmesser 1/2 Zoll, der Abfluss muss reibungslos und ohne Druck erfolgen.
4.5 Abgas: Heißes Abgasrohr mit einem Durchmesser von 60 mm;
4.6 Geschätztes Gewicht: 350 kg
4.7 Erdung: Schutzerdungswiderstand des Gehäuses ≤ 1Oh
4.8 Entladen: Die Nachfrageseite ist für das Entladen verantwortlich und stellt die nötige Ausrüstung zum Auspacken der Kiste bereit.
4.9 Installationsumgebung: Reinraumklasse 10000, Umgebungstemperatur: 20 ~ 30 °C ℃, Umgebungsfeuchtigkeit: ≤ 85 % relative Luftfeuchtigkeit. Keine brennbaren oder explosiven Stoffe in der Nähe, keine starken Vibrationen, keine starken elektromagnetischen Felder, keine hohe Pulverkonzentration.Das Gerät darf nicht mit ätzenden Substanzen in Berührung kommen und sollte vor direkter Sonneneinstrahlung oder anderer direkter Wärmestrahlung geschützt werden. Es sollte waagerecht in einem gut belüfteten Prüfraum aufgestellt werden, wobei ein Freiraum von mindestens 1,5 Metern für Wartungsarbeiten einzuhalten ist.
Technische InformationenProdukt
5.1 Technische Daten: Chinesische Version des Datenhefts (Papier + elektronische Dateien, einschließlich Bedienungsanleitungen, Richtlinien für die tägliche Wartung, elektrische Schaltpläne).
5.2 Inspektionsbericht: Werksinspektionsbericht (Papier, einschließlich detaillierter Parameterindikatoren und Ist-Daten)
ServiceProdukt
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