Forno sottovuoto

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Specifiche tecniche del forno sottovuoto ad alta temperatura a doppia camera

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Forno automatico ad alto vuoto a wafer singolo

Piccola apparecchiatura di cottura, con temperatura massima di 250 °C, che utilizza la funzione del vuoto e dell'azoto combinati per creare un singolo pezzo di wafer privo di ossigeno, adatto per applicazioni in piccoli lotti. Le applicazioni tipiche di questo sistema includono la ricottura SOG, la ricottura del rame, la ricottura dell'alluminio, la ricottura dielettrica a bassa k e la cottura di fotoresist, l'essiccazione e così via.

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Breve introduzioneprodotto

Piccola apparecchiatura di cottura, con temperatura massima di 250 °C, che utilizza la funzione di vuoto e azoto combinati per creare un singolo pezzo di wafer privo di ossigeno, adatto per applicazioni in piccoli lotti. Le applicazioni tipiche per questo sistema includono la ricottura SOG, la ricottura del rame, la ricottura dell'alluminio, la ricottura dielettrica a bassa k e la cottura di fotoresist., essiccazione e così via.

● Controlli compatibili per vuoto e ambiente

● Intervallo di vuoto operativo 1Bene - 10^-⁴Pa, vuoto assoluto 10^-5BENE.

● Basso residuo di O2 (

● Intervallo di temperatura di esercizio temperatura ambiente +25°C -250°C.

● Funzionamento semplice, funzionamento a valore fisso, funzionamento programmato, funzionamento rapido con arresto automatico, funzionamento con arresto automatico, funzionamento con avvio automatico.

● Il controllo della temperatura è uno strumento touch screen in modalità PID, di tipo a punto singolo o con controllo della temperatura programmato, può essere calcolato automaticamente e visualizzare PV/SV contemporaneamente, impostazione del punto touch, con funzione di memoria (ad esempio temperatura, tempo).

● È possibile eseguire programmi complessi in base ai requisiti tecnici.

● Con circuito di autodiagnosi (anomalia di rilevamento della temperatura, disconnessione del riscaldatore, prevenzione automatica del sovraccarico, cortocircuito SSR), dispositivo di prevenzione del sovraccarico, interruttore di protezione dalle perdite per prevenire sovracorrenti, blocco dei tasti e altre funzioni di sicurezza.

● Modalità di controllo del vuoto controllo automatico, raggiungere il grado di vuoto per interrompere l'aspirazione, al di sotto del limite inferiore di avvio automatico, quindi il ciclo di lavoro, il tempo di temperatura costante è completato, interrompere il lavoro; pressione manuale meno gonfiaggio o riempimento di azoto.

Configurazione di base e principio di funzionamento del sistemaprodotto

2.1 Modalità di controllo: creare un ambiente privo di ossigeno mediante ciclo di aspirazione e riempimento di azoto, disporre i componenti riscaldanti sulla parete esterna del forno e riscaldare l'interno del forno mediante riscaldamento radiante per ottenere una cottura priva di ossigeno e polvere.

2.2 Le camere sono controllate in modo indipendente e funzionano in modo indipendente.

2.3 Il sistema del vuoto di questo sistema adotta una pompa a spirale a secco;

2.4 Numero di camere

Componente	Specifiche	Quantità
Camera a vuoto	Dimensioni di lavoro：L400mmA60mmP400mm	1

2.5 Condizioni di vuoto

1) Vuoto limite:1Bene - 10^-⁴BENE.

2) Requisito di velocità di pompaggio: il grado di vuoto della camera deve essere 10^-⁴Pane 25minimo

2.6 Sistema di riscaldamento e grado antipolvere

1) Intervallo di temperatura: temperatura normale +25℃-250℃.

2) Entro 30 minuti dalla temperatura ambiente a 200 ℃;

3) INraffreddamento ad acqua, velocità di raffreddamento di 40 minuti o meno dalla temperatura ambiente fino a 60 ℃;

4) precisione del controllo della temperatura ± 1 ℃, uniformità della temperatura ± 2% ℃;

5) Grado antipolvere: Classe 100;

2.7 Misure di protezione: il dispositivo visualizza e registra in tempo reale la temperatura e il vuoto di ciascuna camera e può interrogare i dati storici ed esportare i dati, dati storici non inferiori a 30 giorni;

2.8 Funzione software:

1) Camera per l'apertura e la chiusura della porta, controllo della funzione di riscaldamento e vuoto;

2) Con codice a barre e prestazioni di rilegatura della cavità, risposta ai dati di cottura per la rilegatura e l'archiviazione;

3) Il codice a barre viene inserito manualmente o inviato tramite il sistema di comunicazione in una fase successiva;

4) Visualizzazione dello stato di funzionamento dell'apparecchiatura, visualizzazione delle informazioni di allarme;

5) Impostazione, richiamo e memorizzazione delle ricette, controllo della curva di temperatura e registrazione del tempo di temperatura, registrazione dello stato del vuoto, registrazione dei guasti, registrazione del funzionamento, ecc.;

6) gestione gerarchica dell'autorità (tre livelli: operatore, tecnico, amministratore)

2.9 Configurazione di sicurezza

Progettazione complessiva della sicurezza elettrica e meccanica, in linea con gli standard SEMI.

1) Interblocco

La scatola elettrica adotta un design di sicurezza con collegamento meccanico e prima di aprirla è necessario scollegare l'alimentazione.

2) Interruttore di arresto di emergenza EMS

L'interruttore di arresto di emergenza è un interruttore a pressione a forma di fungo, rosso, con caratteri neri e anello guida giallo; indipendentemente dal tipo di modalità, l'interruttore di arresto di emergenza deve essere prioritario. Lo stato di arresto di emergenza di questa apparecchiatura prevede l'apertura della porta del forno con rilascio della pressione e l'arresto del riscaldamento.

3) Sicurezza

Il meccanismo di apertura e chiusura dello sportello è nascosto all'interno della cavità del forno, riducendo la parte esposta al rischio meccanico. La temperatura superficiale del forno non supera i +5 °C della temperatura ambiente e la temperatura all'interno dello sportello non supera i +15 °C della temperatura ambiente.

4) Misure di protezione

Protezione contro le perdite, protezione da sovraccarico, protezione indipendente da sovratemperatura, rilevamento e allarme della pressione del gas, rilevamento e allarme della pressione dell'acqua, ecc.

Sistema di controlloprodotto

Il sistema di controllo adotta un pannello di controllo touch screen e un controllore programmabile (PLC). Può realizzare il controllo centralizzato integrato di tutti i componenti elettrici e dispone di due modalità di controllo: manuale e automatica.

Il sistema di controllo è in grado di monitorare e controllare il grado di vuoto e la temperatura di ciascuna camera, nonché di gonfiare e sgonfiare automaticamente ciascuna camera. L'intero sistema di controllo è installato nell'armadio principale, per una maggiore praticità d'uso.

Condizioni di installazione dell'apparecchiaturaprodotto

4.1 Superficie calpestabile: stimata 1200*1500*1200(L*A*P)mm

4.2 Alimentazione: 380V, 50Hz, 9Kw, trifase a cinque fili;

4.3 Azoto: connettore rapido di ingresso 10 mm, min. 40 l/min, pressione del gas 0,3-0,5 MPa, purezza 99,999%, l'azoto pulito non contiene particolato;

4.4 Acqua fredda: portata 20 l/min, calibro del filo esterno 1/2 pollice, lo scarico deve essere fluido e senza pressione.

4.5 Gas di scarico: gas di scarico ad alta temperatura, diametro del tubo 60 mm;

4.6 Peso stimato: 350 kg

4.7 Messa a terra: resistenza di messa a terra protettiva del guscio ≤ 1OH

4.8 Scarico: il lato della domanda è responsabile dello scarico e dell'attrezzatura in atto per disimballare la scatola

4.9 Ambiente di installazione: impianto pulito grado pulito Classe 10000, temperatura ambiente: 20 ~ 30 °C, umidità ambientale: ≤ 85% RH Nessuna sostanza infiammabile o esplosiva nelle vicinanze, nessuna forte vibrazione, nessun forte campo elettromagnetico, nessuna alta concentrazione di polvere esostanze corrosive, non esporre alla luce solare diretta o ad altre radiazioni di calore dirette. L'apparecchiatura deve essere posizionata orizzontalmente in una sala prove ben ventilata, lasciando almeno 1,5 metri di spazio intorno per la manutenzione.

Informazioni tecnicheprodotto

5.1 Dati tecnici: versione cinese del libretto dati (file cartacei + elettronici, inclusi manuali di istruzioni, linee guida per la manutenzione giornaliera, schemi elettrici).

5.2 Rapporto di ispezione: rapporto di ispezione di fabbrica (cartaceo, inclusi indicatori di parametri dettagliati e dati effettivi)

Servizioprodotto

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