فر خلاء
آون خلاء بالا اتوماتیک تک ویفری
تجهیزات پخت کوچک، حداکثر دمای ۲۵۰ درجه سانتیگراد، با استفاده از عملکرد خلاء و نیتروژن به صورت ترکیبی برای ایجاد یک تکه ویفر بدون اکسیژن و تک پخت، مناسب برای کاربردهای کوچک. کاربردهای معمول این سیستم شامل آنیل SOG، آنیل مس، آنیل آلومینیوم، آنیل دی الکتریک کم-کیل و پخت مقاوم در برابر نور، خشک کردن و غیره است.
آون خلاء با دمای بالا
آونهای خلاء برای حذف آب باقیمانده، حلالها یا سایر ترکیبات فرار از محصولات حساس به دما ایدهآل هستند. اصل کار، اساساً، حذف مولکولهای ناخواسته با کاهش فشار در آون (ایجاد خلاء) است. هنگامی که فشار آون به فشار بخار مورد نظر آلایندهها میرسد، این مولکولهای آلاینده تبخیر میشوند، به بخار تبدیل میشوند و از تمام نواحی محصول حذف میشوند. این خشک کردن بدون استفاده از گرمای بیش از حد انجام میشود. این امر خشک کردن خلاء را برای موادی که در صورت قرار گرفتن در معرض دمای بالا آسیب میبینند یا تغییر میکنند، مناسب میکند. خشک کردن خلاء همچنین خطر پوسته پوسته شدن و تشکیل بقایای اکسیداسیون را به حداقل میرساند. آونهای خلاء با دمای بالا معمولاً برای محصولاتی استفاده میشوند که در برابر حرارت مقاوم نیستند و به دما حساس هستند. این نوع آون به طور گسترده در نیمههادیها، MEMS و حوزه الکترونیک استفاده میشود.
کوره خلاء فوق العاده بالا
آون خلاء بالا دارای قفسههایی است که مستقیماً گرم میشوند و میتوانند برای گرم کردن تا دمای 300 درجه سانتیگراد برنامهریزی شوند. محفظه خلاء بالا میتواند به راحتی تا دمای 10-6 تور پمپ شود، که توسط یک پمپ توربو که توسط یک پمپ اسکرول خشک پشتیبانی میشود (بدون نگرانی از برگشت روغن) پمپ میشود. در حالی که گرم شدن بسیار سریع است، فرآیند خنک شدن میتواند کند باشد (چند ساعت). برای محافظت از سطوح داخلی در برابر اکسیداسیون بیش از حد، محفظه فقط زمانی قابل تهویه است که قفسهها به زیر 100 درجه سانتیگراد رسیده باشند. محفظه با نیتروژن تهویه میشود. اگر نیاز دارید که نمونه شما در جو نیتروژن کاملاً تا دمای محیط خنک شود، یک تهویه جزئی امکانپذیر است. دو قفسه تقریباً 11 در 11 اینچ (280 میلیمتر در 280 میلیمتر) و دو سینی آلومینیومی سفارشی وجود دارد. این دستگاه میتواند هشت ویفر 4 اینچی را همزمان بپزد. هیچ پنجرهای وجود ندارد، بنابراین قطعات حساس به نور را میتوان پخت، به شرطی که در مسیر ورود به محفظه در فویل پیچیده شوند.
کوره خشک کردن خلاء با دمای بالا
- ● خشک کردن تحت خلاء برای حذف رطوبت و حلال موجود در مواد الکترود.
- ● حداکثر دما ۳۰۰℃/۴۰۰℃ (اختیاری)
- ● محدوده خلاء عملیاتی ۱۰۱ کیلوپاسکال -۱ پاسکال ● موجود در ۳ اندازه، ظرفیت بالا
کوره خشک کردن خلاء با دمای بالا
کوره خشککن خلاء بزرگ که برای انواع خشککنهای خلاء طراحی شده است.
- ● حداکثر دما ۲۵۰ درجه سانتیگراد
- ● محدوده خلاء عملیاتی 101kPa -0.1kPa
این آون برای حذف آب باقیمانده، حلالها یا سایر ترکیبات فرار از محصولات حساس به دما ایدهآل است. پمپ خلاء در قسمت پایین آون نصب میشود تا فضای نصب با اتصال سریع لولههای فلنجی صرفهجویی شود. این نوع آون به طور گسترده در آزمایشگاهها، نیمههادیها، MEMS و حوزه الکترونیک مورد استفاده قرار میگیرد.
کابینت ذخیرهسازی با خلاء بالا
۹ محفظه به طور مستقل کنترل میشوند و یک مجموعه سیستم خلاء را به اشتراک میگذارند. این سیستم برای انواع مواد فلزی، مواد بیهوازی، مواد اولیه شیمیایی، فلزات گرانبها، پودر فلز و سایر محصولات جامد، پودری، خمیری، مایع و الکترونیکی مناسب است.
- ● کنترل مستقل ۹ محفظهای
- ● محصولات را در طول فرآیند تولید دستگاههای الکترونیکی، دستگاههای اپتوالکترونیکی، تراشههای نیمههادی و سایر دستگاهها به طور موقت ذخیره کنید تا از اکسیداسیون جلوگیری شود
- ● حداقل ۵۰ تا ۵ * ۱۰-۵ پاسکال خلاء
- ● اسکنر بارکد برای ذخیره اطلاعات محصول