
Four à vide poussé automatique pour plaquette unique
Ce petit équipement de cuisson, atteignant une température maximale de 250 °C, utilise le vide et l'azote pour une cuisson individuelle des plaquettes en atmosphère exempte d'oxygène, idéale pour les petites séries. Ses applications typiques incluent le recuit SOG, le recuit du cuivre, le recuit de l'aluminium, le recuit des diélectriques à faible constante diélectrique (low-k), ainsi que la cuisson et le séchage de la résine photosensible.
Brève introductionproduit
Équipement de cuisson compact, température maximale de 250 °C, utilisant le vide et l'azote pour une cuisson individuelle sans oxygène d'une plaquette, idéal pour les petites séries. Applications typiques : recuit SOG, recuit du cuivre, recuit de l'aluminium, recuit des diélectriques à faible constante diélectrique et cuisson de la résine photosensible., séchage et ainsi de suite.
● Contrôles de vide et environnementaux compatibles
● Plage de vide de fonctionnement 1Eh bien - 10-4Pa, aspirateur ultime 10-5Bien.
● Faible taux d'O2 résiduel (
● Plage de température de fonctionnement : température ambiante +25°C -250°C.
● Fonctionnement facile, fonctionnement à valeur fixe, fonctionnement programmé, arrêt automatique rapide, arrêt automatique, démarrage automatique.
● Le contrôle de température est un instrument à écran tactile en mode PID, de type monopoint ou programmé, peut être calculé automatiquement et afficher simultanément PV/SV, réglage par simple pression, avec fonction mémoire (par exemple température, temps).
● Les programmes complexes peuvent être exécutés conformément aux exigences techniques.
● Avec circuit d'autodiagnostic (anomalie de détection de température, déconnexion du chauffage, prévention automatique de surchauffe, court-circuit SSR), dispositif anti-surchauffe, interrupteur de protection contre les fuites pour éviter les surintensités, verrouillage à clé et autres fonctions de sécurité.
● En mode de contrôle du vide, le contrôle est automatique : l’aspiration s’arrête une fois le niveau de vide atteint ; en dessous de la limite inférieure, le cycle de fonctionnement s’achève ; une fois le temps de maintien de la température terminé, le fonctionnement s’arrête ; gonflage manuel à pression réduite ou remplissage à l’azote.

Configuration de base et principe de fonctionnement du systèmeproduit
2.1 Mode de contrôle : créer un environnement sans oxygène par un cycle de mise sous vide et de remplissage à l'azote, disposer les composants chauffants sur la paroi extérieure du four et chauffer l'intérieur du four par chauffage radiant pour atteindre l'objectif d'une cuisson sans oxygène et sans poussière.
2.2 Les chambres sont contrôlées indépendamment et fonctionnent indépendamment.
2.3 Le système de vide de ce système adopte une pompe à spirale sèche ;
2.4 Nombre de chambres
| Composant | Caractéristiques | Quantité |
| Chambre à vide | Taille de travail:L 400 mm × H 60 mm × P 400 mm | 1 |
2.5 Conditions de vide
1) Limiter le vide :1Eh bien - 10-4Bien.
2) Exigence relative à la vitesse de pompage : le degré de vide de la chambre doit être de 10-4Pain 25min.
2.6 Système de chauffage et niveau d'étanchéité à la poussière
1) Plage de température : Température normale +25℃-250℃.
2) En 30 minutes, de la température ambiante à 200 ℃ ;
3) DANSrefroidissement par eau, vitesse de refroidissement de 40 min ou moins de la température ambiante jusqu'à 60 ℃ ;
4) Précision du contrôle de la température ± 1 °C, uniformité de la température ± 2% ℃;
5) Niveau d'absence de poussière : Classe 100 ;
2.7 Mesures de protection : l'appareil affiche et enregistre en temps réel la température et le vide de chaque chambre, et peut consulter et exporter les données historiques, les données historiques ne dépassant pas 30 jours ;
2.8 Fonction du logiciel :
1) Chambre pour l'ouverture et la fermeture de la porte, le contrôle de la fonction de chauffage et de vide ;
2) Avec les performances de reliure par code-barres et cavité, la réponse aux données de cuisson pour la reliure et le stockage ;
3) Le code-barres est saisi manuellement ou envoyé par le système de communication à une étape ultérieure ;
4) Affichage de l'état de fonctionnement de l'équipement, affichage des informations d'alarme ;
5) Réglage, appel et stockage des recettes, vérification de la courbe de température et de l'enregistrement du temps de température, enregistrement de l'état du vide, enregistrement des défauts, enregistrement des opérations, etc. ;
6) Gestion hiérarchique de l'autorité (trois niveaux : opérateur, ingénieur, administrateur)
2.9 Configuration de sécurité
Conception globale de sécurité électrique et mécanique, conforme aux normes SEMI.
1) Emboîtement
Le boîtier électrique est doté d'un système de sécurité à liaison mécanique et l'alimentation doit être coupée avant son ouverture.
2) Interrupteur d'arrêt d'urgence EMS
Le bouton d'arrêt d'urgence est un bouton-poussoir en forme de champignon, de couleur rouge avec des inscriptions noires et un anneau de guidage jaune. Quel que soit le mode de fonctionnement, il doit être utilisé en priorité. En cas d'arrêt d'urgence, la porte du four s'ouvre avec décompression et le chauffage s'interrompt.
3) Sécurité
Le mécanisme d'ouverture et de fermeture de la porte est dissimulé à l'intérieur de la cavité du four, réduisant ainsi la partie exposée et les risques mécaniques. La température de surface du four ne dépasse pas la température ambiante + 5 °C, et la température au niveau de l'entrefer de la porte ne dépasse pas la température ambiante + 15 °C.
4) Mesures de protection
Protection contre les fuites, protection contre les surcharges, protection indépendante contre la surchauffe, détection et alarme de la pression du gaz, détection et alarme de la pression de l'eau, etc.
Système de contrôleproduit
Le système de commande est doté d'un écran tactile et d'un automate programmable (PLC). Il permet la commande centralisée et intégrée de tous les composants électriques et propose deux modes de fonctionnement : manuel et automatique.
Le système de contrôle permet de surveiller et de réguler le niveau de vide et la température de chaque chambre, et assure le gonflage et le dégonflage automatiques de chacune d'elles. L'ensemble du système est installé dans l'armoire principale, ce qui facilite son utilisation.
Conditions d'installation de l'équipementproduit
4.1 Surface au sol : environ 1200 x 1500 x 1200 mm (L x H x P)
4.2 Alimentation électrique : 380 V, 50 Hz, 9 kW, triphasé à cinq fils ;
4.3 Azote : raccord rapide d'entrée 10 mm, min. 40 L/min, pression du gaz 0,3-0,5 MPa, pureté 99,999 %, l'azote propre ne contient pas de particules ;
4.4 Eau froide : débit 20 L/min, calibre du fil extérieur 1/2 pouce, le drainage doit être lisse sans décharge sous pression.
4.5 Gaz d'échappement : échappement de gaz d'échappement chauds, diamètre du tuyau 60 mm ;
4.6 Estimation du poids : 350 kg
4.7 Mise à la terre : résistance de mise à la terre de protection de l'enveloppe ≤ 1Oh
4.8 Déchargement : le client est responsable du déchargement et doit disposer du matériel nécessaire pour déballer le carton.
4.9 Environnement d'installation : salle blanche de classe 10000, température ambiante : 20 à 30 °C ℃, humidité ambiante : ≤ 85 % d'humidité relative. Absence de substances inflammables ou explosives à proximité, de fortes vibrations, de champs électromagnétiques intenses et de fortes concentrations de poudre.d. Substances corrosives, pas de lumière solaire directe ni de rayonnement thermique direct. L'équipement doit être placé horizontalement dans une salle d'essai bien ventilée, en laissant un espace libre d'au moins 1,5 mètre autour pour la maintenance.
Informations techniquesproduit
5.1 Données techniques : Version chinoise du livret de données (papier + fichiers électroniques, comprenant les manuels d'instructions, les directives d'entretien quotidien, les schémas électriques).
5.2 Rapport d'inspection : rapport d'inspection d'usine (document papier comprenant des indicateurs de paramètres détaillés et des données réelles)
Serviceproduit
GMS Industrial dispose d'une équipe dédiée aux marchés, aux ventes, au service technique et au réseau pour offrir à ses clients et distributeurs des services complets avant-vente, pendant la vente et après-vente. N'hésitez pas à nous contacter pour toute question ou demande.
Disponible 24h/24. Nous répondons aux messages dès leur réception.
