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コードスキャン機能付き自動オーブン
自動オーブン
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コードスキャン機能付き自動オーブン

スキャンコードオーブンは、多機能な自動ベーキング装置です。自動ドア開閉機能を備え、AGVやウエハハンドラーとの連携による自動材料搬送を実現するとともに、手動によるローディング・アンローディングにも対応しています。4つの独立したチャンバーはそれぞれタッチスクリーンを備え、パラメータをカスタマイズできるため、多様な生産ニーズに対応できます。また、ローディング・アンローディング時に材料を固定するスキャンコードオーブンを内蔵し、自動的にベーキングレシピを読み込んで工程の精度を確保します。さらに、ホストコンピュータに接続してローカルデータの保存・処理を行い、MESシステムと通信することでインテリジェントな生産管理を実現できます。これにより、半導体分野をはじめとする幅広い用途に対応し、生産効率と製品品質の向上を実現します。

    技術的特徴製品

    ●自動ドア開閉によりAGVやウエハーハンドラーと連携し、材料搬送を自動化できるほか、手動操作もサポートし、多様な生産ニーズに対応します。

    ●4 つの独立したチャンバーにはそれぞれパラメータ設定をカスタマイズできるタッチスクリーンが備わっており、さまざまな製品やプロセスを処理できるため、設備の利用率が向上します。

    ●スキャンチャンバーは、材料の投入および取り出し時に材料を結合し、自動的にベーキングレシピを取得してプロセスの精度を確保し、正確な製品追跡とプロセス管理を可能にします。

    ●ホストコンピュータに接続してローカルデータの保存と処理を行ったり、MES システムと通信してインテリジェントな生産制御を行ったりすることができます。

    ●大規模な自動化生産ニーズを満たすと同時に、小ロットの試作生産や特殊なケースでの手作業にも適しており、高い応用性と柔軟性を備えています。

    応用分野製品

    ●チップ製造においては、薄膜堆積やフォトレジストベーキングに重要な役割を果たし、半導体生産の効率と品質を向上させます。
    ●PCBベーキングなどの電子部品製造において、部品の性能と信頼性を確保します。
    ●電池製造においては、電極焼成時の均一性と安定性を向上させ、電池性能を向上させます。
    ●光学レンズコーティングでは、プリベーキングにより結像品質と光学性能を確保します。
    ●機械部品加工において、応力除去焼付により寸法精度、機械的性質が向上します。
    ●医療用消耗品焼成などのバイオメディカル材料製造において、材料の性能と品質を確保します。2

    オプション製品

    チラー15台
    チラー
    真空ポンプjqk
    真空ポンプ
    真空ゲージユ
    真空計
    MFC0wy
    MFC
    パイロメーターhf3
    高温計

    カスタマイズ製品

    GMS は、さまざまなレベルの均一性、サイズ、温度範囲、真空、自動機能を提供できます。特定の許容範囲または仕様を満たす必要がある場合は、その要件を当社にご連絡ください。当社は、それらの要件を満たすように機器を設計、テスト、調整します。

    カスタマイズgah

    サービス製品

    GMS Industrialは、市場、営業、技術サービス、ネットワークチームを擁し、お客様と販売店の皆様に包括的な販売前、販売中、アフターサービスをご提供いたします。ご質問やご要望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
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