پخت نرم در ساخت نیمههادیها به دستهای از فرآیندهای حرارتی تعلق دارد که با نام پخت پس از اعمال (PAB) یا پخت پیش از نوردهی شناخته میشوند. برای پخت نرم، معمولاً از اجاقهای همرفت یا صفحات داغ استفاده میشود. اجاقهای همرفت یک محیط گرمایش یکنواخت برای ویفر فراهم میکنند تا حلالها از لایه مقاوم در برابر نور تبخیر شوند.
صفحات داغ، کنترل دقیق دما و گرمایش مستقیم را برای اطمینان از حذف حلال و افزایش چسبندگی ارائه میدهند.
