Àmhainn falamh
Àmhainn Falamh Àrd Fèin-ghluasadach Aon-Wafair
Uidheam bèicearachd beag, teòthachd as àirde de 250 ℃, a’ cleachdadh gnìomh falamh agus naitridean còmhla gus pìos wafer gun ocsaidean a chruthachadh, aon-bhèicearachd, freagarrach airson tagraidhean baidsean beaga. Am measg nan tagraidhean àbhaisteach airson an t-siostaim seo tha annealing SOG, annealing copair, annealing alùmanum, annealing dielectric ìosal-k agus bèicearachd photoresist, tiormachadh agus mar sin air adhart.
Àmhainn falamh teòthachd àrd
Tha àmhainnean falamh air leth freagarrach airson uisge, fuasglaidhean no todhar luaineach eile a tha air fhàgail a thoirt air falbh bho thoraidhean a tha mothachail air teòthachd. Is e am prionnsapal obrachaidh, gu bunaiteach, moileciuilean nach eilear ag iarraidh a thoirt air falbh le bhith a’ lughdachadh a’ chuideam san àmhainn (a’ cruthachadh falamh). Nuair a ruigeas cuideam na h-àmhainne cuideam smùid a tha thu ag iarraidh airson nan truailleadh, bidh na moileciuilean truailleadh seo a’ falmhachadh, a’ tionndadh gu smùid, agus air an toirt air falbh bho gach raon den toradh. Tha an tiormachadh seo air a choileanadh gun a bhith a’ cleachdadh cus teas. Tha seo a’ dèanamh tiormachadh falamh freagarrach airson stuthan a bhios air am milleadh no air an atharrachadh ma thèid an nochdadh do theodhachd àrd. Bidh tiormachadh falamh cuideachd a’ lughdachadh cunnart sgèileadh agus cruthachadh fuigheall ocsaididh. Mar as trice bidh àmhainnean falamh aig teòthachd àrd air an cleachdadh airson toraidhean nach eil an aghaidh teas agus a tha mothachail air teòthachd. Tha an seòrsa àmhainn seo air a chleachdadh gu farsaing ann an raon leth-chonnsachaidh, MEMS, dealanach.
Àmhainn falamh fìor àrd
Tha sgeilpichean aig an Àmhainn Àrd-Fhalamh a ghabhas prògramadh gus teasachadh suas ri 300oC. Faodaidh an seòmar àrd-falamh pumpadh sìos gu furasta gu 10-6 Torr, air a phumpadh le pumpa turbo a tha air a chumail suas le pumpa sgrolaidh tioram (gun shruthadh air ais ola ri dragh). Ged a tha e gu math luath airson teasachadh, faodaidh am pròiseas fuarachaidh a bhith slaodach (grunn uairean a thìde). Gus na h-uachdaran a-staigh a dhìon bho cus oxidation, chan urrainnear an seòmar a fhionnarachadh ach aon uair ‘s gu bheil na sgeilpichean air tuiteam fo 100oC. Tha an seòmar air a fhionnarachadh le naitridean. Tha fionnarachadh pàirteach comasach ma dh’ fheumas tu leigeil leis an sampall agad fuarachadh gu tur sìos gu teòthachd an àrainneachd fhad ‘s a tha e ann an àile naitridean. Tha dà sgeilp timcheall air 11" x 11" (280 mm x 280 mm) ann, agus dà thrèana alùmanum dèanta gu sònraichte. Faodaidh e ochd wafers 4" a bhèicearachd aig an aon àm. Chan eil uinneagan ann, agus mar sin faodar pàirtean mothachail air solas a bhèicearachd fhad ‘s a tha iad air am pasgadh ann am foil air an t-slighe a-steach don t-seòmar.
Àmhainn Tiormachaidh Falamh Teòthachd Àrd
- ● Tiormachadh falamh gus an taiseachd agus an fhuasglaiche a thoirt air falbh anns na stuthan electrod.
- ● Tha an teòthachd as àirde 300℃/400℃ roghainneil
- ● Raon falamh obrachaidh 101kPa -1Pa ● Ri fhaighinn ann an 3 meudan, comas mòr
Àmhainn Tiormachaidh Falamh Teòthachd Àrd
Àmhainn tiormachaidh falamh mòr air a dhealbhadh airson a h-uile seòrsa adhbhar tiormachaidh falamh.
- ● Teòthachd as àirde 250℃
- ● Raon falamh obrachaidh 101kPa -0.1kPa
Tha an àmhainn seo freagarrach airson uisge, fuasglaidhean no todhar luaineach eile a tha air fhàgail a thoirt air falbh bho thoraidhean a tha mothachail air teòthachd. Thèid pumpa falamh a stàladh aig bonn na h-àmhainn gus àite stàlaidh a shàbhaladh le pìobaireachd flange ceangail luath. Tha an seòrsa àmhainn seo air a chleachdadh gu farsaing ann an deuchainn-lannan, leth-chonnsachaidh, MEMS, agus raon dealanach.
Caibineat Stòraidh Falamh Àrd
Tha na 9 seòmraichean fo smachd neo-eisimeileach agus a’ roinn aon sheata de shiostam falamh. Tha e freagarrach airson a h-uile seòrsa stuth meatailt, anaerobic, stuthan amh ceimigeach, meatailtean luachmhor, pùdar meatailt agus stuthan cruaidh eile, pùdar, pasgain, leaghan, agus toraidhean dealanach.
- ● Smachd neo-eisimeileach 9-Seòmraichean
- ● Stòraich bathar airson ùine rè pròiseas cinneasachaidh innealan dealanach, innealan optoelectronic, sliseagan leth-chonnsachaidh agus innealan eile gus casg a chur air oxidation
- ● Falamh co-dhiù 50 gu 5 * 10-5Pa
- ● Sganair còd-barra airson fiosrachadh toraidh a stòradh