Vakuümoven
Automatyske hege fakuümoven mei ien wafer
Lytse bakapparatuer, de maksimale temperatuer fan 250 ℃, mei gebrûk fan fakuüm- en stikstoffunksje kombineare om soerstoffrije, ienmalige wafer te meitsjen, geskikt foar tapassingen yn lytse batches. Typyske tapassingen foar dit systeem omfetsje SOG-gloeien, kopergloeien, aluminiumgloeien, leech-k diëlektrysk gloeien en fotoresistbakken, droegjen en sa fierder.
Hege temperatuer fakuümoven
Fakuümovens binne ideaal foar it fuortheljen fan oerbliuwend wetter, oplosmiddels of oare flechtige ferbiningen út temperatuergefoelige produkten. It prinsipe fan wurking is yn essinsje om net winske molekulen te ferwiderjen troch de druk yn 'e oven te ferleegjen (in fakuüm te meitsjen). As de ovendruk de winske dampdruk fan 'e fersmoargjende stoffen berikt, ferdampe dizze fersmoargjende molekulen, feroarje yn damp en wurde se út alle gebieten fan it produkt fuorthelle. Dit droegjen wurdt dien sûnder gebrûk fan oermjittige waarmte. Dit makket fakuümdroegjen geskikt foar materialen dy't skansearre reitsje of feroare wurde as se bleatsteld wurde oan hege temperatueren. Fakuümdroegjen minimalisearret ek it risiko op skaalferfal en de foarming fan oksidaasjeresten. Fakuümovens mei hege temperatuer wurde typysk brûkt foar produkten dy't net waarmtebestindig binne en temperatuergefoelich binne. Dit type oven wurdt in soad brûkt yn healgeleiders, MEMS en elektroanika.
Ultra hege fakuümoven
De hege fakuümoven hat direkt ferwaarme planken dy't programmearre wurde kinne om te ferwaarmjen oant 300 °C. De hege fakuümoven kin maklik nei 10-6 Torr pompe, pompe troch in turbopomp dy't stipe wurdt troch in droege skrolpomp (sûnder oaljebackstreaming om jo soargen oer te meitsjen). Hoewol it heul rap opwaarmt, kin it ôfkuolproses stadich wêze (ferskate oeren). Om de ynderlike oerflakken te beskermjen tsjin oermjittige oksidaasje, kin de keamer allinich ûntlûcht wurde as de planken ûnder 100 °C sakke binne. De keamer wurdt ûntlûcht mei stikstof. In dielde fentilaasje is mooglik as jo jo stekproef folslein ôfkuolje moatte nei keamertemperatuer wylst it yn in stikstofatmosfear is. D'r binne twa planken fan sawat 11" x 11" (280 mm x 280 mm), en twa op maat makke aluminium trays. It kin acht wafers fan 4" tagelyk bakke. D'r binne gjin finsters, dus ljochtgefoelige dielen kinne bakt wurde, salang't se yn folie ynpakt binne op wei nei de keamer.
Hege temperatuer fakuüm droechoven
- ● Vakuümdrogen om it focht en oplosmiddel yn 'e elektrodematerialen te ferwiderjen.
- ● Maks. temperatuer 300℃/400℃ is opsjoneel
- ● Bedriuwsfakuümberik 101kPa -1Pa● Beskikber yn 3 maten, grutte kapasiteit
Hege temperatuer fakuüm droechoven
Grutte fakuümdroegoven ûntworpen foar alle soarten fakuümdroeging.
- ● Maks. temperatuer 250 ℃
- ● Bedriuwsfakuümberik 101kPa -0.1kPa
Dizze oven is ideaal foar it fuortheljen fan oerbliuwend wetter, oplosmiddels of oare flechtige ferbiningen út temperatuergefoelige produkten. In fakuümpomp wurdt ynstalleare oan 'e ûnderkant fan' e oven om ynstallaasjeromte te besparjen mei snelle ferbiningsflenspipen. Dit type oven wurdt in soad brûkt yn laboratoaria, healgeleiders, MEMS en elektroanika.
Hege fakuüm opslachkast
De 9 keamers wurde ûnôfhinklik kontroleare en diele ien set fakuümsysteem. It is geskikt foar alle soarten metalen materialen, anaerobe, gemyske grûnstoffen, kostbere metalen, metaalpoeier en oare fêste stoffen, poeier, pasta, floeistof, elektroanyske produkten.
- ● Standalone kontrôle mei 9 keamers
- ● Bewarje produkten tydlik tidens it produksjeproses fan elektroanyske apparaten, opto-elektroanyske apparaten, healgeleiderchips en oare apparaten om oksidaasje te foarkommen
- ● Min.50 oant 5*10-5Pa fakuüm
- ● Barcodescanner om produktynformaasje op te slaan