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Horno de ultra alto vacío
Horno de vacío

Horno de ultra alto vacío

El horno de alto vacío cuenta con bandejas de calentamiento directo programables hasta 300 °C. La cámara de alto vacío puede alcanzar fácilmente una presión de 10⁻⁶ Torr, gracias a una bomba turboalimentada con bomba de espiral seca (sin riesgo de reflujo de aceite). Si bien el calentamiento es muy rápido, el enfriamiento puede ser lento (varias horas). Para evitar la oxidación excesiva de las superficies internas, la cámara solo se puede ventilar cuando la temperatura de las bandejas desciende por debajo de 100 °C. La ventilación se realiza con nitrógeno. Es posible una ventilación parcial si se requiere que la muestra se enfríe completamente a temperatura ambiente dentro de la atmósfera de nitrógeno. Dispone de dos bandejas de aproximadamente 280 mm x 280 mm (11" x 11") y dos bandejas de aluminio hechas a medida. Puede hornear ocho obleas de 10 cm (4") simultáneamente. Al no tener ventanas, se pueden hornear piezas fotosensibles siempre que se envuelvan en papel de aluminio antes de introducirlas en la cámara.

    Característicasproducto

    ● Horneado de recubrimientos poliméricos sensibles al oxígeno o al vapor de agua en un entorno de vacío
    ●Eliminación de películas metálicas mediante horneado sin oxidar la superficie
    ●Recocido de contactos metálicos a baja temperatura en alto vacío
    ●Secado de la humedad de los materiales
    ●Eliminar el vapor de agua adsorbido de las superficies de las obleas
    ●Reticulación completa de la poliimida al vacío
    ● Conjuntos de horneado que se utilizarán en otras estaciones de vacío
    ●Reflujo de soldadura de chip invertido

    Parámetros del productoproducto

    Actuaciones

     

     

     

    Modelo

    GZ-BDT-VC-01

    Rango de temperatura

    40-300ºC

    Rango de presión

    10-6Torr

    Tiempo máximo de alcance de la temperatura

    Aproximadamente 20-30 minutos

    Forma

     

     

     

     

     

    Precisión de la regulación de temperatura

    ±1ºC

    Material interno

    Soldadura por arco de argón completa de placa de acero inoxidable de 1,5 mm

    Material externo

    Chapa laminada en frío, revestimiento resistente a los fármacos en la superficie

    Material resistente al calor

    Fibra de vidrio

    Método de calentamiento

    Calentamiento directo de la pared del tanque de presión

    Poder total

    8,5 kW

    Método de control

     

     

     

     

     

     

     

    Funcionamiento y estado del programa

    Control de pantalla táctil LCD de 7 pulgadas

    Método de control de temperatura

    Algoritmo PID multisegmento, precisión de control de temperatura ±0,1 °C

    Método de ajuste de temperatura

    Configuración digital mediante teclas de menú de función dedicadas y teclas de subir/bajar

    Función operativa

    Funcionamiento a valor fijo, funcionamiento programado, funcionamiento con parada automática, funcionamiento con arranque automático

    Modo de programa

    Personalizable bajo petición

    Característica adicional

    Función de corrección de desviación, función de bloqueo de teclas, función de compensación de fallo de alimentación

    Control del bucle del calentador

    Controlador SSR + PIH

    Sensor

    Termopar PT100

    Equipo de seguridad

    Circuito de autodiagnóstico (anomalía en la detección de temperatura, desconexión del calentador, prevención automática de sobretensión, cortocircuito del relé de estado sólido). Prevención de sobretensión, interruptor de protección contra fugas por sobrecorriente, función de bloqueo de teclas.

    Tamaños

     

     

    Dimensiones internas (alto x ancho x profundidad/mm)

    320 x 320 x 320 mm, tamaño del estante (280 x 280) mm

    Corriente de potencia

    CA 380 V 23 A (50 Hz/60 Hz)

    Peso

    Aproximadamente 426 kg

    Servicioproducto

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