コードスキャン機能付き自動オーブン

●自動ドア開閉によりAGVやウエハーハンドラーと連携し、材料搬送を自動化できるほか、手動操作もサポートし、多様な生産ニーズに対応します。

●4 つの独立したチャンバーにはそれぞれパラメータ設定をカスタマイズできるタッチスクリーンが備わっており、さまざまな製品やプロセスを処理できるため、設備の利用率が向上します。

●スキャンチャンバーは、材料の投入および取り出し時に材料を結合し、自動的にベーキングレシピを取得してプロセスの精度を確保し、正確な製品追跡とプロセス管理を可能にします。

●ホストコンピュータに接続してローカルデータの保存と処理を行ったり、MES システムと通信してインテリジェントな生産制御を行ったりすることができます。

●大規模な自動化生産ニーズを満たすと同時に、小ロットの試作生産や特殊なケースでの手作業にも適しており、高い応用性と柔軟性を備えています。