Horno de vacío
Horno automático de alto vacío para una sola oblea
Equipo de horneado compacto, con una temperatura máxima de 250 ℃, que combina vacío y nitrógeno para crear un ambiente libre de oxígeno. Hornea una oblea individualmente, ideal para aplicaciones de lotes pequeños. Entre las aplicaciones típicas de este sistema se incluyen el recocido de SOG, cobre, aluminio, dieléctricos de baja constante dieléctrica y el horneado y secado de fotorresistencias, entre otras.
Horno de vacío de alta temperatura
Los hornos de vacío son ideales para eliminar agua residual, disolventes u otros compuestos volátiles de productos sensibles a la temperatura. Su principio de funcionamiento consiste, esencialmente, en eliminar las moléculas no deseadas reduciendo la presión en el horno (creando vacío). Cuando la presión del horno alcanza la presión de vapor deseada de los contaminantes, estas moléculas se evaporan, se convierten en vapor y se eliminan de todas las áreas del producto. Este secado se realiza sin utilizar calor excesivo. Esto hace que el secado al vacío sea adecuado para materiales que se dañan o se alteran al exponerse a altas temperaturas. El secado al vacío también minimiza el riesgo de incrustaciones y la formación de residuos de oxidación. Los hornos de vacío de alta temperatura se utilizan normalmente para productos que no son resistentes al calor y son sensibles a la temperatura. Este tipo de horno se utiliza ampliamente en la industria de semiconductores, MEMS y electrónica.
Horno de ultra alto vacío
El horno de alto vacío cuenta con estantes de calentamiento directo que se pueden programar para alcanzar hasta 300 °C. La cámara de alto vacío puede alcanzar fácilmente una presión de 10⁻⁶ Torr, gracias a una bomba turbomolecular con bomba de desplazamiento en seco (sin riesgo de reflujo de aceite). Si bien el calentamiento es muy rápido, el enfriamiento puede ser lento (varias horas). Para proteger las superficies internas de la oxidación excesiva, la cámara solo se puede ventilar una vez que los estantes hayan descendido por debajo de los 100 °C. La ventilación se realiza con nitrógeno. Es posible una ventilación parcial si se necesita que la muestra se enfríe completamente a temperatura ambiente en atmósfera de nitrógeno. Dispone de dos estantes de aproximadamente 280 mm x 280 mm (11" x 11") y dos bandejas de aluminio hechas a medida. Puede hornear ocho obleas de 10 cm (4") a la vez. No tiene ventanas, por lo que las piezas sensibles a la luz se pueden hornear siempre que se envuelvan en papel de aluminio al introducirlas en la cámara.
Horno de secado al vacío de alta temperatura
- ● Secado al vacío para eliminar la humedad y el disolvente de los materiales de los electrodos.
- ● La temperatura máxima de 300℃/400℃ es opcional.
- ● Rango de vacío de funcionamiento: 101 kPa - 1 Pa ● Disponible en 3 tamaños, gran capacidad
Horno de secado al vacío de alta temperatura
Horno de secado al vacío de gran tamaño, diseñado para todo tipo de aplicaciones de secado al vacío.
- ● Temperatura máxima 250℃
- ● Rango de vacío de funcionamiento: 101 kPa - 0,1 kPa
Este horno es ideal para eliminar el agua residual, los disolventes y otros compuestos volátiles de productos sensibles a la temperatura. La bomba de vacío se instalará en la parte inferior del horno para ahorrar espacio, con conexiones rápidas mediante bridas. Este tipo de horno se utiliza ampliamente en laboratorios, en la industria de semiconductores, MEMS y en el sector electrónico.
Armario de almacenamiento de alto vacío
Las 9 cámaras se controlan de forma independiente y comparten un sistema de vacío. Es adecuado para todo tipo de materiales metálicos, anaeróbicos, materias primas químicas, metales preciosos, polvo metálico y otros productos electrónicos, sólidos, en polvo, en pasta, líquidos y otros productos electrónicos.
- ● Control independiente de 9 cámaras
- ● Almacenar temporalmente los productos durante el proceso de producción de dispositivos electrónicos, dispositivos optoelectrónicos, chips semiconductores y otros dispositivos para evitar la oxidación.
- ● Mín. 50 a 5*10⁻⁵ Pa de vacío
- ● Escáner de código de barras para almacenar información del producto