Ultrahochvakuumofen

Der Hochvakuumofen verfügt über direkt beheizte Regalböden, die auf bis zu 300 °C programmiert werden können. Die Hochvakuumkammer lässt sich problemlos auf 10⁻⁶ Torr evakuieren. Dies geschieht mittels einer Turbopumpe, die von einer Trockenlaufpumpe unterstützt wird (Ölrückströmung ist ausgeschlossen). Das Aufheizen erfolgt sehr schnell, der Abkühlprozess kann jedoch mehrere Stunden dauern. Um die Innenflächen vor übermäßiger Oxidation zu schützen, darf die Kammer erst belüftet werden, wenn die Regalböden unter 100 °C abgekühlt sind. Die Belüftung erfolgt mit Stickstoff. Eine teilweise Belüftung ist möglich, falls die Probe in Stickstoffatmosphäre vollständig auf Umgebungstemperatur abkühlen muss. Der Ofen verfügt über zwei ca. 280 mm × 280 mm große Regalböden und zwei speziell angefertigte Aluminiumtabletts. Es können acht 4-Zoll-Wafer gleichzeitig gebacken werden. Da der Ofen keine Sichtfenster besitzt, können auch lichtempfindliche Teile gebacken werden, sofern sie vor dem Einbringen in die Kammer in Folie eingewickelt werden.

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MerkmaleProdukt

●Einbrennen von sauerstoff- oder wasserdampfempfindlichen Polymerbeschichtungen in Vakuumumgebung
●Ausbacken von Metallfilmen ohne Oxidation der Oberfläche
● Niedertemperaturglühen von Metallkontakten im Hochvakuum
●Entfernen von Feuchtigkeit aus Materialien
● Entfernen von adsorbiertem Wasserdampf von Waferoberflächen
●Vollständige Vernetzung von Polyimid unter Vakuum
●Backeinheiten, die in andere Vakuumstationen eingesetzt werden.
●Reflow-Löten von Flip-Chips

ProduktparameterProdukt

Aufführungen	Modell	GZ-BDT-VC-01
	Temperaturbereich	40-300ºC
	Druckbereich	10^-6Torr
	Maximale Temperatur Erreichenszeit	Etwa 20-30 Minuten
Bilden	Genauigkeit der Temperaturregelung	±1ºC
	Internes Material	1,5 mm Edelstahlblech, Vollargon-Lichtbogenschweißen
	Äußeres Material	Kaltgewalztes Blech, arzneimittelbeständige Beschichtung auf der Oberfläche
	Hitzebeständiges Material	Glasfaser
	Heizmethode	Direkte Beheizung der Druckbehälterwand
	Gesamtleistung	8,5 kW
Kontrollmethode	Programmbetrieb und Status	7-Zoll-LCD-Touchscreen-Steuerung
	Temperaturregelungsmethode	Mehrsegment-PID-Algorithmus, Temperaturregelungsgenauigkeit ±0,1ºC
	Temperatur-Einstellmethode	Digitale Einrichtung über spezielle Funktionsmenütasten und Auf-/Ab-Tasten
	Betriebsfunktion	Festwertbetrieb, programmierter Betrieb, automatischer Stoppbetrieb, automatischer Startbetrieb
	Programmmodus	Auf Anfrage anpassbar
	Zusätzliche Funktion	Abweichungskorrekturfunktion, Tastensperrfunktion, Stromausfallkompensationsfunktion
	Heizungsregelkreis	SSR-Treiber + PIH
	Sensor	PT100-Thermoelement
Sicherheitsausrüstung		Selbstdiagnoseschaltung (Temperaturmessfehler, Heizungsabschaltung, automatische Überschwingschutzfunktion, SSR-Kurzschlussfunktion), Überschwingschutz, Fehlerstromschutzschalter bei Überstrom, Tastensperre
Größen	Innenmaße (HBT/mm)	320 x 320 x 320 mm, Regalbodengröße (280 x 280) mm
	Leistungsstrom	AC380V 23A (50Hz/60Hz)
	Gewicht	etwa 426 kg

ServiceProdukt

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