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Forno a vuoto ultra elevato
Forno sottovuoto

Forno a vuoto ultra elevato

Il forno ad alto vuoto è dotato di ripiani riscaldati direttamente che possono essere programmati per raggiungere una temperatura di 300 °C. La camera ad alto vuoto può facilmente raggiungere una pressione di 10-6 Torr, grazie a una pompa turbo supportata da una pompa a spirale a secco (senza problemi di riflusso d'olio). Sebbene il riscaldamento sia molto rapido, il processo di raffreddamento può essere lento (diverse ore). Per preservare le superfici interne da un'eccessiva ossidazione, la camera può essere ventilata solo quando la temperatura dei ripiani è scesa sotto i 100 °C. La camera è ventilata con azoto. È possibile uno sfiato parziale se è necessario lasciare raffreddare completamente il campione a temperatura ambiente in atmosfera di azoto. Sono presenti due ripiani di circa 280 mm x 280 mm e due vassoi in alluminio personalizzati. Può cuocere otto wafer da 10 cm alla volta. Non ci sono finestre, quindi è possibile cuocere anche i componenti sensibili alla luce, purché avvolti in un foglio di alluminio durante il trasporto nella camera.

    Caratteristicheprodotto

    ●Cottura di rivestimenti polimerici sensibili all'ossigeno o al vapore acqueo in ambiente sotto vuoto
    ●Cottura di pellicole metalliche senza ossidare la superficie
    ●Ricottura a contatto con metalli a bassa temperatura in alto vuoto
    ●Essiccazione dell'umidità dai materiali
    ●Eliminazione del vapore acqueo adsorbito dalle superfici dei wafer
    ●Poliimmide completamente reticolabile sotto vuoto
    ● Gruppi di cottura che andranno in altre stazioni del vuoto
    ●Rifusione della saldatura flip chip

    Parametri del prodottoprodotto

    Spettacoli

     

     

     

    Modello

    GZ-BDT-VC-01

    Intervallo di temperatura

    40-300ºC

    Intervallo di pressione

    10-6Torre

    Temperatura massima. Tempo di raggiungimento

    Circa 20-30 minuti

    Modulo

     

     

     

     

     

    Precisione della regolazione della temperatura

    ±1ºC

    Materiale interno

    Saldatura ad arco di argon completa su piastra in acciaio inossidabile da 1,5 mm

    Materiale esterno

    Lamiera laminata a freddo, rivestimento resistente ai farmaci sulla superficie

    Materiale resistente al calore

    Fibra di vetro

    Metodo di riscaldamento

    Riscaldamento diretto della parete del serbatoio a pressione

    Potenza totale

    8,5 kW

    Metodo di controllo

     

     

     

     

     

     

     

    Funzionamento e stato del programma

    Controllo touch screen LCD da 7 pollici

    Metodo di controllo della temperatura

    Algoritmo PID multisegmento, precisione del controllo della temperatura ±0,1ºC

    Metodo di impostazione della temperatura

    Impostazione digitale tramite tasti del menu funzione dedicati e tasti su/giù

    Funzione operativa

    Funzionamento a valore fisso, funzionamento programmato, funzionamento con arresto automatico, funzionamento con avvio automatico

    Modalità Programma

    Personalizzabile su richiesta

    Funzionalità aggiuntiva

    Funzione di correzione della deviazione, funzione di blocco dei tasti, funzione di compensazione delle interruzioni di corrente

    Controllo del circuito di riscaldamento

    Driver SSR + PIH

    Sensore

    Termocoppia PT100

    Attrezzatura di sicurezza

    Circuito di autodiagnosi (anomalia di rilevamento della temperatura, disconnessione del riscaldatore, prevenzione automatica del superamento, cortocircuito SSR) Prevenzione del superamento, interruttore di protezione dalle perdite per sovracorrente, funzione di blocco tasti

    Dimensioni

     

     

    Dimensioni interne (A*L*P/mm)

    320*320*320mm, dimensioni ripiano (280*280)mm

    Corrente di potenza

    AC380V 23A (50Hz/60Hz)

    Peso

    Circa 426 kg

    Servizioprodotto

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