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Forno a vuoto ultraelevato
Forno sottovuoto

Forno a vuoto ultraelevato

Il forno ad alto vuoto è dotato di ripiani riscaldati direttamente, programmabili per raggiungere temperature fino a 300 °C. La camera ad alto vuoto può essere facilmente svuotata fino a 10⁻⁶ Torr, grazie a una pompa turbo supportata da una pompa a spirale a secco (senza rischio di riflusso di olio). Sebbene il riscaldamento sia molto rapido, il processo di raffreddamento può essere lento (diverse ore). Per preservare le superfici interne da un'eccessiva ossidazione, la camera può essere ventilata solo quando i ripiani hanno raggiunto temperature inferiori a 100 °C. La ventilazione della camera avviene tramite azoto. È possibile una ventilazione parziale qualora sia necessario consentire al campione di raffreddarsi completamente a temperatura ambiente in atmosfera di azoto. Sono presenti due ripiani di circa 280 mm x 280 mm e due vassoi in alluminio realizzati su misura. Può cuocere otto wafer da 10 cm alla volta. Non essendoci finestre, è possibile cuocere anche componenti sensibili alla luce, purché avvolti in un foglio di alluminio prima di inserirli nella camera.

    Caratteristicheprodotto

    ●Cottura di rivestimenti polimerici sensibili all'ossigeno o al vapore acqueo in ambiente sottovuoto
    ●Cottura di pellicole metalliche senza ossidare la superficie
    ●Ricottura di contatti metallici a bassa temperatura in alto vuoto
    ●Eliminazione dell'umidità dai materiali
    ●Rimozione del vapore acqueo adsorbito dalle superfici dei wafer
    ●Reticolazione completa della poliimmide sotto vuoto
    ● Gruppi di cottura che andranno in altre stazioni sottovuoto
    ●Rifusione della saldatura flip chip

    Parametri del prodottoprodotto

    Spettacoli

     

     

     

    Modello

    GZ-BDT-VC-01

    Intervallo di temperatura

    40-300ºC

    Intervallo di pressione

    10-6Torr

    Tempo massimo di raggiungimento della temperatura

    Circa 20-30 minuti

    Modulo

     

     

     

     

     

    Precisione della regolazione della temperatura

    ±1ºC

    Materiale interno

    Saldatura ad arco di argon su piastra di acciaio inossidabile da 1,5 mm.

    Materiale

    Lamiera laminata a freddo, con rivestimento superficiale resistente ai farmaci.

    Materiale resistente al calore

    Fibra di vetro

    Metodo di riscaldamento

    Riscaldamento diretto della parete del serbatoio a pressione

    Potenza totale

    8,5 kW

    Metodo di controllo

     

     

     

     

     

     

     

    Funzionamento e stato del programma

    Controllo tramite schermo tattile LCD da 7 pollici

    Metodo di controllo della temperatura

    Algoritmo PID multisegmento, precisione del controllo della temperatura ±0,1ºC

    Metodo di impostazione della temperatura

    Impostazione digitale tramite tasti menu dedicati e tasti su/giù

    Funzione operativa

    Funzionamento a valore fisso, funzionamento programmato, funzionamento con arresto automatico, funzionamento con avvio automatico

    Modalità programma

    Personalizzabile su richiesta

    Ingegneria aggiuntiva

    Funzione di correzione della deviazione, funzione di blocco tasti, funzione di compensazione in caso di interruzione di corrente

    Controllo del circuito di riscaldamento

    Driver SSR + PIH

    Sensore

    Termocoppia PT100

    Dispositivi di sicurezza

    Circuito di autodiagnosi (anomalia di rilevamento della temperatura, disconnessione del riscaldatore, prevenzione automatica del superamento della temperatura, cortocircuito SSR) Prevenzione del superamento della temperatura, interruttore di protezione da sovracorrente, funzione di blocco tasti

    Taglie

     

     

    Dimensioni interne (altezza*larghezza*profondità/mm)

    320*320*320 mm, dimensioni ripiano (280*280) mm

    Corrente di potenza

    AC 380V 23A (50Hz/60Hz)

    Peso

    Circa 426 kg

    Servizioprodotto

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