Horno automático de alto vacío para una sola oblea

2.1 Modo de control: crear un ambiente libre de oxígeno mediante un ciclo de vacío y llenado de nitrógeno, y disponer los componentes de calentamiento en la pared exterior del horno, y calentar el interior del horno mediante calentamiento radiante para lograr el objetivo de horneado libre de oxígeno y polvo.

2.2 Las cámaras se controlan de forma independiente y funcionan de forma independiente.

2.3 El sistema de vacío de este sistema adopta una bomba de espiral seca;

2.4 Número de cámaras

2.5 Condiciones de vacío

1) Limitar el vacío:1Bueno - 10^-4Bien.

2) Requisito de velocidad de bombeo: el grado de vacío de la cámara debe ser 10^-4Pan 25minutos.

2.6 Sistema de calefacción y grado libre de polvo

1) Rango de temperatura: Temperatura normal +25℃-250℃.

2) En 30 minutos desde temperatura ambiente hasta 200 ℃;

3) ENUtilizar refrigeración por agua, con una velocidad de enfriamiento de 40 minutos o menos desde la temperatura ambiente hasta 60 ℃;

4) precisión del control de temperatura ± 1 ℃, uniformidad de la temperatura ± 2% ℃;

5) Grado libre de polvo: Clase 100;

2.7 Medidas de protección: el dispositivo muestra y registra en tiempo real la temperatura y el vacío de cada cámara, y puede consultar datos históricos y exportar datos, con un historial de datos de al menos 30 días;

2.8 Función del software:

1) Compartimento para la apertura y cierre de la puerta, control de la función de calefacción y vacío;

2) Con rendimiento de unión de código de barras y cavidad, respuesta a los datos de horneado para unión y almacenamiento;

3) El código de barras se introduce manualmente o se envía mediante la comunicación del sistema en una etapa posterior;

4) Visualización del estado de funcionamiento del equipo, visualización de información de alarma;

5) Configuración, llamada y almacenamiento de recetas, comprobación de la curva de temperatura y el registro de tiempo de temperatura, registro de estado de vacío, registro de fallos, registro de operación, etc.;

6) Gestión jerárquica de autoridad (tres niveles: operador, ingeniero, administrador)

2.9 Configuración de seguridad

Diseño general de seguridad eléctrica y mecánica, en línea con las normas SEMI.

1) Enclavamiento

La caja eléctrica adopta un diseño de seguridad con conexión mecánica, y es necesario desconectar la alimentación antes de abrirla.

2) Interruptor de parada de emergencia EMS

El interruptor de parada de emergencia es un pulsador con forma de hongo, de color rojo, con letras negras y un anillo guía amarillo. Independientemente del modo de funcionamiento, debe tener prioridad. La parada de emergencia activada en este equipo provoca que la puerta del horno se abra con alivio de presión y se detenga el calentamiento.

3) Seguridad

El mecanismo de apertura y cierre de la puerta está oculto dentro de la cavidad del horno, lo que reduce la superficie expuesta y evita riesgos mecánicos. La temperatura de la superficie del horno no supera la temperatura ambiente + 5 °C, y la temperatura en el espacio entre la puerta y el horno no supera la temperatura ambiente + 15 °C.

4) Medidas de protección

Protección contra fugas, protección contra sobrecargas, protección independiente contra sobretemperatura, detección y alarma de presión de gas, detección y alarma de presión de agua, etc.

El sistema de control incorpora un panel de control táctil y un controlador lógico programable (PLC). Permite el control centralizado e integrado de todos los componentes eléctricos y cuenta con dos modos de control: manual y automático.

El sistema de control permite monitorizar y controlar el grado de vacío y la temperatura de cada cámara, así como inflar y desinflar automáticamente cada una de ellas. Todo el sistema de control está instalado en el armario principal, lo que facilita su manejo.

4.1 Superficie: estimada 1200*1500*1200 (ancho*alto*profundidad) mm

4.2 Alimentación eléctrica: 380 V, 50 Hz, 9 kW, trifásica de cinco hilos;

4.3 Nitrógeno: conector rápido de entrada de 10 mm, mín. 40 L/min, presión de gas 0,3-0,5 MPa, pureza 99,999 %, nitrógeno limpio no contiene partículas;

4.4 Agua fría: caudal 20 L/min, calibre de alambre exterior de 1/2 pulgada, el drenaje debe ser suave sin descarga a presión.

4.5 Gases de escape: gases de escape muy calientes, diámetro del tubo 60 mm;

4.6 Peso estimado: 350 kg

4.7 Conexión a tierra: resistencia de conexión a tierra de protección de la carcasa ≤ 1Oh

4.8 Descarga: la parte demandante es responsable de la descarga y del equipo necesario para desempaquetar la caja.

4.9 Entorno de instalación: planta limpia, grado de limpieza Clase 10000, temperatura ambiente: 20 ~ 30 ℃, humedad ambiental: ≤ 85% HR. No hay sustancias inflamables ni explosivas alrededor, ni vibraciones fuertes, ni campos electromagnéticos fuertes, ni altas concentraciones de polvo.d) Sustancias corrosivas, sin luz solar directa ni otras radiaciones térmicas directas. El equipo debe colocarse horizontalmente en una sala de pruebas bien ventilada, dejando al menos 1,5 metros de espacio alrededor para el mantenimiento.

5.1 Datos técnicos: Versión en chino del folleto de datos (papel + archivos electrónicos, incluidos manuales de instrucciones, pautas de mantenimiento diario, diagramas esquemáticos eléctricos).

5.2 Informe de inspección: informe de inspección de fábrica (en papel, que incluye indicadores de parámetros detallados y datos reales).