Vakua Forno
Unu-oblateta Aŭtomata Alta Vakua Forno
Malgranda bakada ekipaĵo, kun maksimuma temperaturo de 250 ℃, uzante vakuon kaj nitrogenan funkciojn kombinitajn por krei oksigen-senan, unufoje bakitan pecon de oblato, taŭgan por aplikoj en malgrandaj kvantoj. Tipaj aplikoj por ĉi tiu sistemo inkluzivas SOG-kalcinadon, kupro-kalcinadon, aluminian kalcinadon, malalt-k-dielektrikan kalcinadon kaj fotorezistan bakadon, sekigadon kaj tiel plu.
Alta Temperaturo Vakua Forno
Vakuaj fornoj estas idealaj por forigi restan akvon, solvilojn aŭ aliajn volatilajn komponaĵojn el temperatur-sentemaj produktoj. La funkcianta principo esence estas forigi nedeziratajn molekulojn malaltigante la premon en la forno (kreante vakuon). Kiam la forna premo atingas la deziratan vaporpremon de la poluaĵoj, ĉi tiuj poluaĵaj molekuloj vaporiĝas, transformiĝas al vaporo, kaj estas forigitaj de ĉiuj areoj de la produkto. Ĉi tiu sekigado estas plenumata sen la uzo de troa varmo. Tio faras vakuan sekigadon taŭga por materialoj, kiuj difektiĝas aŭ ŝanĝiĝas se eksponitaj al altaj temperaturoj. Vakua sekigado ankaŭ minimumigas la riskon de skvamiĝado kaj la formadon de oksidiĝaj restaĵoj. Vakuaj alttemperaturaj fornoj estas tipe uzataj por produktoj, kiuj ne estas varmorezistaj kaj estas temperatur-sentemaj. Ĉi tiu tipo de forno estas vaste uzata en la kampoj de duonkonduktaĵoj, MEMS-oj kaj elektronikaj aparatoj.
Ultra Alta Vakua Forno
Alta Vakua Forno havas rekte varmigitajn bretojn, kiuj povas esti programitaj por varmiĝi ĝis 300 °C. La alta vakua ĉambro povas facile pumpi ĝis 10-6 Torr, pumpita de turbopumpilo subtenata de seka volvaĵpumpilo (sen zorgi pri refluo de oleo). Kvankam ĝi varmiĝas tre rapide, la malvarmiĝa procezo povas esti malrapida (pluraj horoj). Por protekti la internajn surfacojn kontraŭ troa oksidiĝo, la ĉambro povas esti ventolita nur post kiam la bretoj falis sub 100 °C. La ĉambro estas ventolita per nitrogeno. Parta ventolado eblas se vi bezonas permesi al via specimeno tute malvarmiĝi ĝis ĉirkaŭa temperaturo dum ĝi estas en nitrogena atmosfero. Estas du proksimume 280 mm x 280 mm bretoj, kaj du speciale faritaj aluminiaj pletoj. Ĝi povas baki ok 4-colajn oblatojn samtempe. Ne estas fenestroj, do lumsentemaj partoj povas esti bakitaj kondiĉe ke ili estas envolvitaj en folio survoje en la ĉambron.
Alta Temperaturo Vakua Sekigilo Forno
- ● Vakua sekigado por forigi la humidon kaj solvilon en la elektrodaj materialoj.
- ● Maks. temperaturo 300℃/400℃ estas laŭvola
- ● Funkciiga vakua gamo 101kPa -1Pa ● Havebla en 3 grandecoj, granda kapacito
Alta Temperaturo Vakua Sekigilo Forno
Granda vakua sekigilo desegnita por ĉiaj vakuaj sekigaj celoj.
- ● Maks. temperaturo 250℃
- ● Funkciiga vakua gamo 101kPa -0.1kPa
Ĉi tiu forno estas ideala por forigi restan akvon, solvilojn aŭ aliajn volatilajn komponaĵojn el temperatur-sentemaj produktoj. Vakuopumpilo estos instalita ĉe la malsupra flanko de la forno por ŝpari instalan spacon per rapida konekta flanĝa tubaro. Ĉi tiu tipo de forno estas vaste uzata en laboratorioj, duonkonduktaĵoj, MEMS-oj kaj elektronikaj sektoroj.
Alta Vakua Stokado-Ŝranko
La 9 ĉambroj estas sendepende regataj kaj kunhavas unu aron de vakua sistemo. Ĝi taŭgas por ĉiaj metalaj materialoj, malaerobaj, kemiaj krudmaterialoj, valormetaloj, metalpulvoro kaj aliaj solidaj, pulvoraj, pastaj, likvaj, elektronikaj produktoj.
- ● 9-ĉambra memstara kontrolo
- ● Provizore stoku produktojn dum la produktadprocezo de elektronikaj aparatoj, optoelektronikaj aparatoj, duonkonduktaĵaj blatoj kaj aliaj aparatoj por malhelpi oksidiĝon
- ● Min.50 ĝis 5*10-5Pa vakuo
- ● Strekkoda skanilo por konservi produktajn informojn