
Àmhainn Falamh Àrd Fèin-ghluasadach Aon-Wafair
Uidheam bèicearachd beag, teòthachd as àirde de 250 ℃, a’ cleachdadh gnìomh falamh agus naitridean còmhla gus pìos wafer gun ocsaidean a chruthachadh, aon-bhèicearachd, freagarrach airson tagraidhean baidsean beaga. Am measg nan tagraidhean àbhaisteach airson an t-siostaim seo tha annealing SOG, annealing copair, annealing alùmanum, annealing dielectric ìosal-k agus bèicearachd photoresist, tiormachadh agus mar sin air adhart.
Ro-ràdh Goiridtoradh
Uidheam bèicearachd beag, an teòthachd as àirde de 250 ℃, a’ cleachdadh gnìomh falamh agus naitridean còmhla gus pìos de wafer a chruthachadh gun ocsaidean, aon-bhèicearachd, freagarrach airson tagraidhean baidsean beaga. Am measg nan tagraidhean àbhaisteach airson an t-siostaim seo tha annealing SOG, annealing copair, annealing alùmanum, annealing dielectric ìosal-k agus bèicearachd photoresist., tiormachadh agus mar sin air adhart.
● Smachdan falamh is àrainneachd co-chòrdail
● Raon falamh obrachaidh 1Uill - 10-4Pa, falamh mu dheireadh 10-5gu math.
● O2 ìosal a tha air fhàgail (
● Raon teòthachd obrachaidh teòthachd an t-seòmair +25°C -250°C.
● Obrachadh furasta, obrachadh luach stèidhichte, obrachadh prògraim, obrachadh stad fèin-ghluasadach luath, obrachadh stad fèin-ghluasadach, obrachadh tòiseachaidh fèin-ghluasadach.
● ’S e inneal scrion-suathaidh modh PID a th’ ann an smachd teothachd, seòrsa puing singilte no prògram, faodar a thomhas gu fèin-ghluasadach, agus PV/SV a thaisbeanadh aig an aon àm, suidheachadh puing-suathaidh, le gnìomh cuimhne (me teòthachd, ùine).
● Faodar prògraman iom-fhillte a ruith a rèir riatanasan teicnigeach.
● Le cuairt fèin-bhreithneachaidh (neo-riaghailteachd mothachaidh teothachd, dì-cheangal teasadair, casg fèin-ghluasadach cus-àrdachaidh, cuairt ghoirid SSR), casg cus-àrdachaidh, suidse dìon aodion gus casg a chuir air cus-shruth, glasadh iuchair agus gnìomhan sàbhailteachd eile.
● Modh smachd falamh smachd fèin-ghluasadach, ruig ìre falamh gus stad a chuir air falmhachadh, fo chrìoch ìosal an tòiseachaidh fèin-ghluasadach, agus mar sin tha cearcall na h-obrach deiseil, ùine teòthachd cunbhalach, stad ag obair; cuideam làimhe gun sèididh no lìonadh naitridean.

Bun-rèiteachadh agus prionnsabal obrach an t-siostaimtoradh
2.1 Modh smachd: cruthaich àrainneachd gun ocsaidean le bhith a’ falmhachadh agus a’ cleachdadh cearcall làn naitridein, agus cuir na pàirtean teasachaidh air balla a-muigh na h-àmhainn, agus teas taobh a-staigh na h-àmhainn le teasachadh rèididh gus adhbhar bèicearachd gun ocsaidean agus gun duslach a choileanadh.
2.2 Tha na seòmraichean fo smachd neo-eisimeileach agus bidh iad ag obair gu neo-eisimeileach.
2.3 Bidh siostam falamh an t-siostaim seo a’ cleachdadh pumpa sgrolaidh tioram;
2.4 Àireamh nan seòmraichean
| Pàirt | Sònrachaidhean | Meud |
| Seòmar Falamh | Meud obrach:Leud 400mm * Àirde 60mm * Doimhneachd 400mm | 1 |
2.5 Suidheachaidhean falamh
1) Falamh cuibhrichte:1Uill - 10-4Uill.
2) Riatanas astar pumpaidh: bu chòir ìre falamh an t-seòmair a bhith 10-4Aran 25mion.
2.6 Siostam teasachaidh & ìre gun duslach
1) Raon teòthachd: Teòthachd àbhaisteach +25℃-250℃.
2) Taobh a-staigh 30 mionaid bho theodhachd an t-seòmair gu 200 ℃;
3) A-STEACHFuarachadh le uisge, ìre fuarachaidh de 40min no nas lugha bho theodhachd an t-seòmair sìos gu taobh a-staigh 60 ℃;
4) cruinneas smachd teòthachd ± 1 ℃, cunbhalachd teòthachd ± 2% ℃;
5) Ìre gun duslach: Clas 100;
2.7 Ceumannan dìon: bidh an inneal a’ taisbeanadh agus a’ clàradh teòthachd agus falamh gach seòmar ann an àm fìor, agus faodaidh e dàta eachdraidheil a cheasnachadh agus dàta às-mhalairt, dàta eachdraidheil co-dhiù 30 latha;
2.8 Gnìomh bathar-bog:
1) Seòmar airson an doras fhosgladh is dùnadh, smachd air gnìomh teasachaidh is falmhachaidh;
2) Le coileanadh ceangail còd-barra agus cuas, freagairt don dàta bèicearachd airson ceangal, agus stòradh;
3) Thèid an còd-barra a chur a-steach le làimh no thèid a chur leis a’ chonaltradh siostaim aig ìre nas fhaide air adhart;
4) Taisbeanadh inbhe obrach uidheamachd, taisbeanadh fiosrachaidh rabhaidh;
5) Suidheachadh reasabaidhean, gairm is stòradh, sgrùdadh a dhèanamh air clàr teòthachd is ùine teòthachd, clàr inbhe falamh, clàr locht, clàr obrachaidh, msaa.;
6) riaghladh ìreachail ùghdarrais (trì ìrean: gnìomhaiche, innleadair, rianaire)
2.9 Rèiteachadh Sàbhailteachd
Dealbhadh sàbhailteachd dealain is meacanaigeach san fharsaingeachd, a rèir inbhean SEMI.
1) Eadar-ghlasadh
Tha dealbhadh sàbhailteachd ceangail meacanaigeach aig a’ bhogsa dealain, agus feumar an cumhachd a dhì-cheangal mus fosgail thu am bogsa.
2) Suidse Stad Èiginn EMS
Tha suidse stad èiginn na suidse brùthaidh cumadh balgan-buachair, dearg, clò dubh, fàinne treòrachaidh buidhe, ge bith dè an seòrsa modh bu chòir prìomhachas a thoirt don suidse stad èiginn. Is e staid stad èiginn an uidheim seo gu bheil an àmhainn a’ fosgladh an dorais le faochadh cuideam agus an teasachadh a’ stad.
3) Sàbhailteachd
Tha an dòigh-obrach fosglaidh is dùnaidh airson an dorais falaichte taobh a-staigh cuas na h-àmhainn, a’ lughdachadh an dòigh-obrach nochdte gus cunnart meacanaigeach a sheachnadh. Chan eil teòthachd uachdar na h-àmhainn nas àirde na teòthachd an t-seòmair +5℃, agus chan eil an teòthachd aig beàrn an dorais nas àirde na teòthachd an t-seòmair +15℃.
4) Ceumannan dìon
Dìon an aghaidh aodion, dìon cus cuideim, dìon neo-eisimeileach an aghaidh cus teòthachd, mothachadh is rabhadh cuideam gas, mothachadh is rabhadh cuideam uisge, msaa.
Siostam smachdtoradh
Tha pannal smachd sgrion-suathaidh agus rianadair prògramaichte (PLC) aig an t-siostam smachd. Faodaidh e smachd amalaichte meadhanach a thoirt gu buil air a h-uile pàirt dealain, agus tha dà dhòigh smachd aige: làimhe agus fèin-ghluasadach.
Faodaidh an siostam smachd sùil a chumail air fiosrachadh mu ìre falamh agus teòthachd gach seòmar, agus sèideadh is dì-shèideadh fèin-ghluasadach gach seòmar a thoirt gu buil. Tha an siostam smachd gu lèir air a chuir a-steach don phrìomh chaibineat, a tha goireasach airson obrachadh.
Cumhaichean Stàlaidh Uidheamtoradh
4.1 Àite làir: tuairmseach 1200 * 1500 * 1200 (L * H * D) mm
4.2 Solar cumhachd: 380V, 50Hz, 9Kw, trì-ìrean còig-uèir;
4.3 Nìtrigin: ceanglaiche luath in-ghabhail 10mm, co-dhiù 40L/min, cuideam gas 0.3-0.5Mpa, purrachd 99.999%, chan eil stuth gràineach ann an naitrigin glan;
4.4 Uisge fuar: sruthadh 20L/min, uèir a-muigh caliber 1/2 òirleach, feumaidh an drèanadh a bhith rèidh gun sgaoileadh cuideam.
4.5 Gas sgapaidh: gas sgapaidh teth bèicearachd, trast-thomhas pìoba 60mm;
4.6 Tuairmse cuideam: 350KG
4.7 Talamhachadh: strì an aghaidh talamh dìon slige ≤ 1O
4.8 Dì-luchdachadh: tha taobh an iarrtas an urra ri dì-luchdachadh agus uidheam a bhith ann airson am bogsa fhosgladh
4.9 Àrainneachd stàlaidh: plannt glan ìre glan Clas10000, teòthachd àrainneachdail: 20 ~ 30 ℃, taiseachd àrainneachdail: ≤ 85% RH Gun stuthan lasanta, spreadhaidh mun cuairt, gun chreathadh làidir, gun raon electromagnetic làidir, gun dùmhlachd àrd de phùdar agusstuthan creimneach, gun solas dìreach na grèine no rèididheachd teas dìreach eile. Bu chòir an uidheamachd a chur gu còmhnard ann an seòmar deuchainn le deagh fhionnarachadh, a’ fàgail co-dhiù 1.5 meatair de dh’àite timcheall airson cumail suas.
Fiosrachadh Teicnigeachtoradh
5.1 Dàta teicnigeach: Tionndadh Sìneach den leabhran dàta (pàipear + faidhlichean dealanach, a’ gabhail a-steach leabhraichean-stiùiridh, stiùiridhean cumail suas làitheil, diagraman sgeama dealain).
5.2 Aithisg sgrùdaidh: aithisg sgrùdaidh factaraidh (pàipear, a’ gabhail a-steach comharran paramadair mionaideach agus dàta fìor)
Seirbheistoradh
Tha sgioba margaidhean, reic, seirbheis theicnigeach agus lìonra aig GMS Industrial gus seirbheisean ro-reic, rè-reic agus às dèidh-reic coileanta a thoirt do luchd-ceannach agus luchd-reic. Faodaidh tu fios a chuir thugainn ma tha ceistean no riatanasan sam bith agad.
24 uair air-loidhne. Thèid freagairt a thoirt do theachdaireachdan cho luath ‘s a gheibhear iad.
