Four de traitement thermique rapide semi-automatique

Le GZ-RTP-SM-12 est un système de traitement thermique rapide vertical semi-automatique. Ce système utilise un rayonnement visible de haute intensité pour chauffer des plaquettes/échantillons individuels de 4 à 12 pouces pendant de courtes durées à des températures précisément contrôlées. La durée des traitements est généralement de 1 à 600 secondes, mais peut atteindre 9 999 secondes. Ces performances, associées à la conception à paroi froide de la chambre de chauffe et à une excellente uniformité de chauffage, offrent des avantages significatifs par rapport aux procédés de traitement conventionnels au four.

1. Chauffage par lampe halogène à rayonnement visible de haute intensité pour une montée en température rapide
2. Diffusion de la lumière infrarouge par la surface spéciale de la chambre en aluminium plaqué or
3. Logiciel avancé doté de technologies de contrôle en temps réel et de nombreuses fonctions utiles
4. Les conditions atmosphériques ou de vide sont refermables
5. Deux conduites de gaz standard, extensibles jusqu'à six conduites de gaz avec régulateurs de débit massique et vannes d'arrêt.
6. Un flux d'azote (N2 ou CDA) refroidit les lampes et le tube d'isolation en quartz pour un refroidissement rapide.
7. Adopte les trois mesures de sécurité de protection contre l'ouverture de la porte, de protection contre l'ouverture du thermostat et de protection contre l'arrêt d'urgence pour assurer la sécurité de l'instrument.
8. Plaquette de 12 pouces max. (300*300 mm)

■ Recuit thermique rapide (RTA)
■ Croissance d'oxydes et de nitrures
■ Procédé d'arsénitisation
■ Recuit de l'implant
■ Recuit des contacts ohmiques (III-V et SiC)
■ Oxydation thermique rapide (RTO)
■ Nitridation thermique rapide (RTN)
■ Sélénisation (cellules solaires CIGS)
■ CVD du graphène et du h-BN (nitrure de bore hexagonal)
■ Recuit thermique des polymères, etc.