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अति उच्च तापमान वाला अक्रिय (अवायवीय) गैस ओवन
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अति उच्च तापमान वाला अक्रिय (अवायवीय) गैस ओवन

यह सेमीकंडक्टर वेफर्स (फोटोरेसिस्ट पीआई, पीबीओ, बीसीबी क्यूरिंग), ग्लास सबस्ट्रेट बेकिंग और उच्च परिशुद्धता एनीलिंग उपचार आदि के लिए उपयुक्त है।

  • अधिकतम कार्यशील तापमान: 360℃, 600℃.
  • ऑक्सीजन की सांद्रता इससे कम है: 20 पीपीएम

विशेषताएँउत्पाद

अति उच्च तापमान वाले अवायवीय ओवन में एक विशेष प्रकार की कक्ष संरचना और सीलिंग तकनीक का उपयोग किया गया है, जिससे तापमान में उत्कृष्ट एकरूपता बनी रहती है, साथ ही उच्च स्थिरता और पुनरुत्पादकता सुनिश्चित होती है। इसके अलावा, शीतलन जल द्वारा परिसंचारी बाहरी शीतलन तंत्र भट्टी के वातावरण को प्रभावित किए बिना तेजी से ठंडा कर देता है, जिससे उपचार का समय कम हो जाता है।

● आर्गन, कार्बन डाइऑक्साइड, हीलियम और नाइट्रोजन जैसी अक्रिय गैसों के लिए अनुमोदित।

● अद्वितीय आंतरिक/बाह्य शेल कक्ष शीतलक को एक अक्रिय गैस आंतरिक कक्ष के चारों ओर परिवेशी हवा को प्रसारित करने की अनुमति देता है।

● सिलिकॉन सीलिंग वाला वाटर-कूल्ड दरवाजा।

● तापमान तेजी से बढ़ या घट सकता है, और बढ़ने या घटने की दर को समायोजित किया जा सकता है।

● पूरी तरह से वेल्डेड और सीलबंद संरचना लगातार कम वायु रिसाव सुनिश्चित करती है।

● जंग रोधी, स्टेनलेस स्टील (टाइप 304) का आंतरिक भाग।

● समायोज्य अक्रिय गैस पर्ज सिस्टम जिसमें फ्लोमीटर और आपूर्ति कनेक्शन शामिल है।

● कैबिनेट की बाहरी सतह का तापमान सुरक्षित रखने के लिए फाइबरग्लास इन्सुलेशन का उपयोग किया गया है।

● स्वतंत्र, उच्च तापमान से सुरक्षा।

● ग्राउंड फॉल्ट प्रोटेक्शन के लिए सर्किट ब्रेकर मानक के रूप में प्रदान किया गया है।

● उच्च क्षमता वाली क्षैतिज वायु पुनर्संचरण प्रणाली और विद्युत ताप प्रणाली प्रदर्शन में अधिकतम तापमान एकरूपता सुनिश्चित करती हैं।

● उत्कृष्ट विश्वसनीयता और प्रदर्शन रेटिंग।

पैरामीटरउत्पाद

नमूना

जीजेड-ऑक्सी-500सी-ए

जीजेड-ऑक्सी-500सी-बी

तापमान सीमा

कमरे का तापमान +100~600°C

नियंत्रण सटीकता

+/- 1.0° सेल्सियस

तापमान वितरण सटीकता

±1.5% डिग्री सेल्सियस (खाली लोड)

तापमान वृद्धि का समय

लगभग 60 मिनट (कमरे का तापमान → 550°C)। खाली कक्ष

शीतलन गति

लगभग 60 मिनट (550°C→80°C)। खाली कक्ष

संचालन फ़ंक्शन

निश्चित तापमान या प्रोग्राम संचालन के लिए वैकल्पिक

आंतरिक आयाम (ऊंचाई x चौड़ाई x गहराई)

500x500x500(मिमी)

600x600x600(मिमी)

बाह्य आयाम (ऊंचाई x चौड़ाई x गहराई)

1840x1200x1000 (मिमी)

1850x1300x1100(मिमी)

कार्यक्षेत्र क्षमता

125 लीटर

216 लीटर

शीतलन प्रणाली

जल-शीतलन प्रणाली

विकल्पउत्पाद

तापमान रिकॉर्डर (कागज या कागज रहित) 6 ग्राम जूल
अलमारियों
हेपा फ़िल्टरीफ़्ल
तापमान रिकॉर्डर (कागज वाले या कागज रहित)
वैक्यूम पंप 7w6
प्रोग्रामेबल कंट्रोलर, ईथरनेट और यूएसबी संचार
शेल्फ737
शिपमेंट और इंस्टॉलेशन के लिए क्लीन रूम पैकेजिंग
ईथरनेट संचार g7f
डेटा लॉगिंग और रुझान

आवेदनउत्पाद

इंडस्ट्रीजउत्पाद

■ एयरोस्पेस
■ ऑटोमोटिव
■ रक्षा
■ इलेक्ट्रॉनिक्स
■ अनुसंधान एवं विकास
■ रबर और प्लास्टिक
■ अर्धचालक
■ दूरसंचार
■ ऑप्टिकल संचार

अनुकूलनउत्पाद

जीएमएस विभिन्न स्तरों की एकरूपता, आकार और तापमान सीमा प्रदान कर सकता है; यदि आपकी कोई विशिष्ट सहनशीलता या विनिर्देश है जिसे पूरा किया जाना आवश्यक है, तो कृपया अपनी आवश्यकताओं के साथ हमसे संपर्क करें ताकि हम यह सुनिश्चित कर सकें कि उपकरण को उन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए डिज़ाइन, परीक्षण और समायोजित किया गया है।

अनुकूलनगाह

सेवाउत्पाद

जीएमएस इंडस्ट्रियल के पास बाज़ार, बिक्री, तकनीकी सेवा और नेटवर्क टीम है जो ग्राहकों और डीलरों को व्यापक पूर्व-बिक्री, बिक्री के दौरान और बिक्री के बाद की सेवाएं प्रदान करती है। यदि आपके कोई प्रश्न या आवश्यकताएं हैं तो आप हमसे संपर्क कर सकते हैं।
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