Fluch termysk proses

Produktkategoryen

Featured Produkten

Technyske spesifikaasjes fan in dûbele keamer hege-temperatuer fakuümoven

1250L ESD-feilige stikstofkabinet

1020L ESD-feilige stikstofkabinet

500L Duorsume Stiel Stikstofkabinet

500L ESD-feilige stikstofkabinet

Semi-automatyske rappe termyske ferwurkingsoven

GZ-RTP-SM-12 is in healautomatysk fertikaal rap termysk ferwurkingssysteem tapast foar it ferwaarmjen fan ienige 4-12 inch wafer
Maks. temperatuer 1250 ℃
Maks. 4 gasliedingen

Kontakt mei ús opnimme Download

FUNKSJESprodukt

GZ-RTP-SM-12 is in healautomatysk fertikaal rap termysk ferwurkingssysteem. It systeem brûkt sichtbere strieling mei hege yntensiteit om ienkele wafer/eksimplaren fan 4-12 inch te ferwaarmjen foar koarte prosesperioaden by presys kontroleare temperatueren. De prosesperioaden binne typysk 1-600 sekonden lang, hoewol perioaden oant 9999 sekonden selektearre wurde kinne. Dizze mooglikheden, kombineare mei it kâldwandûntwerp fan 'e ferwaarmingskeamer en superieure ferwaarmingsuniformiteit, biede wichtige foardielen boppe konvinsjonele ovenferwurking.

1. Ferwaarming fan halogeenlampen mei hege yntensiteit foar sichtbere strieling foar rappe ferwaarmingssnelheden
2. Ferspraat IR-ljocht troch spesjaal fergulde Al-keameroerflak
3. Avansearre softwarepakket mei real-time kontrôletechnologyen en in protte nuttige funksjes
4. Atmosfear- of fakuümomstannichheden binne ôfslutber
5. Standert twa gasliedingen, kinne útwreide wurde oant maksimaal seis gasliedingen mei MFC's en ôfslutkleppen
6. Koeljende N2 (of CDA) streamt om 'e lampen en kwartsisolaasjebuis foar rappe koelingssnelheden
7. Adoptearret de trijefâldige feilichheidsmaatregels fan doar iepening beskerming, termostaat iepening autoriteit beskerming en needstop beskerming om de feiligens fan it ynstrumint te garandearjen.
8. Maks. 12-inch wafer (300 * 300 mm)

Parametersprodukt

Model	GZ-RTP-SM-12
Maks. Produktgrutte	12 inch wafer, 300 * 300 mm
Apparatuergrutte	L1050mm × B1680mm × H2080mm
Temperatuerberik	RT ~~800 ℃ (termokoppels) 800℃~1250℃ (ynfraread pyrometer)
Temperatuerferheging	100 ℃/s foar wafer 20 ℃/s foar silisiumkarbide dragerskiven
Temperatueruniformiteit	±1%
Temperatuerkontrôle-krektens	±2℃
Ferwaarmingstiid	Neffens programma
Oven	Spesjaal fergulde Al-keameroerflak
Vakuümkeamer	Keamer fan kwarts mei hege suverens
Beugel	Kwartsbeugel
PC	12,5 inch PC mei software
Kachel	Halogeenlampen
MFC	GN2/PN2 (útwreidber nei 4 gasliedingen)

Opsjesprodukt

Koelers

Fakuümpompen

Vakuummeter

MFC

Pyrometer

Applikaasjesprodukt

■ Fluch termysk gloeien (RTA)
■ Oksyde, nitridegroei
■ Arsenitisearringsproses
■ Ymplantaatgloeiing
■ Ohmsk kontaktgloeien (III-V en SiC)
■ Snelle termyske oksidaasje (RTO)
■ Snelle termyske nitridaasje (RTN)
■ Selenisaasje (CIGS-sinnesellen)
■ CVD fan grafeen en h-BN (heksagonaal boornitride)
■ Termysk gloeien fan polymearen ensfh.

Oanpassingprodukt

GMS kin ferskate nivo's fan uniformiteit, grutte, temperatuerberik, fakuüm en automatyske funksjes leverje; as jo in spesifike tolerânsje of spesifikaasje hawwe dy't foldien wurde moat, nim dan kontakt mei ús op mei jo easken, sadat wy derfoar soargje kinne dat de apparatuer ûntworpen, hifke en oanpast is om oan dy easken te foldwaan.

Tsjinstprodukt

GMS Industrial hat in merk-, ferkeap-, technyske tsjinst- en netwurkteam om klanten en dealers te foarsjen fan wiidweidige pre-sales, in-sales en after-sales tsjinsten. Jo kinne mei ús kommunisearje as jo fragen en easken hawwe.
24 oeren online. Berjochten wurde beantwurde sa gau as se ûntfongen binne.

fraach no