不活性（嫌気性）ガス硬化炉

不活性ガスオーブンは、水分乾燥、ウェーハ乾燥、半導体パッケージング用樹脂硬化、電子部品やデバイスの経年劣化など、制御された雰囲気下で材料を処理する産業用オーブン用途に最適です。

● 1チャンバーまたは2チャンバータイプ（各チャンバーは独立制御）
● 最高温度 260℃
●酸素濃度が50ppm未満

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特徴製品

GMS不活性ガスオーブンは、大容量の水平空気循環システムを採用し、温度均一性と性能を最大限に高めています。試料の酸化を防ぎながら、効果的な加熱を実現します。チャンバー内に制御可能で不燃性の窒素ガスを供給する不活性ガスオーブンを使用することで、酸化しない環境下で安心して温度試験や熱処理を行うことができます。

● 完全溶接・密閉構造により、空気漏れを継続的に低減します。
● 耐腐食性ステンレス鋼（304型）製内部
● 流量計と供給接続部を含む調整可能な不活性ガスパージシステムにより、ガスの節約にもつながります。
● グラスファイバー断熱材により、キャビネット表面の安全な温度を確保
●独立した過熱保護機能
● 地絡保護用の回路ブレーカーを標準装備
● コンパクトな設計で設置スペースを節約
●酸素濃度を監視できる酸素濃度検出器が利用可能です

パラメータ製品

Mモデル	GZ-OXY-1SH	GZ-オキシ-2SH	GZ-OXY-02
写真真実
酸素制御レベル	≤50PPM	≤50PPM	≤200PPM
温度範囲	室温：+20～260℃
制御精度	±1.0℃
温度分布精度	±2°C (100°C で)、±3°C ( 200℃）
内部寸法（高さ×幅×奥行）（mm）	450x450x450	600倍600x600	910x620x620
外形寸法（高さ×幅×奥行）（mm）	945x1372x1101	1805x1340x865	1750x855x1030
ワークスペース容量	91L	216L*2	350L
彼女ヴェス	2棚	2各部屋用の棚	4S彼ヴェス
C冷却システム	空冷システムまたは水冷システム
制御システム	LCDタッチスクリーン画面PLC付き
安全装置	ドア検知スイッチ、過熱保護装置、酸素濃度モニター、低ガス圧検知装置、ファン過負荷検知装置、過電流ELBなど。
電源	3相交流380V、またはご要望に応じて