Horno automático de alto vacío para obleas individuales

2.1 Modo de control: crear un ambiente libre de oxígeno mediante un ciclo de vacío y llenado con nitrógeno, y colocar los componentes de calentamiento en la pared exterior del horno, y calentar el interior del horno mediante calentamiento radiante para lograr el propósito de hornear sin oxígeno y sin polvo.

2.2 Las cámaras se controlan de forma independiente y funcionan de forma independiente.

2.3 El sistema de vacío de este sistema adopta una bomba de espiral seca;

2.4 Número de cámaras

2.5 Condiciones de vacío

1) Limitar el vacío:1Bien - 10^-4Bien.

2) Requisito de velocidad de bombeo: el grado de vacío de la cámara debe ser de 10^-4Pan 25mín.

2.6 Sistema de calefacción y grado libre de polvo

1) Rango de temperatura: Temperatura normal +25℃-250℃.

2) En 30 minutos desde la temperatura ambiente hasta 200 ℃;

3) ENUtilizar refrigeración por agua, con una velocidad de enfriamiento de 40 minutos o menos desde la temperatura ambiente hasta dentro de los 60 ℃;

4) Precisión del control de temperatura ± 1 ℃, uniformidad de temperatura ± 2% ℃;

5) Grado libre de polvo: Clase 100;

2.7 Medidas de protección: el dispositivo muestra y registra en tiempo real la temperatura y el vacío de cada cámara, y puede consultar datos históricos y exportar datos, datos históricos no inferiores a 30 días;

2.8 Función del software:

1) Cámara para apertura y cierre de la puerta, control de la función de calefacción y vacío;

2) Con código de barras y rendimiento de unión por cavidad, respuesta a los datos de horneado para unión y almacenamiento;

3) El código de barras se introduce manualmente o se envía mediante comunicación del sistema en una etapa posterior;

4) Visualización del estado de funcionamiento del equipo, visualización de información de alarma;

5) Configuración, llamada y almacenamiento de recetas, verificación de la curva de temperatura y registro de temperatura en el tiempo, registro del estado del vacío, registro de fallas, registro de operaciones, etc.;

6) Gestión jerárquica de autoridad (tres niveles: operador, ingeniero, administrador)

2.9 Configuración de seguridad

Diseño general de seguridad eléctrica y mecánica, conforme a las normas SEMI.

1) Enclavamiento

La caja eléctrica adopta un diseño de seguridad de enlace mecánico, y es necesario desconectar la alimentación antes de abrir la caja.

2) Interruptor de parada de emergencia EMS

El interruptor de parada de emergencia es un pulsador con forma de seta, de color rojo con letras negras y un anillo guía amarillo. Independientemente del modo de funcionamiento, debe activarse siempre el interruptor de parada de emergencia. En estado de parada de emergencia, la puerta del horno se abre para liberar la presión y se interrumpe el calentamiento.

3) Seguridad

El mecanismo de apertura y cierre de la puerta está oculto dentro de la cavidad del horno, lo que reduce la parte expuesta del mecanismo y evita riesgos mecánicos. La temperatura superficial del horno no supera la temperatura ambiente +5 °C, y la temperatura en la abertura de la puerta no supera la temperatura ambiente +15 °C.

4) Medidas de protección

Protección contra fugas, protección contra sobrecargas, protección independiente contra sobretemperatura, detección y alarma de presión de gas, detección y alarma de presión de agua, etc.

El sistema de control incorpora un panel de control con pantalla táctil y un controlador lógico programable (PLC). Permite el control centralizado e integrado de todos los componentes eléctricos y dispone de dos modos de control: manual y automático.

El sistema de control permite monitorizar y controlar el grado de vacío y la temperatura de cada cámara, así como su inflado y desinflado automáticos. Todo el sistema de control está instalado en el armario principal, lo que facilita su manejo.

4.1 Superficie: estimada 1200*1500*1200 (ancho*alto*profundidad) mm

4.2 Alimentación eléctrica: 380 V, 50 Hz, 9 kW, trifásica de cinco hilos;

4.3 Nitrógeno: conector rápido de entrada de 10 mm, mín. 40 l/min, presión de gas 0,3-0,5 MPa, pureza 99,999 %, el nitrógeno limpio no contiene materia particulada;

4.4 Agua fría: caudal 20 l/min, calibre del cable exterior 1/2 pulgada, el drenaje debe ser suave sin descarga a presión.

4.5 Gases de escape: gases de escape a temperatura muy alta, diámetro del tubo 60 mm;

4.6 Peso estimado: 350 kg

4.7 Conexión a tierra: resistencia de conexión a tierra de protección de la carcasa ≤ 1Oh

4.8 Descarga: la parte demandante es responsable de la descarga y debe disponer del equipo necesario para desembalar la caja.

4.9 Entorno de instalación: planta limpia de clase 10000, temperatura ambiente: 20 ~ 30 °C °C, humedad ambiental: ≤ 85% de humedad relativa. Sin sustancias inflamables ni explosivas en las cercanías, sin vibraciones fuertes, sin campos electromagnéticos intensos, sin altas concentraciones de polvo.El equipo debe mantenerse alejado de sustancias corrosivas, luz solar directa u otra radiación térmica directa. Debe colocarse horizontalmente en una sala de pruebas bien ventilada, dejando al menos 1,5 metros de espacio libre a su alrededor para facilitar el mantenimiento.

5.1 Datos técnicos: Versión china del folleto de datos (papel + archivos electrónicos, incluidos manuales de instrucciones, pautas de mantenimiento diario, diagramas esquemáticos eléctricos).

5.2 Informe de inspección: informe de inspección de fábrica (en papel, que incluye indicadores de parámetros detallados y datos reales).