Pròiseas Teirmeach Luath

Roinnean Bathar

Toraidhean Sònraichte

Sònrachaidhean Teicnigeach Àmhainn Falamh Àrd-Teòthachd Dà-Seòmar

Caibineat Tioram Sàbhailte ESD 1510L

Caibineat Nìtrigine Sàbhailte ESD 1250L

Caibineat Tioram Sàbhailte ESD 1250L

Caibineat Nìtrigine Sàbhailte ESD 1020L

Caibineat Nitrogen Stàilinn Seasmhach 500L

Caibineat Nìtrigine Sàbhailte ESD 500L

Fùirneis Giullachd Teirmeach Luath Leth-fèin-ghluasadach

’S e siostam giullachd teirmeach luath leth-fèin-ghluasadach inghearach a th’ ann an GZ-RTP-SM-12 a thathar a’ cleachdadh airson teasachadh aon wafer 4-12 òirleach.
Teòthachd as àirde 1250℃
Uasmhéid 4 loidhnichean gas

Cuir fios thugainn Luchdaich a-nuas

FEARTANtoradh

’S e siostam giullachd teirmeach luath leth-fèin-ghluasadach dìreach a th’ ann an GZ-RTP-SM-12. Bidh an siostam a’ cleachdadh rèididheachd faicsinneach àrd-dian gus wafer/sampallan singilte 4-12 òirleach a theasachadh airson amannan pròiseas goirid aig teòthachdan fo smachd mionaideach. Mar as trice bidh na h-amannan pròiseas 1-600 diogan a dh’fhaid, ged a ghabhas amannan suas ri 9999 diogan a thaghadh. Tha na comasan sin, còmhla ri dealbhadh balla fuar an t-seòmair teasachaidh agus cunbhalachd teasachaidh nas fheàrr, a’ toirt buannachdan mòra thairis air giullachd àmhainn àbhaisteach.

1. Teasachadh lampa halogen rèididheachd faicsinneach àrd-dian airson ìrean teasachaidh luath
2. Solas IR sgapte le uachdar seòmar Al òir-phlàtaichte sònraichte
3. Pasgan bathar-bog adhartach le teicneòlasan smachd fìor-ùine agus mòran ghnìomhan feumail
4. Faodar suidheachaidhean àile no falamh a dhùnadh
5. Dà loidhne gas àbhaisteach, faodar an leudachadh gu suas ri sia loidhnichean gas le MFCn agus bhalbhaichean dùnaidh
6. Bidh fuarachadh N2 (no CDA) a’ sruthadh timcheall nan lampaichean agus an tiùb aonaranachd grianchloch airson ìrean fuarachaidh luath
7. A’ gabhail ri trì ceumannan sàbhailteachd dìon fosglaidh dorais, dìon ùghdarrais fosglaidh teirmeastat agus dìon stad èiginn gus dèanamh cinnteach à sàbhailteachd an ionnstramaid.
8. Uabhar 12-òirleach aig a’ char as àirde (300 * 300mm)

Paramadaireantoradh

Modail	GZ-RTP-SM-12
Meud as motha den toradh	Uabhar 12 òirleach, 300 * 300mm
Meud an Uidheam	F1050mm × L1680mm × À2080mm
Raon Teòthachd	RT ~ ~ 800 ℃ (teirmeach-chàraidean) 800℃~1250℃ (piriméadar infridhearg)
Àrdachadh Teòthachd	100℃/s airson uaifrean 20℃/s airson diosgan giùlain silicon carbide
Co-ionannachd Teòthachd	±1%
Cruinneas Smachd Teòthachd	±2℃
Ùine Teasachaidh	A rèir a’ phrògraim
Fùirneis	Uachdar seòmar Al òir-phlàtaichte sònraichte
Seòmar Falamh	Seòmar grian-chlach àrd-ghlanachd
Bracaid	Bracaid Quartz
PC	PC 12.5 òirleach le bathar-bog
Teasadair	Lampaichean halogain
MFC	GN2/PN2 (a ghabhas leudachadh gu 4 loidhnichean gas)

Roghainneantoradh

Fuaradairean

Pumpaichean falamh

Tomhas-falamh

MFC

Pioramaid

Iarrtasantoradh

■ Lùthadh teirmeach luath (RTA)
■ Ocsaid, Fàs Nitride
■ Pròiseas Arsenitization
■ Annealing implant
■ Annealadh conaltraidh ohmic (III-V agus SiC)
■ Ocsaideachadh Teirmeach Luath (RTO)
■ Nìtridachadh Teirmeach Luath (RTN)
■ Selenachadh (ceallan grèine CIGS)
■ CVD de ghrafein agus h-BN (nitrid boron sia-thaobhach)
■ Lùthadh teirmeach air poileimearan msaa.

Gnàthachadhtoradh

Faodaidh GMS diofar ìrean de cho-ionannachd, meud, raon teòthachd, falamh agus gnìomhan fèin-ghluasadach a thoirt seachad; ma tha fulangas no sònrachadh sònraichte agad a dh’ fheumar a choileanadh, cuir fios thugainn leis na riatanasan agad gus an urrainn dhuinn dèanamh cinnteach gu bheil an uidheamachd air a dhealbhadh, air a dhearbhadh agus air atharrachadh gus coinneachadh ris na riatanasan sin.

Seirbheistoradh

Tha sgioba margaidhean, reic, seirbheis theicnigeach agus lìonra aig GMS Industrial gus seirbheisean ro-reic, rè-reic agus às dèidh-reic coileanta a thoirt do luchd-ceannach agus luchd-reic. Faodaidh tu fios a chuir thugainn ma tha ceistean no riatanasan sam bith agad.
24 uair air-loidhne. Thèid freagairt a thoirt do theachdaireachdan cho luath ‘s a gheibhear iad.

rannsachadh a-nis