Forno automatico ad alto vuoto per wafer singolo

2.1 Modalità di controllo: creare un ambiente privo di ossigeno mediante ciclo di vuoto e riempimento con azoto, disporre i componenti riscaldanti sulla parete esterna del forno e riscaldare l'interno del forno tramite riscaldamento radiante per ottenere una cottura in assenza di ossigeno e polvere.

2.2 Le camere sono controllate in modo indipendente e funzionano autonomamente.

2.3 Il sistema di vuoto di questo sistema adotta una pompa a spirale a secco;

2.4 Numero di camere

2.5 Condizioni di vuoto

1) Limitare il vuoto:1Bene - 10^-4BENE.

2) Requisito di velocità di pompaggio: il grado di vuoto della camera deve essere 10^-4Pane 25min.

2.6 Sistema di riscaldamento e grado senza polvere

1) Intervallo di temperatura: Temperatura normale +25℃-250℃.

2) Entro 30 minuti dalla temperatura ambiente a 200 ℃;

3) INraffreddamento ad acqua singola, velocità di raffreddamento di 40 minuti o meno dalla temperatura ambiente fino a 60 °C;

4) precisione del controllo della temperatura ± 1 ℃, uniformità della temperatura ± 2% ℃;

5) Grado di assenza di polvere: Classe 100;

2.7 Misure di protezione: il dispositivo visualizza e registra in tempo reale la temperatura e il vuoto di ciascuna camera, ed è possibile consultare i dati storici ed esportarli; i dati storici sono conservati per almeno 30 giorni;

2.8 Funzione del software:

1) Camera per l'apertura e la chiusura della porta, il controllo della funzione di riscaldamento e di aspirazione;

2) Con prestazioni di rilegatura con codice a barre e cavità, risposta ai dati di cottura per la rilegatura e l'archiviazione;

3) Il codice a barre viene inserito manualmente o inviato tramite comunicazione di sistema in una fase successiva;

4) Visualizzazione dello stato di funzionamento dell'apparecchiatura, visualizzazione delle informazioni di allarme;

5) Impostazione, richiamo e memorizzazione delle ricette, verifica della curva di temperatura e della registrazione del tempo di temperatura, registrazione dello stato del vuoto, registrazione dei guasti, registrazione delle operazioni, ecc.;

6) Gestione gerarchica dell'autorità (tre livelli: operatore, ingegnere, amministratore)

2.9 Configurazione di sicurezza

Progettazione complessiva della sicurezza elettrica e meccanica, in conformità con gli standard SEMI.

1) Ad incastro

La scatola di derivazione elettrica adotta un sistema di sicurezza con collegamento meccanico e l'alimentazione deve essere scollegata prima di aprirla.

2) Interruttore di arresto di emergenza EMS

L'interruttore di arresto di emergenza è un interruttore a pressione a forma di fungo, di colore rosso con scritte nere e anello guida giallo. Indipendentemente dalla modalità di funzionamento, l'interruttore di arresto di emergenza deve essere azionato prioritariamente. La condizione di arresto di emergenza di questo apparecchio prevede l'apertura dello sportello del forno con conseguente rilascio di pressione e l'arresto del riscaldamento.

3) Sicurezza

Il meccanismo di apertura e chiusura dello sportello è nascosto all'interno della cavità del forno, riducendo al minimo la parte meccanica esposta ed evitando rischi di rottura. La temperatura superficiale del forno non supera la temperatura ambiente +5°C, e la temperatura nella fessura dello sportello non supera la temperatura ambiente +15°C.

4) Misure di protezione

Protezione contro le perdite, protezione contro i sovraccarichi, protezione indipendente contro le sovratemperature, rilevamento e allarme della pressione del gas, rilevamento e allarme della pressione dell'acqua, ecc.

Il sistema di controllo adotta un pannello di controllo touchscreen e un controllore programmabile (PLC). Consente il controllo centralizzato e integrato di tutti i componenti elettrici e dispone di due modalità di controllo: manuale e automatica.

Il sistema di controllo è in grado di monitorare e controllare il grado di vuoto e la temperatura di ciascuna camera, nonché di gestire automaticamente il gonfiaggio e lo sgonfiaggio di ciascuna di esse. L'intero sistema di controllo è installato nell'armadio principale, il che ne facilita l'utilizzo.

4.1 Superficie calpestabile: circa 1200*1500*1200 (L*A*P) mm

4.2 Alimentazione: 380 V, 50 Hz, 9 kW, trifase a cinque fili;

4.3 Azoto: connettore rapido di ingresso 10 mm, min. 40 l/min, pressione del gas 0,3-0,5 MPa, purezza 99,999%, l'azoto pulito non contiene particolato;

4.4 Acqua fredda: portata 20 l/min, diametro esterno del filo 1/2 pollice, lo scarico deve essere regolare e senza pressione.

4.5 Gas di scarico: scarico dei gas di scarico ad altissima temperatura, diametro del tubo 60 mm;

4.6 Peso stimato: 350 kg

4.7 Messa a terra: resistenza di messa a terra protettiva dell'involucro ≤ 1OH

4.8 Scarico: la parte richiedente è responsabile dello scarico e della predisposizione delle attrezzature necessarie per disimballare la scatola.

4.9 Ambiente di installazione: impianto pulito di grado di pulizia Classe 10000, temperatura ambiente: 20 ~ 30 °C, umidità ambientale: ≤ 85% RH Nessuna sostanza infiammabile o esplosiva nelle vicinanze, nessuna forte vibrazione, nessun forte campo elettromagnetico, nessuna alta concentrazione di polvere ed sostanze corrosive, nessuna luce solare diretta o altra radiazione termica diretta. L'apparecchiatura deve essere posizionata orizzontalmente in una camera di prova ben ventilata, lasciando almeno 1,5 metri di spazio intorno per la manutenzione.

5.1 Dati tecnici: versione cinese del libretto dati (cartaceo + file elettronici, inclusi manuali di istruzioni, linee guida per la manutenzione ordinaria, schemi elettrici).

5.2 Rapporto di ispezione: rapporto di ispezione di fabbrica (cartaceo, comprensivo di indicatori parametrici dettagliati e dati effettivi)